1 / 3

1. 請寫出以丙酮 / 酒精進行零件清洗之清洗槽起火的原因 及降低火災風險之方法 (10%) ( 答案請寫於後 ) 2. 請說明 SiH4 洩漏起火之機制 ( 反應方程式 ) 。 (10%)

班級 姓名 學號. 1. 請寫出以丙酮 / 酒精進行零件清洗之清洗槽起火的原因 及降低火災風險之方法 (10%) ( 答案請寫於後 ) 2. 請說明 SiH4 洩漏起火之機制 ( 反應方程式 ) 。 (10%) 3.EPI 製程反應器 ( 石英 ) 破裂起火之原因。 (20%) 4. 請說明於使用 NF3 之 HDPCVD 機台 pumping line 中於 check valve 及 bellow 處起火之原因及避免方法 (20%) 5. 燃燒式 local scrubber 回火之原因及如何降低其風險 ( 可能性及嚴重性 )

zahir-irwin
Download Presentation

1. 請寫出以丙酮 / 酒精進行零件清洗之清洗槽起火的原因 及降低火災風險之方法 (10%) ( 答案請寫於後 ) 2. 請說明 SiH4 洩漏起火之機制 ( 反應方程式 ) 。 (10%)

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. 班級 姓名 學號 1.請寫出以丙酮/酒精進行零件清洗之清洗槽起火的原因 及降低火災風險之方法(10%) (答案請寫於後) 2.請說明SiH4洩漏起火之機制(反應方程式)。(10%) 3.EPI製程反應器(石英)破裂起火之原因。(20%) 4.請說明於使用NF3之HDPCVD機台pumping line中於check valve及bellow 處起火之原因及避免方法(20%) 5.燃燒式local scrubber回火之原因及如何降低其風險(可能性及嚴重性) (請配合圖進行說明)(30%) 4.pH=4時，氫離子濃度為何?(5%) 5.pHzpc of SiO2=2.5，pHzpc of Al2O3=8.5，請問要從玻璃基板上去除Al2O3的 particle，請問溶液pH需調至多少?(為什麼)(20%)

  2. 班級 姓名 學號 6.請寫出以下之英文全名(15%) a.環境工程系(4%) b.pHzpc(4%) c.UPS(4%) d. ppm(3%)

  3. 班級 姓名 學號 1.a.請繪出SiH4自cabinet供應至機台，機台至風車之廠內外配置圖。(20%) b.請寫出以上配置圖之壓力分布(5%) c. 2.5 atm= kg/cm2 (2.5%) d. 22.05 psig= atm (2.5%) 2.於HDP CVD製程中，使用NF3進行chamber clean時， a.為何氧化/水洗形式的處理設備出口的PP管會破裂?(10%) b.為何燃燒/水洗形式的處理設備出口的PP管不會破裂?(5%) c.為何水洗/氧化/水洗形式的處理設備出口的PP管不會破裂?(5%) d.如何避免氧化/水洗形式的處理設備出口的PP管破裂?(10%)

More Related