【1 事業の内容及び実施方法 】 1. １ . 事業内容（実施方法を含む） 1 ． 1 ． 1 粒界構造確認（ EBSD 測定）

1. 【1　 事業の内容及び実施方法】1.１. 事業内容（実施方法を含む）1．1．1　粒界構造確認（EBSD測定） 1/2 記述内容 • 事業内容（実施方法を含む）について具体的に記述する。 • 事業内容（実施方法を含む） 弊社は１９７９年に分析・試験業務を分離して総合試験研究会社として発足しました。以降長年にわたり蓄積した豊富な技術とノウハウおよび最新鋭の設備を駆使し、材料や構造物などの分析、試験、測定、解析から試作、製造、さらには薄膜ターゲット材料の製造、半導体検査装置の設計・製作など、課題解決型のサービスを行っております。 実施方法 1) EBSD測定面の調製 研磨法による測定面調製を行うため以下の①～④に示す工程を実施します。 ① 精密切断機を使用してEBSD試験片をEBSD測定できるサイズに切断。 ② 湿式研磨（エメリー紙＃500⇒#1000⇒#2400） ③ バフ仕上げ（ダイヤモンド６μｍ⇒１μｍ）：鏡面仕上げ。 ④ OPS（コロイダルシリカ）仕上げ又は、電解研磨仕上げ。 　　補足：④は表面の加工歪を除去するために必要。 　　端面部実施の場合はOPS仕上げ。試料中央部測定の場合は電解研磨仕上げ。 2) EBSD分析および粒界性格解析 ① 1)で調製した測定面を有する試料をFE-SEMに装荷してEBSD分析を行う。 　　　　測定装置名称 　　　　　　・FE-SEM　　　　：日本電子製　JSM-6500F、フィリップス社製　XL-30SFEG 　　　　　　・EBSPシステム：TSL社製　OIMVer.4.0、OIMVer.5.2

2. 【1　 事業の内容及び実施方法】1.１. 事業内容（実施方法を含む）1．1．1　粒界構造確認（EBSD測定） 2/2 記述内容 • 事業内容（実施方法を含む）について具体的に記述する。 • 事業内容（実施方法を含む） ②　分析面を1mm×1mm□、測定ステップを2μmにして測定を行う。 　　　・総測定点数：25万点 　　結晶粒径が上記ステップ数で不適の場合は、ステップ数と測定範囲、視野を再検討する。 ③ OIM解析ソフトを使用し、対応粒界分布図および全粒界長さにおける対応粒界長を計算し、全粒界長さに対する対応粒界長 　　の割合を求める。