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Dispositivos para Sistemas Ópticos

Dispositivos para Sistemas Ópticos. Micro-Espelhos. fixos e móveis horizontais e verticais. Chaveamento Óptico. Estrutura mecânica ressonante. Micro-Estruturas Mecânicas. Estrutura Comb Drive. massa móvel. acelerômetro filtro mecânico atuadores ressonantes. parte fixa. y. x.

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Presentation Transcript


  1. Dispositivos para Sistemas Ópticos

  2. Micro-Espelhos • fixos e móveis • horizontais e verticais

  3. Chaveamento Óptico Estrutura mecânica ressonante

  4. Micro-Estruturas Mecânicas

  5. Estrutura Comb Drive massa móvel • acelerômetro • filtro mecânico • atuadores ressonantes parte fixa y x

  6. (Micro-) Motores e Engrenagens

  7. Micro-Fluídica • Válvula (surface / back-side bulk micromachining) • Bomba de Propulsão (processo híbrido) fluxo fluxo entrada fechada fluxo saída aberta

  8. Componentes para Circuitos Microondas

  9. Linha de Transmissão linha metálica plano de massa

  10. Indutor Espiral Planar

  11. Indutor Espiral Planar... • Membrana open areas • Linhas Isoladas

  12. Transformadores Planares • Cp = Cs • 40fF  15fF • Cm • 200fF  80fF

  13. Método de Elementos Finitos Circuito Elétrico Equivalente Modelagem e CAD Formulação Matemática

  14. Linguagem de Descrição de Hardware Analógico HDL-A Spectre-HDL VHDL 1076.1 VHDL-AMS LIBRARY conserved_systems; USE conserved_systems.nature_pkg.ALL; ENTITY piezopress_equ IS GENERIC (h: real := 17e-6; -- plate thickness a: real := 1e-3; -- plate side length r0: real; -- nominal resistance rs: real); -- sensitivity PORT (TERMINAL fp: fluid; -- fluidic pin TERMINAL ep: electrical); -- electrical pin ENDENTITY piezopress_equ; ARQUITECTURE equ OF piezopress_que IS CONSTANT e0: real := 146.9e9; -- Si elasticity [N/m**2] CONSTANT v0: real := 0.1846; -- Si Poisson’s ratio CONSTANT df: real := e0*h**3/(12*(1-sqr(v0)); -- rigidity QUANTITY v ACROSS i THROUGH ep TO ground; QUANTITY p ACROSS ft TO fld_gnd; QUANTITY w11: real; -- deflection coefficient BEGIN (w11/h)**3 + 0.2522*w11/h == 0.000133*p*a**4/(df*h); i == v/(r0 + rs*2.5223*1.5895e9*w11); ENDARQUITECTURE equ; Sensor de pressão piezo-resistivo

  15. Simuladores de Usinagem

  16. Conclusão • Área de desenvolvimento promissora • Identificação de aplicações potenciais • Criatividade na criação de dispositivos • Equipes de trabalho multi-disciplinares

  17. Fotos : • Sandia National Laboratories • MCNC MEMS Technology Applications Center • TIMA Laboratory - INPG • University of Wisconsin - Madison • Journal of Microelectromechanical Systems

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