1 / 22

Зондовое анодное окисление

Зондовое анодное окисление. Королёв Сергей. Содержание. Введение. Сканирующая зондовая микроскопия. Сканирующая зондовая литография. Зондовое анодное окисление. Импульсная методика. Первые успехи. Окисление металла. Модель Кабрера и Мотта. Зондовое анодное окисление кремния.

hall
Download Presentation

Зондовое анодное окисление

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Зондовое анодное окисление Королёв Сергей

  2. Содержание • Введение. • Сканирующая зондовая микроскопия. • Сканирующая зондовая литография. • Зондовое анодное окисление. • Импульсная методика. • Первые успехи. • Окисление металла. Модель Кабрера и Мотта. • Зондовое анодное окисление кремния. • Встроенный пространственный заряд. • Модуляционная методика. • Заключение.

  3. Сканирующий зондовый микроскоп Исполнительный элемент В. Л. Миронов, Основы сканирующей зондовой микроскопии (2004).

  4. Сканирующий зондовый микроскоп Сканирующий туннельный микроскоп Атомно-силовой микроскоп В. Л. Миронов, Основы сканирующей зондовой микроскопии (2004).

  5. H. M. Saavedra et. al., Hybrid strategies in nanolithography (2010).

  6. Импульсная методика зондового анодного окисления J. A. Dagata, Science 270 (1995) 1625.

  7. Зондовое анодное окисление. Что лучше: сканирующий туннельный микроскоп или атомно-силовой микроскоп? Сканирующий туннельный микроскоп: Один свободный параметр Атомно-силовой микроскоп: Два свободных параметра Основные успехи зондового анодного окисления связаны с использованием атомно-силового микроскопа.

  8. Металлизация иглы атомно-силового микроскопа Ti Si3N4 V

  9. Первые успехи использования проводящего зонда атомно-силового микроскопа для окисления поверхности Si Полоски SiO2 Полоски SiO2служат маской при травлении Si в растворе KOH Незащищённый Si протравился примерно 10 нм E. S. Snowand P. M. Campbell, Appl. Phys. Lett. 64, 1932 (1994).

  10. «Заострение иглы» Ширина полосок ~ 20 нм Диаметр иглы ~ 80 нм E. S. Snowand P. M. Campbell, Appl. Phys. Lett. 64, 1932 (1994).

  11. Сухое травление в плазме SiO2 Si Глубина травления ~ 30 нм. E. S. Snow, W. H. Juan, S. W. Pang and P. M. Campbell, Appl. Phys. Lett. 66, 1729 (1995).

  12. Окисление металла Окисление – это соединение тел с кислородом. O2 Скорость окисления определяется скоростью химической реакции. Al O2 Скорость окисления определяется скоростью прохождения реагентовчерез окисел. Al2O3 Al

  13. Модель Кабрера и Мотта O- O Al2O3 Al N. Cabrera and N. F. Mott, Rep. Prog. Phys. 12, 163 (1949).

  14. Источник кислорода при зондовом анодном окислении V SiO2 Si

  15. Реакция окисления кремния SiO2 Si

  16. Скорость окисления Скорость дрейфа ионов N. Cabrera and N. F. Mott, Rep. Prog. Phys. 12, 163 (1949).

  17. Скорость окисления кремния: эксперимент n-Si(100) Модель Кабрера и Мотта P. Avouris, T. Hertel and R. Martel, Appl. Phys. Lett. 71, 285 (1997).

  18. Сканирующая микроскопия напряжений Максвелла Поверхностный потенциал Ёмкость J. A. Dagata, Nanotechnology 8, A3 (1997).

  19. Наблюдение встроенного пространственного заряда p,n-Si(100) Создавались точечные окислы Снимались карты топологии, потенциала, ёмкости J. A. Dagata, T. Inoue, J. Itoh and H. Yokoyama, Appl. Phys. Lett. 73, 271 (1998).

  20. Механизм образования встроенного пространственного заряда

  21. Модуляционная методика зондового анодного окисления F. Perez-Murano, K. Birkelund, K. Morimoto and J. A. Dagata, Appl. Phys. Lett. 75, 199 (1999).

  22. Заключение

More Related