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進階微機電元件實作

進階微機電元件實作. 在 PDMS 上打電極 並應用在 CMOS MEMS 生物晶片上. 劉佳峯 張恩旗. 製作 PDMS 模型. 使用先前用 Si 做好的細胞捕捉結構和黏有 IC 的玻片，以 PDMS 來翻模。 翻模後的細胞捕獲結構為流道，黏有 IC 的玻片翻模後則為底座。. 畫製光罩. 使用 AUTO-CAD 畫製光罩 本次實驗使用負片光罩 . 上板光罩設計圖. 下板光罩設計圖. 測試曝光參數. 上 HMDS ，使用 S1818 ， 300rpm ，曝光時將紙墊在玻片下擋光。 上 HMDS ，使用 S1818 ， 300rpm ，曝光時玻片底下沒墊紙。

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進階微機電元件實作

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Presentation Transcript

  1. 進階微機電元件實作 在PDMS上打電極並應用在CMOS MEMS生物晶片上 劉佳峯 張恩旗

  2. 製作PDMS 模型 • 使用先前用Si做好的細胞捕捉結構和黏有IC的玻片，以PDMS來翻模。 • 翻模後的細胞捕獲結構為流道，黏有IC的玻片翻模後則為底座。

  3. 畫製光罩 • 使用AUTO-CAD畫製光罩 • 本次實驗使用負片光罩

  4. 上板光罩設計圖

  5. 下板光罩設計圖

  6. 測試曝光參數 • 上HMDS，使用S1818，300rpm，曝光時將紙墊在玻片下擋光。 • 上HMDS，使用S1818，300rpm，曝光時玻片底下沒墊紙。 • 結果：S1818根本上不去。

  7. 測試曝光參數 • 沒用HMDS，使用AZ4620，1500rpm，曝光時不墊紙。分別測試曝光15s、20s、12s，但是都有過曝的現象，且有斷線。 • 沒用HMDS，使用AZ4620，1500rpm，曝光時有墊紙。分別測試曝光12s、8s，但是雜質多，而且又有斷線。

  8. 測試曝光參數 • 沒用HMDS，使用AZ4620，3000rpm，曝光時底下不墊紙。測試曝光12s、8s、15s、17s、11s。 • 其中曝光15s效果最佳，17s就有過曝的現象，11s則曝光不足。

  9. 討論 • 曝光時可在玻片底下墊紙，用黑紙效果最佳。 • 在PDMS上塗佈HMDS，會使光阻過分黏在上面，因此可不上HMDS。 • S1818在PDMS上的黏著力過低。

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