1 / 9

Scherübl Zoltán Nanofizika Szeminárium - JC 2012. Okt 18. BME

Scherübl Zoltán Nanofizika Szeminárium - JC 2012. Okt 18. BME. In-assisted növesztés MBE-ben SiO2/HSQ rétegre Zink-blende szerkezet Sok ikersík 5 nm-es alignolási pontosság SEM szennyezés No passziválás O + , Ar + plazma Ti/Au. SEM hatása:

hasad-barnett
Download Presentation

Scherübl Zoltán Nanofizika Szeminárium - JC 2012. Okt 18. BME

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Scherübl Zoltán Nanofizika Szeminárium - JC 2012. Okt 18. BME

  2. In-assisted növesztés MBE-ben SiO2/HSQ rétegre Zink-blende szerkezet Sok ikersík 5 nm-es alignolási pontosságSEM szennyezés No passziválás O+, Ar+ plazma Ti/Au

  3. SEM hatása: Longitudinális ellenállás 2 nagyságrendet csökken Hall-ellenállás közel állandó -> nagyrészt kontakt ellenállás (~2k) Oka: As vakanciát hozhat létre a felületen a SEM -> In többlet -> dópolja Hall-mérés: I = 1 -5 μA @RT

  4. BG hatása: Csökkenti az elektron sűrűséget Mobilitás nem változik Field effect-mérés: Kb 4-szeres n-t jósol Elektronok ¼-e vezetési elektron A többi interfész/felületi állapotoban lokalizálódik

  5. NW: d = 20-40 nm, zink-blende 1 μm PMMA n = 7000/nm = const (Field-effect n) (μ = 500 cm2/Vs, le ~ 18 nm) Erősebb szórás a NW-PMMA felületen -> G csökken pozitív gate-re lφ korrelál G-val α: 2x faktor, polarizáció függetlenül

  6. Suspended NW (1 min HF marás) Li+ vagy ClO4- a NW felületre diffundál Radiálisan szimmetrius E a NW-ben E~107 V/cm, α: 6x, τSO: 3 nagyságrend lφ korrelál G-vel itt is, lSO erősen változik

  7. τφ: T-2/3 függés: Nyquist-folyamat (e-e kölcsönhatás) τSO: hőmérséklet függés alapján más folyamat is jelentős lehet

More Related