1 / 26

Vrstični mikoskopi v eksperimentalni fiziki

Vrstični mikoskopi v eksperimentalni fiziki. Avtor: Uplaznik Mentor: prof. Dragan Mihailović. Napovednik. Uvod Vrstični elektronski mikroskop Opis delovanja Uporaba Vrstični tipalni mikroskop Vrste mikroskopov in načini delovanja Uporaba Zaključek. Zgodovina.

chiko
Download Presentation

Vrstični mikoskopi v eksperimentalni fiziki

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Vrstični mikoskopi v eksperimentalni fiziki Avtor: Uplaznik Mentor: prof. Dragan Mihailović

  2. Napovednik • Uvod • Vrstični elektronski mikroskop • Opis delovanja • Uporaba • Vrstični tipalni mikroskop • Vrste mikroskopov in načini delovanja • Uporaba • Zaključek

  3. Zgodovina • 1931 Knoll, Ruska - Presevni elektronski mikroskop • 1942 Čitalni elektronski miroskop • 1965 Prve naprave na tržišču • 1981 Binning, Rohrer -Tunelski čitalni mikroskop

  4. Zgradba mikroskopa Vrstični elektronski mikroskop • SEM – scanning electron microscope

  5. Stolp • Izvor • Zbiralne leče • Odprtina • Čitalni tuljavi • Objektiv

  6. Vrste Izvornih konic Volframova 2700 0C, 10-5 torr 2 A/cm2, 100 ur LaB6 2300 0C, 10-5 torr 20 A/cm2, 200 ur Hladna emisija 2000 A/cm2, 10-9 torr Čas: 10 let Izvor elektronov

  7. Nanožice Desetkrat svetlejše Energijska razpršenost manjša Volframova konica LaB6 Volfram-cirkonijeva konica Slike konic

  8. Magnetna leča

  9. Uporaba • Mikroskopija • Elementna analiza • Elektronska litografija • Analiza bioloških vzorcev • Fizika materialov – testiranja • Fizika površin – prelomi • Medicinski vsadki • Sodna medicina

  10. Mikroskopiranje • Povratno sipanje • Energija nad 50 eV • Sipani presek večji pri težjih elementih • Površinske podrobnosti neopažene • Sekundarni elektroni • Energija pod 50 eV • Opazimo podrobnosti – 50 nm pod površino • Elementov ne ločimo med seboj • Ločljivost: 5-10nm

  11. Povratno sipanje Lečni detektor b) Sekundarni elektroni Everhart-Thornleyev detektor a) Detektorja

  12. Primera slik Povratno sipanje Sekundarni elektroni

  13. Elementna analiza vzorcev • Karakteristične črte • Več analiznih kristalov

  14. Elektronska litografija • Dodelava mikroskopa omogoča risanje • Elektroni trgajo vezi med monomeri v polimerni pasti - resistu • Topilo odtopi osvetljene dele • V kanalih napršena kovina zadene substrat • Po dvigu preostale paste ostanejo strukture v kanalih

  15. Primer vezja

  16. Vrstični tipalni mikroskop • SPM – scanning probe microscope • Ostra konica tipa površino • Zgradba

  17. Osnovna načina mikroskopiranja • Tunelska mikroskopija – STM • Mikroskopija na atomsko silo – AFM • Kontaktni način • Tipalni način

  18. Mikroskopija na atomsko silo – AFM • Kontaktni način a) • Tipalni način b)

  19. Izvedba v napravi

  20. Drugi načini mikroskopiranja • Torzijsko-tipalni • Lateralni • Prevodni • Magnetni • Elektromagnetni • Elektrostratski • Termični

  21. Zaključek

  22. Hvala

  23. SEM TEM

More Related