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S-4800 简 易 操 作 规 程

S-4800 简 易 操 作 规 程. Techcomp Lab 电 镜 维 修 部. 开 机 步 骤. 1. 开墙上主机电源电源的开关;. 2. 将仪器后面板处的主电源开关( Main Power )打开,之后按下 Reset 键;. 3. 启动 Evac Power ,等待 TMP 指示正常后顺序打开 IP1 、 IP2 和 IP3 的电源开关,真空启动程序开机结束;. 4. 开启左侧面板 Stage Power ,启动右侧 Display 开关;.

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S-4800 简 易 操 作 规 程

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Presentation Transcript


  1. S-4800 简 易 操 作 规 程 Techcomp Lab 电 镜 维 修 部

  2. 开 机 步 骤 1. 开墙上主机电源电源的开关;

  3. 2. 将仪器后面板处的主电源开关(Main Power)打开,之后按下Reset键;

  4. 3. 启动Evac Power ,等待TMP指示正常后顺序打开IP1、IP2和IP3 的电源开关,真空启动程序开机结束;

  5. 4. 开启左侧面板Stage Power,启动右侧Display 开关;

  6. 5. PC机自动启动进入Windows 操作系统,并自动运行S-4800 操作程序,此时点击OK(没有密码)后自动进入S-4800操作软件。

  7. 更 换 样 品 步 骤 一:安装样品步骤: 1. 在实验台上事先粘好样品,并用高度规检测其高度;

  8. 点击样品交换室的Air键,当听到笛的一声后轻轻的拉开样品交换室;点击样品交换室的Air键,当听到笛的一声后轻轻的拉开样品交换室;

  9. 3. 将样品杆手柄处于Unlock位置,把样品机座装于样杆的香蕉头处并转动手柄到Lock位置;

  10. 4. 轻轻推注样品交换室,点击Evac 键,抽好真空后点击Open键,样品交换室与样品室间的闸门自动打开;

  11. 5. 轻轻的推动样品杆的手柄将样品至于样品台上,旋转手柄至Unlock,拉出样品杆,最后点击Close关闭阀门,安装样品结束;

  12. 二:取样品步骤: 1. 样品检测结束后,关闭高压,点击Stage菜单的Home 图标使样品归位;

  13. 2. 点击样品交换室处的Open键,推进样品杆将香蕉头插入至样品基座,旋转手柄至Lock位置;

  14. 轻轻的拉出样品杆,点击Close键,闸门关闭后点击Air键,待样品室放气后轻轻拉开样品交换室,旋转手柄至Unlock位置,取下样品基座,结束取样品工作。轻轻的拉出样品杆,点击Close键,闸门关闭后点击Air键,待样品室放气后轻轻拉开样品交换室,旋转手柄至Unlock位置,取下样品基座,结束取样品工作。

  15. 操 作 步 骤 1. 打开Flashing菜单并执行强度2,直到Ie=30~40uA;

  16. 2. 选择合适的加速电压,并点击HV ON,当操作过程中Ie≤60%设定值时,点击Set使其恢复至设定值;

  17. 电气合轴调整: 1)打开Alignment菜单,点击Beam Align 通过操作面板上的X、Y旋钮调整光斑到中心;

  18. 2)暂时选Off关闭Beam Align对话框,通过Focus大致调整图像,再选择Aperture Align通过操作面板上的X、Y旋钮调整图像至心脏式跳动而不是摇摆晃动;

  19. 3)再选择Stigma Align X通过操作面板上的X、Y旋钮调整图像至心脏式跳动而不是摇摆晃动,同样方法调整Stigma Align Y;

  20. 4. 选择L-Mag 模式,配合轨迹球大致找到要观察的样品;

  21. 5. 转换到H-Mag 模式,通过调整Mag增大倍数,并同时通过Focus调整图像达清晰;

  22. 6. 进一步增大Mag至超过自己想要的放大倍数,细聚焦调整并通过Stiga消除像散,使图像达至最清晰;

  23. 7. 将Mag调到实际放大倍数,点击M图标暂存图像,之后关闭高压结束此样品检测。

  24. 关 机 步 骤 1. 点击Stage Home样品归位后,取出样品;点软件右上角X ,退出软件,正常关机显示器出现黑屏后关闭Display开关。

  25. 烘 烤 步 骤 1. 关掉高压,取下电子枪上的两个固定螺丝;

  26. 2. 轻轻的取下高压电缆,将取下的枪头放于侧面的支架上;

  27. 3. 检查镜筒是否干净,安装内外烘烤的电源线;

  28. 4. 盖好相应的传感器的罩子;

  29. 5. 通过面板处选择Bake设定内外烘烤的时间,根据自己的时间情况设定如Ou12,In8;Ou 24 ,In12;等等(注意Ou≥In)之后点击Start 开始烘烤;

  30. 烘烤的冷却时间是结束后需要自然冷却6小时;烘烤的冷却时间是结束后需要自然冷却6小时; • 冷却后清洗电子枪和镜筒后再将电子枪装入镜筒; • 开机执行Flashing,先F1 0~10uA、F2 30 ~40uA、 F3 50~60uA最后再调回到F2。

  31. 取 样 品 步 骤 1. 关掉高压,并样品台归位;

  32. 2. 关闭Aperture 从Heat到Off,等待30分钟;

  33. 3. 关闭Display 和 Stage 的开关,按住面板处Air键2~5秒钟;

  34. 4. 等待破真空后,取下固定样品室的4个内六角螺丝; I型:拆下相连接的信号线,小心的取下样品台;

  35. II型:接上轨道延长杆将样品台缓缓滑出;

  36. 戴上手套进入样品室取出样品; 6. 将样品台和线等复原,点击Evac抽真空,待真空抽好后将Aperture再开始加热;

  37. 日 常 维 护 保 养 1. 清洗冷却循环水过滤网;

  38. 2. 空压机放水;

  39. 3. 检测RP泵油液面;

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