1 / 14

Elektronikus Eszk özök Tanszék 1999

INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK. MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems. Elektronikus Eszk özök Tanszék 1999. Hogy mit lehet megcsinálni… ! A “nano-gitár”. Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 atom!. Egy “bef üggesztett” elem Funkció: „hot plate”.

yehudi
Download Presentation

Elektronikus Eszk özök Tanszék 1999

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. INTEGRÁLT MIKRORENDSZEREK MEMS = Micro- Electro- Mechanical Systems Elektronikus Eszközök Tanszék 1999

  2. Hogy mit lehet megcsinálni… !A “nano-gitár” Egykristályos Si, a húrok szélessége 50 nm = 100 atom!

  3. Egy “befüggesztett” elemFunkció: „hot plate” Méretek: pl. 200x200 m, vastagság 3-4 m HOGYAN KÉSZÜL?

  4. A front-oldali megmunkálásKristálytani iránytól függő, szelektív marás A felület: <100> sík <111> síkok

  5. Alkalmazás:gyorsulásmérő, rezgésmérő Szeizmikus tömeg Rugalmas nyak Piezorezisztív érzékelő (hídkapcsolásban)

  6. A feláldozandó (sacrified) réteg Például: SiO2 a poli alatt

  7. Feláldozandó réteggel készült csapágy Ez a himba elfordulhat

  8. Függesztett membrán, feláldozandó réteggel

  9. Elektrosztatikus mozgatás:elmozdulás keltés

  10. Elektrosztatikus mozgatás:szögelfordulás keltés

  11. Elektrosztatikus mozgatás:mikro-motor

  12. A mikro-motor légrése és csapágyazása

  13. Elektrosztatikus mozgatás:billenőtükrös fénymodulátor Ez egy MOEMS: Micro- Opto- Electro- Mechanical System

  14. A LIGA eljárásA maszk vastag poli-imid réteg, exponálás szinkrotron sugárral, előhívás, galvanikus rétegnövesztés Ezek itt fém fogaskerekek!

More Related