MICROSISTEME INTEGRATE DE TIP RF MEMS REALIZATE PE SILICIU, GALIU-ARSEN SI SEMICONDUCTORI DE BANDA LARGA PENTRU APLICAT

1. Institutul National de Cercetare Dezvoltare pentru Microtehnologie (IMT- Bucuresti) www.imt.ro MICROSISTEME INTEGRATE DE TIP RF MEMS REALIZATE PE SILICIU, GALIU-ARSEN SI SEMICONDUCTORI DE BANDA LARGA PENTRU APLICATII IN DOMENIUL COMUNICATIILOR AVANSATE Contact: Dr. Alexandru Muller – alexm@imt.ro • Se prezinta demonstratoare originale pentru antene Yagi-Uda de 60GHz pe membrane de GaAs, antene Yagi-Uda de 77 GHz obtinute prin microprelucraea siliciului si receptor microprelucrat pentru 60 GHz realizat pe GaAs • Structurile sunt realizate prin procese tehnologice noi, care se bazeaza pe microprelucrarea galiu-arsen si siliciu de inalta rezistivitate • PROIECTARE SI FABRICATIE • Proiectarea componentelor suspendate pe membrane au fost modelate si proiectate folosind pachetul software de simulare electromagnetica tridimensionala IE3D Zeland Ltd. • Antenele Yagi-Uda de 60GHz pe membrane de GaAs, s-au realizat printr-un proces tehnologic nou, care se bazeaza pe combinarea microprelucrarii de suprafata cu microprelucrarea de volum a GaAs, cu ajutorul corodarii RIE. • Antene Yagi-Uda de 77 GHz obtinute prin microprelucraea siliciului, au fost realizate printr-un proces tehnologic de microprelucrare a plachetelor de siliciu de inalta rezistivitate, de orientare <100> si 400μm grosime, bazat pe corodarea anizotropa a siliciului. • Receptor microprelucrat pentru 60 GHz realizat pe GaAs, s-au realizat prin integrarea monolitica a unei diode Schottky cu o antena Yagi-Uda, ambele suspendate pe membrana microprelucrata. Antena Yagi 60GHz - vedere de sus Antena Yagi 77GHz – vedere de pe fata Structura de modul receptor APLICATII: Demonstratoarele contribuie la dezvoltarea unei noi generatii de circuite bazate pe tehnologii MEMS dedicate comunicatiilor in unde milimetrice. Noile microsisteme RF vor imbunatatii performantele front-end-urilor si circuitelor existente in domeniul undelor milimetrice. Detaliu SEM cu zona antenei din structura de receptor integrat pentru 60 GHz Centrul de Transfer Tehnologic pentru Microinginerie CTT-BANEASA info-ctt@imt.ro © 2007 IMT-Bucharest