Przetworniki ci nienia
This presentation is the property of its rightful owner.
Sponsored Links
1 / 24

Przetworniki ciśnienia PowerPoint PPT Presentation


  • 98 Views
  • Uploaded on
  • Presentation posted in: General

Przetworniki ciśnienia. Elementy odkształcalne rurkowe. Jednorodna. Z wewnętrznym trzpieniem. Asymetryczna. Bourdona. Elementy odkształcalne mieszkowe. Indukcyjnościoweczujniki ciśnień. p. Tensometryczny czujnik ciśnienia - z mechanicznym elementem przeniesienia siły. p.

Download Presentation

Przetworniki ciśnienia

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation

Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author.While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server.


- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - E N D - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -

Presentation Transcript


Przetworniki ci nienia

Przetworniki ciśnienia


Przetworniki ci nienia

Elementy odkształcalne rurkowe

Jednorodna

Z wewnętrznym

trzpieniem

Asymetryczna

Bourdona


Przetworniki ci nienia

Elementy odkształcalne mieszkowe


Przetworniki ci nienia

Indukcyjnościoweczujniki ciśnień


Przetworniki ci nienia

p

Tensometryczny czujnik ciśnienia - z mechanicznym elementem przeniesienia siły


Przetworniki ci nienia

p

Tensometryczny czujnik ciśnieńrurowy


Przetworniki ci nienia

SiO

2

WYTWORZENIE MEMBRANY

KRZEMOWEJ

I etap UTLENIANIE

Si


Przetworniki ci nienia

II etap DOMIESZKOWANIE BOREM

BOR

SiO

2

WYTWORZENIE MEMBRANY

KRZEMOWEJ

Si


Przetworniki ci nienia

Si

SiO

2

Fotoresist

Maska

WYTWORZENIE MEMBRANY

KRZEMOWEJ

III etap FOTOLITOGRAFIA


Przetworniki ci nienia

WYTWORZENIE MEMBRANY

KRZEMOWEJ

IV etap TRAWIENIE KRZEMU

Si


Przetworniki ci nienia

V etap TRAWIENIE SiO I UTLENIANIE

2

SiO

2

WYTWORZENIE MEMBRANY

KRZEMOWEJ

Si


Przetworniki ci nienia

FOSFOR

warstwa

+

p

SiO

2

WYTWORZENIE STRUKTURY

CZUJNIKA

Si


Przetworniki ci nienia

SiO

warstwa

2

+

p

WYTWORZENIE STRUKTURY

CZUJNIKA

PIEZOREZYSTOR

Si


Przetworniki ci nienia

Czujniki piezorezystywne ciśnienia oparte są

na pomiarze naprężeń proporcjonalnych do

różnicy ciśnień występujących po obu

stronach membrany.

Naprężenia mierzone są przy pomocy

piezorezystorów

(rezystorów dyfuzyjnych wykonanych

w membranie). Efekt piezorezystywny jest

silnie anizotropowy i mocno zależy od

orientacji krystalograficznej.


Przetworniki ci nienia

z

(100)

y

z

z

x

y

y

(110)

x

(111)

x

<001>

<001>

<111>

<011>

<010>

<110>

<110>

<110>

<111>

Płaszczyzna <100>

ANIZOTROPIA CZUŁOŚCI PIEZOREZYSTORÓW

c)


Przetworniki ci nienia

STRUKTURA CZUJNIKA

UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW

PIEZOREZYSTORY

1 mm


Przetworniki ci nienia

R

R

1

3

U

Z

R

4

R

2

UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW


Przetworniki ci nienia

CIŚNIENIE NIŻSZE

Si

CIŚNIENIE WYŻSZE

Si

PODŁOŻE SZKLANE


Przetworniki ci nienia

ZINTEGROWANY CZUJNIK

CIŚNIENIA

STRUKTURA TRANZYSTORA

BIPOLARNEGO

STRUKTURA CZUJNIKA

E

K

B

Si

PODŁOŻE SZKLANE


Przetworniki ci nienia

A

A

CZUJNIK

POJEMNOŚCIOWY

MEMBRANA

ELEKTRODY

Si

PODŁOŻE SZKLANE


Przetworniki ci nienia

Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber

absolutny

względny


Przetworniki ci nienia

Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber

Różnicowy, medium doprowadzone dwustronnie

Względny, medium doprowadzone jednostronnie


Przetworniki ci nienia

Przyciski do nastawienia zera i zakresu

Płytka z elektroniką

Ma obudowaną konstrukcję typu plug-in i ulepszone zamocowanie

Bardzo prosta obsługa

Obudowa elektroniki

Kompatybilna ze standardem

Fieldbus, pozostawia dużo miejsca na przewody

Nowe możliwości softwerowe

Listwa zaciskowa

Wyświetlacze typu LCD, sygnały ostrzegawecze kompatybilne ze standardem NAMUR i możliwość nastawienia granic przekroczenia zakresu.

Zawiera trzy zaciski w zwartej konstrukcji typu plug-in

Moduł z czujnikiem

Spawana metalowa obudowa

Przyłącze procesowe

Przetwornik ciśnienia 3051


  • Login