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XGT－5000 的四个特点

XGT－5000 的四个特点. ① 10 μm 的 X 射线探针 高速 扫描 分析 全世界最细的 10μm XGT， 扫描速度快。 ② 分析簡単/ 分析点 位置 决定更简单 ③ 无需前处理 真空探头，样品放置于大气氛围中 ④ 透过/荧光 同時分析 表面元素和内部结构同时分析. X 射线管. X 射线導管. 检测器. 特点１： 10 μm 高速分析. 过去的仪器. XGT-5000. φ100μm ： 6 k cps φ10μm ： 0.14 kcps. 30 k cps 3 kcps. ・点分析 具有和 SEM-EDX 相当的 強度

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XGT－5000 的四个特点

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Presentation Transcript

  1. XGT－5000 的四个特点 ①10μm的X射线探针高速扫描分析全世界最细的10μm XGT，扫描速度快。 ②分析簡単/分析点位置决定更简单 ③无需前处理真空探头，样品放置于大气氛围中 ④透过/荧光同時分析表面元素和内部结构同时分析

  2. X射线管 X射线導管 检测器 特点１： 10μm 高速分析 过去的仪器 XGT-5000 φ100μm ： 6 k cps φ10μm ： 0.14kcps 30 k cps 3 kcps ・点分析具有和SEM-EDX相当的強度 ・元素分布图像性能更加提高与过去机型相比效率提高20倍 高強度化办法 具体案 X射线強度 锥形→ 楕円 X射线集光 効率提高 1kcps 检测立体角：扩大3倍 照射X射线 检测器 立体角扩大 检测器 3kcps 蛍光X射线

  3. Cu样品 X射线聚焦效率提高 锥形型 XGT-2700 楕円型 XGT－5000 锥形型 需要多次反射（３次反射） →立体角小効率低 楕円型 全部聚焦 （１次反射） →立体角大効率高 X射线管 靶 X射线束 3kcps 1kcps 140cps 射线直径：φ10μm(FWHM)

  4. 特点２：分析簡単/位置决定简单 XGT-5000 过去的机型 放大撮影 全体像撮影 CCD 摄像机 X射线管 反射镜 XGT CCD 摄像机 CCD摄像机 样品 XGT 样品転送 倾斜观察 同轴观察 ●样品凹凸可造成位置偏移 ●样品凹凸无影响 不能观察全体像 可观察全体像 ●从全体像到点定位只需三步就可以决定10μm的点 ●点定位复杂

  5. 特点３： 无需前处理 特点４： 透過/蛍光同時分析 继承了老机型的探针真空・・・样品在大气气氛中，无需前处理 透過/蛍光同時分析 ・・・样品表面元素＋内部结构 钎焊的离子迁移和点分析 RG合成像 赤；Sn 緑：Cu 离子迁移現象 透過X射线像 点 焊剂 Ｓｎ Ｓｎ Ｃｕ Ｃｕ 含Ｂｒ的基板 （大阪大学　菅沼教授 ご提供） Φ１０μｍXGT 測定時間 　 过去的机型 ：56時間 →XGT-5000： 3時間

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