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Chapter 2. Energy Bands and Carrier Concentration in Thermal Equilibriumn 熱平衡時的能帶及載子濃度. 2.1 半導體材料. Insulator , Semiconductor , Conductor. 半導體材料 : 導電率介於絕緣體與導體之間. 10 4 ~ 10 6 S/cm. . 10 -18 ~ 10 -8 S/cm. 導電率易受溫度 、 照光 、 磁場及微量雜質的影響,所以半導體在電子應用上很重要。. 半導體材料分類. 元素:矽( Si )、鍺( Ge ) 化合物 :
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Chapter 2 Energy Bands and Carrier Concentration in Thermal Equilibriumn 熱平衡時的能帶及載子濃度
2.1 半導體材料 • Insulator,Semiconductor,Conductor
半導體材料 :導電率介於絕緣體與導體之間 104~106S/cm 10-18~10-8S/cm • 導電率易受溫度、照光、磁場及微量雜質的影響,所以半導體在電子應用上很重要。
半導體材料分類 • 元素:矽(Si)、鍺(Ge) • 化合物: • 二元(binary)-例如GaAs,用於高速、光電元件。 • 三元(ternary)-例如AlxGa1-xAs,調整x的大小可改變材料的特性。 • 四元(quarternary)-例如AlxGa1-xAsySb1-y
2.2 基本晶體結構 • 固態物質由其原子排列方式可分為: 非晶形(amorphous)、多晶(polycrystalline)、單晶(crystalline)
2.2.1 單位晶包(unit cell)是晶體中可用以複製整個晶體的一小塊體積 3D 2D 晶格(lattice): 晶體中作週期性排列的原子
如何表示晶體? • 畫圖法 • 數學式 c b a m、n、p為正整數
常見的正立方體晶體結構 • 簡單立方(SC) 如釙(Po) • 體心立方(BCC) 如鈉、鎢 • 面心立方(FCC) 如鋁、銅、鉑
最鄰近距離 = 面對角線的一半 最鄰近距離 最鄰近距離=體對角線的一半
2.2.2 鑽石結構:元素半導體的晶體結構 可看成兩個fcc結構 俯視圖 堆積密度為34%
閃鋅礦結構:如GaAs,類似鑽石結構。 • 可看成一個fcc結構原子為As,另一個往體對角線移動1/4的fcc結構原子為Ga。
最鄰近原子距離 1 2 3 4
2.2.3 晶面以及米勒指數 • ABCD面:有4個原子 • ACEF面:有5個原子 • 比較兩個面,原子密度不同 不同平面之晶體性質不同
晶面以及米勒指數(續) • 米勒指數為描述晶面的方法 • 找出晶面在x軸y軸 z軸的截距(以晶格常數a為單位) • 將截距取倒數,再求出最小簡單整數比h:k:l • 則(hkl)即為此平面的米勒指數 • 例:截距為1,3,2 • 倒數為1,1/3,1/2 • 倒數比 6:2:3 • 此平面之米勒指數為 • (623)
米勒指數其他相關表示 • (hkl) 表示x截距為負 • {hkl} 表示一組對稱的對應平面,例如{100}表示(100)(010)(001)(100) (010)(001)六個面 • [hkl] 表示晶面的方向,在立方晶體上,[hkl]正好垂直於(hkl)晶面。
2.4 價鍵(valence bonds) • 共用電子的結構稱為共價鍵 (covalent bonding),兩原子(相同元素,如矽,或相似電子外層結構的不同元素,如GaAs)的原子核對共用電子的吸引力使的兩個原子結合在一起。
由鍵結理論解釋電子電洞的生成 低溫時:電子束縛於四面體晶格中,無法傳導。 高溫時,熱振動打斷共價鍵,形成導電電子,原來之電子空缺(稱為電洞)可由鄰近原子填滿,好似電洞在移動。
2.3 能帶(energy band) • 氫原子模型—1913年波爾提出 主要假設:電子繞氫原子核做圓周運動,其角動量量子化(L=nħ) 結果算出單一個氫原子的電子能量為 其中m0為自由電子質量、q為電子電荷、 ε0為自由空間的介電係數,n為正整數,稱為主量子數。 能階 重要概念:能量不是連續的,而是分立的
多個氫原子的電子能量 兩個氫原子靠近到有交互作用時,原來n=1的能階變成兩條(很靠近) 同理,很多氫原子集合在一起,原來的能階分裂成很多條,看起來就變成能帶
半導體能階/能帶模型 • N個矽原子靠在一起,3s及3p軌道產生交互作用及重疊,平衡時分裂為兩個能帶,形成矽晶體 • 單一個矽原子:十個電子在內層軌道,兩個在3s軌道(全滿),兩個在3p軌道。 導電帶 能隙 價電帶 形成允許能帶和禁制能帶
自由電子: 晶體中的電子: 將m0改成mn(有效質量),左式仍可用。 0 0 2.5.2 E-p 圖 –另一種分析,可看出允許能帶和禁制能帶。 允許能帶 禁制能帶 退縮k空間圖形 (or k)
有效質量(Effective mass) 圖形越瘦,曲率越大,有效質量越小。 反之,越胖,有效質量越大。
有效質量 • 晶體中的電子和自由電子的差異---晶體中的電子,受到原子核週期性位障的影響。 • 如何描述晶體中電子的能量? 借用自由電子的能量公式: 將其中的自由電子質量修正成 mn(電子在晶體中的有效質量),則以上之公式 變為 即可以簡單關係式表示晶體中,受到原子核週期性位障的影響的電子之能量。
一模一樣的球 油 水 模擬說明 兩個容器中之球落底時間不同,這是因為阻力(即浮力)不同。換個方向思考,將球落底所受的力只想成重力,不去計算阻力問題,可想成兩個容器中球的質量不同,才造成落地時間不同。 同理,自由電子與晶體中電子所受的力場不同,所以能量不同,但晶體中的力場不易得知,故換個想法,將晶體中質量修正為有效質量,則可不直接處理力場的問題,因此自由電子的相關公式皆可使用。
如何求有效質量? • 可由能帶圖(E-P圖或E-k圖)的曲率倒數求得。 • 曲線越”胖”,曲率越小,有效質量越大。 • 反之,曲線越”瘦”,曲率越大,有效質量越小。 如左圖: A晶體中電子之E-k 圖曲線的曲率大於B晶體中電子的曲率 所以A晶體中電子的有效質量小於B晶體中的電子
價電帶電子的有效質量(電洞的有效質量) 價電帶電子的E-p圖曲率為負,所以此區電子的有效質量為負,是否合理? 想像水底放入一皮球,一放手,球會往上走,與重力的方向相反,好像球具有負的質量一樣。 由左式之分析,可知價電帶的電子(具有負的有效質量)運動行為可視為帶正電的粒子(具有正的有效質量),此帶正電的粒子即為電洞,其有效質量以mp*表示。 考慮牛頓運動定律
Si與GaAs的E-p圖 導電帶能量最低點和價電帶能量最高點之p不同 導電帶能量最低點和價電帶能量最高點之p相同
Direct Semiconductor & Indirect Semoconductor • 直接半導體:如GaAs,電子在價電帶與導電帶中躍遷,不需要改變動量。所以光電子產生的效率高,適合作為半導體雷射或其他發光元件的材料。 • 間接半導體:如Si,電子在價電帶與導電帶中躍遷,需要遵守動量守恆。所以躍遷發生除了所需能量外,還包括與晶格的交互作用。
以E-P圖解釋半導體中的導電電子與電洞 • 電子對導電性的影響 : • T =0oK 時,電子填滿價電帶,無法自由移動,故無法導電。 • (b) T > 0oK 時,部分電子具有足夠的熱能,可以躍遷至導電帶。而導電帶的電子可自由移動,故可導電。
電洞對導電性的影響 : (a) T > 0oK 時,部分電子具有足夠的熱能,可以躍遷至導電帶。而價電帶的電就有空的能態(states),所以價電帶的電子也可以自由移動,幫助導電。 (b) 而價電帶的空位,可視為帶正電的載子,稱為電洞。
絕緣體與半導體的能帶圖 例:(室溫下) GaAs:EG~1.42eV Si:EG~1.12eV Ge:EG~0.66eV 例: SiO2:EG~8eV 鑽石:EG~5eV
金屬的能帶圖 導電帶部分填滿(如銅) 導電帶與價電帶重疊(如鋅或鉛)
N N 2.6 本質(Intrinsic)半導體的載子(carrier)濃度 • Thermal equilibrium:無外界激發,如光、壓力、電場。 • 本質半導體:雜質量遠小於因熱能產生之電子電洞對的半導體,一般指的是未摻雜質的半導體。 • 如何求得電子濃度n(單位體積的電子數)? 能量介於E與E+dE間的電子濃度 導電帶的電子濃度為:(假設Ec=0)
n(E):單位能量,單位體積的電子數。 • N(E) (Density of states):能量在E到E+dE間的單位體積允許能階數。 • F(E) (費米機率分佈):能量為E的狀態,被電子填滿的機率。 N 即:在單位體積內,電子的數目為電子可能存在的狀態乘上這些狀態被填滿之機率。
Fermi- Dirac Disribution F(E) • 統計力學上用來表示某些粒子的機率分佈,晶體中的電子就滿足這種分佈 能量為E的能量狀態被電子佔據的機率 其中 k為波茲曼常數,k = 1.38066x10-23J/K T為絕對溫度,單位為K。 一般在室溫(300K)下,kT = 0.0259eV EF為費米能量。
費米能量(Fermi Energy) • T = 0K時,能量低於EF的能量狀態被電子佔據的機率為1,能量高於EF的能量狀態被電子佔據的機率為0。 EF 小於費米能量的能態
費米能量(Fermi Energy)(續) • T > 0K時,比能量EF小一點之能態上的電子有機會躍升到能量大於EF的能態 能量為EF的能態被電子佔據的機會為1/2
能態為空的機率分佈 即:形成電洞的機率 被電子佔據的機率分佈 費米能量(Fermi Energy)(續) 若 ,則費米機率分佈可以以波茲曼分佈來近似。
費米能量的位置 若EF靠近Ec,則由圖可知電子濃度會大於電洞濃度 曲線下面積為電子濃度 曲線下面積為電洞濃度 此二圖相乘
費米能量的位置(續) 若EF靠近Ec,則由圖可知電洞濃度會大於電子濃度
費米能量的位置(續) 若EF在Ec與Ev的中間,則由圖可知電洞濃度會等於電子濃度。 熱平衡狀態下,本質半導體之電子濃度應等於電洞濃度, 故可知費米能量應在Ec與Ev的中間。
電子濃度n之公式推導 p. 34~36