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Groupe de Microélectronique et Microsystèmes

Groupe de Microélectronique et Microsystèmes. Fabrication des microsystèmes Applications Outils de conception. Principes généraux. Photolythographie. UV. Masque. Couche photo-sensible. Dissolution de la couche photo-sensible exposée. Substrat (Si). Substrat (Si).

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Presentation Transcript

  1. Groupe de Microélectronique et Microsystèmes • Fabrication des microsystèmes • Applications • Outils de conception

  2. Principes généraux • Photolythographie UV Masque Couche photo-sensible Dissolution de la couche photo-sensible exposée Substrat (Si) Substrat (Si) Fabrication des microsystèmes

  3. + Déposition (physique ou chimique) Dissolution de la couche photo-sensible Substrat (Si) Substrat (Si) Principes généraux • Photolythographie Fabrication des microsystèmes

  4. + Gravure (humide ou sèche) Solution chimique Dissolution de la couche photo-sensible Substrat (Si) Substrat (Si) Principes généraux • Photolythographie Déposition (physique ou chimique) Fabrication des microsystèmes

  5. + Diffusion ou implantation d'impuretés (ions) IONS Dissolution de la couche photo-sensible Substrat (Si) Substrat (Si) Principes généraux • Photolythographie Déposition (physique ou chimique) Gravure (humide ou sèche) Fabrication des microsystèmes

  6. Principes généraux • Exemple: MOSFET Source Gâchette Drain n n Substrat de type p Oxyde Métal Fabrication des microsystèmes

  7. Groupe de Microélectronique et Microsystèmes • Fabrication des microsystèmes • Applications • Outils de conception

  8. Micro-électronique • Microcontrôleurs • Microprocesseurs • Circuits programmables (PLDs, FPGAs) • Circuits intégrés spécifiques (ASICs) • Fiabilité, sécurité, performance Applications

  9. Micro-électromécanique • Capteurs • Moteurs • Relais et Interrupteurs • Composants électromagnétiques • Faibles consommation, poids, coût • Possibilités d'intégration • Fiabilité Applications

  10. Microfluidique • Conduits • Valves, pompes, vannes • Filtres, mélangeurs, échangeurs thermiques • Faible coût • Optimisation des réactions et mélanges • Fiabilité Applications

  11. Groupe de Microélectronique et Microsystèmes • Fabrication des microsystèmes • Applications • Outils de conception

  12. NUMÉRIQUE: VHDL (Hardware Description Language) if input='1' then output <= '0'; else output <= output; end if; ... ANALOGIQUE: Schématique Microélectronique Conception Synthèse Outils de conception

  13. Micro Electro-Mécanique Conception Synthèse Outils de conception

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