De la physique à la microélectronique

1. De la physique à la microélectronique Invention du transistor Fabrication d ’un transistor MOS Vue symbolique Fonctionnent du transistor La physique du transistor Les vues symboliques

2. Objectifs • Nous verrons comment est fabriqué un transistor MOS. • Nous comprendrons son mode de fonctionnement en interrupteur ouvert ou fermé.

3. Le transistor Bipolaire • J. Bardeen, W. Shockley, W. Brattain • Reçoivent en 1947, 10 $ pour la découverte du T bipolaire. • en 1956 le prix Nobel. • W. Shockley • rédige la théorie en 1951. • Définitions • Le transistor métal-oxyde-silium ou MOSFET. • Un cristal de silicium riche en trous est une région P • Une region riche en électrons est une région N

4. Le tout premier transistor

5. Microprocesseur

6. Fabrication d’un transistor MOS SiliciumP

7. Fabrication d’un transistor MOS Oxydation de champ Oxyde Silicium P

8. Fabrication d’un transistor MOS Masque 1 : Oxyde de grille Silicium P

9. Fabrication d’un transistor MOS Gravure, oxydation de grille Silicium P

10. Fabrication d’un transistor MOS Dépôt de Métal Métal Silicium P

11. Fabrication d’un transistor MOS Masque 2 : Grille Silicium P

12. Fabrication d’un transistor MOS Attaque métal et oxyde Métal Silicium P

13. Fabrication d’un transistor MOS P P P P Implantation Récuit P P P P P P P P P P P P P Métal Silicium P

14. Fabrication d’un transistor MOS Implantation Récuit P P P P P Métal n+ n+ Silicium P

15. Fabrication d’un transistor MOS Métal n+ n+ Zone d’isolation Silicium P

16. Fabrication d’un transistor MOS Dépôt Métallique Masque 3 : interconnexion Métal n+ n+ Zone d’isolation Silicium P

17. Vue symbolique Métal : Bleu Oxyde : Rouge Semiconducteur : Vert

18. - - - Fonctionnement du transistor Rappels : - - - -

19. Fonctionnement du transistor Source Drain

20. Fonctionnement du transistor Source V. Grille < V. Seuil Drain - - - - - - - - - - - - - -

21. Fonctionnement du transistor Source V. Grille > V. Seuil Drain Transistor passant

22. La physique du transistor Électrons Bande interdite Bande de conduction Trous Bande de valence Zone désertée Zone désertée

23. La physique du transistor V. Grille < V. Seuil Électrons Bande interdite Bande de conduction Bande de valence Zone désertée Zone désertée

24. La physique du transistor V. Grille > V. Seuil Électrons Bande interdite Bande de conduction Bande de valence Zone désertée Zone désertée

25. Vues symboliques Transistor ouvert fermé