3 gyakorlat
This presentation is the property of its rightful owner.
Sponsored Links
1 / 31

3. gyakorlat PowerPoint PPT Presentation


  • 63 Views
  • Uploaded on
  • Presentation posted in: General

3. gyakorlat. Készítette: Földváry Árpád e-mail: [email protected] Litográfia. U V fény. Lakk. Lakk. Oxid. Oxid. Si szelet. Si szelet. Negatív litográfia. Negatív lakk: A szeleten kialakuló ábra ellentétes a maszk ábrával. - Ott oldható a lakk, ahol nem lett megvilágítva.

Download Presentation

3. gyakorlat

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation

Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author.While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server.


- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - E N D - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -

Presentation Transcript


3 gyakorlat

3. gyakorlat

Készítette: Földváry Árpád

e-mail: [email protected]


3 gyakorlat

Litográfia

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

UVfény

Lakk

Lakk

Oxid

Oxid

Si szelet

Si szelet

Negatív litográfia

  • Negatív lakk:

    • A szeleten kialakuló ábra ellentétes a maszk ábrával.- Ott oldható a lakk, ahol nem lett megvilágítva.

Előhívás után megmaradt lakk

Ábra a maszkon

Megvilágított terület a lakkon

Ablak

Árnyékolt terület a lakkon

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

UV fény

photoresist

Lakk

Lakk

photoresist

Oxid

Oxid

oxide

oxide

silicon substrate

Si szelet

Si szelet

silicon substrate

Pozitív litográfia

  • Pozitív lakk:

    • A szeleten kialakuló ábra megegyezik a maszk ábrával.- Ott oldható a lakk, ahol meg lett világítva.

Előhívás után megmaradt lakk

Ábra a maszk

Árnyékolt terület a lakkon

Ablak

Megvilágított terület a lakkon

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

UV fény

Lakk

Maszk

3) Beszárítás

2) Lakk felcentrifugálása

4) Pozícionálás, megvilágítás

1) Nedvesség eltávolítása

5) Előhívás

6) Beégetés

7) Előhívás ellenőrzése

Fotolitográfia lépései

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Z

Y

X

q

Lakkfelvitel eszközei

4 dimenzióban mozgatható fúvóka

Lakk adagoló fúvóka

Lakk áramlás

Áramló levegő

Szelet

Rozsdamentes acél tál

Vákuumos szelettartó

Megfolyt hátoldali lakk eltávolítás(EBR)

Levegő elszívás

Maradék lakk elvezetése

Motor

Vákuum

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Fotolitográfiai gyártósor

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Vákuumtechnika

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Vákuumrendszer általános felépítése

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Elővákuum létrehozása: Forgólapátos szivattyú

  • Szívási sebesség 1-300m3/óra

  • Végvákuum: - 0,1mbar (egyfokozatú) - 0,001 mbar (kétfokozatú)

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Elővákuum mérése: Termopár

  • Mérési elv a hővezetésen alapul

  • Méréshatár: 0,001mbar

  • Szál elkoszolódhat, kiéghet

  • Lassú

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Elővákuum mérése: Pirani mérő

  • Legelterjedtebb

  • Méréshatár: 2-0,001mbar

  • Gyors

  • W szál elkoszolódhat, kiéghet

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú

  • Nagyon elterjedt

  • Egyszerű felépítés

  • Könnyen tisztítható, javítható

  • Szívási sebesség mérettől függ: 100-10000 l/s

  • Végvákuum: ~10-8 mbar

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Nagyvákuum létrehozása: Diffúziós szivattyú

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Nagyvákuum létrehozása: Turbómolekuláris szivattyú

  • Nagyon elterjedt

  • Szívási sebesség mérettől függ: 50-3500 l/s

  • Végvákuum: ~10-10 mbar

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuummérő

  • Széles mérési tartomány: 10-2 – 10-10 mbar

  • Egyszerű

  • Kiéghet a fűtött katód

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Nagyvákuum mérése: ionizációs vákuum mérő

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Nagyvákuum mérése: Penning vákuummérő

  • Nincs fűtött katód, nem éghet ki

  • Kisebb pontosság

  • Mérési tartomány: ~10-8 mbar-ig

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Fémréteg leválasztási módszerek

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

CVD (Chemical Vapor Deposition)

1) Reagens felhő

CVD reaktor

Gáz befújás

7) Melléktermékek deszorpciója

8) Melléktermék eltávolítás

2) Előreakciók

Melléktermék

Elszívás

3) Gáz molekulák diffúziója

5) A vegyület bediffundál a hordozóba

Vékony réteg

6) Felületi reakciók

4) Vegyület abszorpciója

Hordozó

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

LPCVD (Low PressureChemical Vapor Deposition)

Három zónás fűtés

Nyomás mérő

Kifújás a vákuum szivattyúhoz

Gáz bemenet

Termoelemek

Termoelemek

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Katódporlasztás

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Vákuumgőzölés

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Vákuumgőzölés módjai

  • A gőzölés történhet:

    • Huzalról

    • Tégelyből

    • Csónakból

    • Elektron sugárral

  • A tartó anyaga lehet:

    • Wolfram (W), Bór-nitrid (BN) Tantál (Ta), Molibdén (Mo).

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Elektronsugaras gőzölés

http://www.ett.bme.hu/vlab/start.html

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Vákuumgőzölő

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Rezgőkvarcos rétegvastagság mérő

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Kontaktusréteg kialakítása

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Kontaktus réteg

a, szitanyomtatással felvitt vezető réteg

b, lézerbevágásos, eltemetett kontaktus kémiai fémréteg leválasztással

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Szitanyomtatással felvitt vezetőréteg

Napelemek - 3. gyakorlat


3 gyakorlat

Eltemetett vezetőréteg

Napelemek - 3. gyakorlat


  • Login