Przetworniki ci nienia
Download
1 / 24

Przetworniki ciśnienia - PowerPoint PPT Presentation


  • 143 Views
  • Uploaded on

Przetworniki ciśnienia. Elementy odkształcalne rurkowe. Jednorodna. Z wewnętrznym trzpieniem. Asymetryczna. Bourdona. Elementy odkształcalne mieszkowe. Indukcyjnościoweczujniki ciśnień. p. Tensometryczny czujnik ciśnienia - z mechanicznym elementem przeniesienia siły. p.

loader
I am the owner, or an agent authorized to act on behalf of the owner, of the copyrighted work described.
capcha
Download Presentation

PowerPoint Slideshow about ' Przetworniki ciśnienia' - dyani


An Image/Link below is provided (as is) to download presentation

Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author.While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server.


- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - E N D - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -
Presentation Transcript

Elementy odkształcalne rurkowe

Jednorodna

Z wewnętrznym

trzpieniem

Asymetryczna

Bourdona




p

Tensometryczny czujnik ciśnienia - z mechanicznym elementem przeniesienia siły


p

Tensometryczny czujnik ciśnieńrurowy


SiO

2

WYTWORZENIE MEMBRANY

KRZEMOWEJ

I etap UTLENIANIE

Si


II etap DOMIESZKOWANIE BOREM

BOR

SiO

2

WYTWORZENIE MEMBRANY

KRZEMOWEJ

Si


Si

SiO

2

Fotoresist

Maska

WYTWORZENIE MEMBRANY

KRZEMOWEJ

III etap FOTOLITOGRAFIA


WYTWORZENIE MEMBRANY

KRZEMOWEJ

IV etap TRAWIENIE KRZEMU

Si


V etap TRAWIENIE SiO I UTLENIANIE

2

SiO

2

WYTWORZENIE MEMBRANY

KRZEMOWEJ

Si


FOSFOR

warstwa

+

p

SiO

2

WYTWORZENIE STRUKTURY

CZUJNIKA

Si


SiO

warstwa

2

+

p

WYTWORZENIE STRUKTURY

CZUJNIKA

PIEZOREZYSTOR

Si


Czujniki piezorezystywne ciśnienia oparte są

na pomiarze naprężeń proporcjonalnych do

różnicy ciśnień występujących po obu

stronach membrany.

Naprężenia mierzone są przy pomocy

piezorezystorów

(rezystorów dyfuzyjnych wykonanych

w membranie). Efekt piezorezystywny jest

silnie anizotropowy i mocno zależy od

orientacji krystalograficznej.


z

(100)

y

z

z

x

y

y

(110)

x

(111)

x

<001>

<001>

<111>

<011>

<010>

<110>

<110>

<110>

<111>

Płaszczyzna <100>

ANIZOTROPIA CZUŁOŚCI PIEZOREZYSTORÓW

c)


STRUKTURA CZUJNIKA

UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW

PIEZOREZYSTORY

1 mm


R

R

1

3

U

Z

R

4

R

2

UKŁAD MOSTKOWY REZYSTORÓW


CIŚNIENIE NIŻSZE

Si

CIŚNIENIE WYŻSZE

Si

PODŁOŻE SZKLANE


ZINTEGROWANY CZUJNIK

CIŚNIENIA

STRUKTURA TRANZYSTORA

BIPOLARNEGO

STRUKTURA CZUJNIKA

E

K

B

Si

PODŁOŻE SZKLANE


A

A

CZUJNIK

POJEMNOŚCIOWY

MEMBRANA

ELEKTRODY

Si

PODŁOŻE SZKLANE



Piezorezystancyjnye czujniki ciśnień f-my Kleber

Różnicowy, medium doprowadzone dwustronnie

Względny, medium doprowadzone jednostronnie


Przyciski do nastawienia zera i zakresu

Płytka z elektroniką

Ma obudowaną konstrukcję typu plug-in i ulepszone zamocowanie

Bardzo prosta obsługa

Obudowa elektroniki

Kompatybilna ze standardem

Fieldbus, pozostawia dużo miejsca na przewody

Nowe możliwości softwerowe

Listwa zaciskowa

Wyświetlacze typu LCD, sygnały ostrzegawecze kompatybilne ze standardem NAMUR i możliwość nastawienia granic przekroczenia zakresu.

Zawiera trzy zaciski w zwartej konstrukcji typu plug-in

Moduł z czujnikiem

Spawana metalowa obudowa

Przyłącze procesowe

Przetwornik ciśnienia 3051