Презентация насосов серии GV-Drystar и технологии безмаслянной откачки

1. Презентация насосов серии GV-Drystar и технологии безмаслянной откачки

2. Принцип работы • Безконтактный когтевой механизм • Самоизолирующий принцип • Эффективный коэффициент сжатия • Полное отсутствие масла в объеме • Регулируемая температура корпуса • Лучшие условия для откачки паров • Надежный и простой механизм • Устойчив к транспортированию пыли • Газобалластное устройство большой емкости • Предотвращение конденсации • Безопасная откачка опасных сред • ИДЕАЛЬНЫЙ МЕХАНИЗМ ВАКУУМНОГО НАСОСА

3. Принцип работы • Механизм с когтевым захватом • Эффективное сжатие потока • Простой, компактный механизм • 3х ступенчатый механизм • Запатентованный механизм обращенной формы ротора • 2ая ступень насоса имеет обратную остальным ступеням форму • Более короткий газовый тракт • Максимальная скорость газового потока, малое время цикла

4. Когтевой механизм в действии

5. Впуск газа

6. Впуск газа

7. Конец стадии впуска газа

8. Впуск и выпуск насоса изолированы

9. Стадия сжатия

10. Выпуск газа

11. Разрез когтевого насоса с дополнительной ступенью Рутса

12. Газовый тракт • BOC Edwardsзапатентовано

13. Откачные агрегаты с насосами Рутса

14. Механические бустеры • Усиление откачки: глубина откачки/скорость откачки • Привод с гидрокинетической муфтой • Меньшее энергопотребление, Отсутствие байпассных линий и реле давлений • * - некоторые ограничения при продолжительной работе на давлениях выше 100 Torr

15. Механические бустеры серии EH • Диапазон производительности250-4200 м3/ч • Запатентованный гидрокинетический привод • Версии привода вращения с углеводородным либо фторсодержащим маслом • Давление запуска - атмосфера • Уникальное уплотнение вала вращения

16. Газовый поток Впуск Сопрягающиеся ротора Выпуск Схема – разрез насоса Рутса

17. впуск 2 3 1 1 4 6 5 выпуск СТАДИИ РАБОТЫ НАСОСА РУТСА

18. Стадия сжатия Обратный поток Обратный поток в области низкого вакуума

20. Преимущества запатентованной технологии • Гидро-привод

21. Преимущества запатентованной технологии

22. Параметры насосов Рутса • Насос Рутса не является компрессором, и предназначен для транспортирования больших объемов газа • Насос Рутса работает при определенном перепаде давлений • Для работы необходим форвакуумный насос • Наиболее эффективная откачка в диапазоне давлений от 1 до 10-2 мбар • Рабочий зазор 0.1-0.5 мм • Скорость откачки от 150 до30,000 м3ч-1

23. Особенности Технологии • BOCE – использует только безмаслянные агрегаты откачки на основе когтевых насосов производительностью от 40 м3/чдо 600 м3/ч. • Бесконтактный износоустойчивый механизм • Короткий газовый тракт – без необходимости установки межступенчатых газоохладителей • Высокая компрессия потока позволяет эффективно транспортировать потоки с высоким содержанием пыли и частиц

24. Преимущества «сухих» насосов Высокая производительность Стабильность процесса откачки Высокий предельный вакуум БЕЗМАСЛЯННЫЙ ВАКУУМ – ЧИСТЫЙ ПРОЦЕСС

25. КРИВЫЕ ОТКАЧКИ

26. Достоинства предлагаемой системы • ЭКОНОМИЧНОСТЬ: • Отсутствует масло: отсутствует масляный фильтр, нет необходимости в утилизации отработанной жидкости, нет необходимости в фильтрах масляного тумана • Увеличивается производительность производства • Простое обслуживание: не требует замены масла, не требует смены масляного фильтра, периодичность кап.ремонта 6 лет, нет протечек масла, нет потерь вакуума. • Простое обслуживание пылевых фильтров: сетчатые очищаемые экраны • Сокращение времени откачки: требуется меньшее количество операций по чистке вакуумной магистрали(допускаемая зернистость пыли <50 микрон) меньшее газовыделение

27. Преимущества предлагаемой системы • Улучшенное качество проведения технологического процесса: • Значительно меньшие вибрации • Высокое качество вакуума ( время откачки & стабильный уровень рабочего вакуума ): отсутствие углеводородов или двуокиси кремния в расплаве и рабочей камере. • Повторяемость откачных характеристик от цикла к циклу • Отсутствие масляных протечек • Стабильность откачных характеристик от условий окружающей среды ( «сухие» насосы имеют высокую производительность по откачке паров ) • Большая производительность по Аргону( специально адаптированное рабочее тело насоса ) • Мониторинг системы, Возможность сигнализации

28. Технические параметры GV160 • Тип уплотнения Безмаслянный • Тип насоса GV160 • Откачиваемая среда Ar с высоким содержанием SiО • Производительность (м3/ч) 200 • Давление на входе (A)0.01мбар 0.001мбар ( с насосом Рутса) • Температура на входе в насос (oC) 20 • Давление на выходе (барA) 1.13 • Потребляемая эл.энергия (кВт) 4.2 • Установленная мощность (кВт) 7.5 • Тип привода прямой • Охлаждающая жидкость Вода • Температура охл.воды (oC) 20 • Расход охл.воды (л/мин) 25 (при установке термоклапана расход уменьшается) • Измеренный уровень шума на расстоянии 1 м<79дБ’

29. Технические характеристики EH1200 • Тип уплотнения Безмасляный • Тип насосаEH1200 • Рекомендуемое масло на выбор • Производительность (м3/ч) 1000 • Входное давление (A) 1013 до 0.001 мбар • Температура на входе (oC) 20 • Выходное давление требует фор.насоса • Потребляемая эл.энергия (кВт) менее 3 (в зависимости от уровня вакуума) • Установленная мощность (кВт) 3 • Тип привода гидрокинетическая муфта (не требуется доп. переключателей) • Тип охлаждения Воздух ( Вода по требованию) • Температура охл. воды (oC) 20 • Расход охлаждающей воды (л/мин)2 ( если есть) • Измеренный уровень шума • На расстоянии 1 м <77дБ

30. Стоимость компонент системы • Вакуумпроводдеталировка: • Drystar GV160+EH1200 = 36.400 ЕВРО • Входная пылевая ловушка ITM 3000 (50 микронная сетка) = 3.022 ЕВРО • Изолирующий клапан с ручным приводом QSB 160 =2.146 ЕВРО • Фильтр-глушитель ITM 3000 = 3.022 ЕВРО • ИТОГО = 44.590 ЕВРО

31. Объем Поставки • BOC Edwards GV160 Drystar/EH1200 откачная система, включая: • BOC Edwards Drystar GV160 вакуумный насос, включая: • Электродвигатель WEG 7.5 kW 415/3/50. • Встроенная система охлаждения, включая ручной термоклапан Danfoss с термостатом (TCV-1) • Термо-сигнализация. • EH 1200 насос Рутса, включая электродвигатель 3 kW 415/3/50 • Входная пылеулавливающая ловушка ITM3000 (нерж.сталь). • Изолирующий клапан QSB 160 • Выходной фильтр-глушитель ITM3000 (нерж.сталь) – по требованию

32. Обсуждение предагаемых вариантов • Предлагаемые варианты вакуумных насосов были выбраны, из спектра наиболее используемых в данной области промышленности в странах Европы, США и Японии • Выбор агрегата согласуется с требуемой производительностью и собственными параметрами насосов • Предлагая комбинацию GV/EH безмаслянных насосов, компания считает данный тип оборудования наиболее подходящим для Вашего тех.процесса. При необходимости компания, также, может предложить агрегаты меньшей производительности. Обращаем Ваше внимание, что компания может поставить насосы с масляным уплотнением, если будет принято решение в их необходимости.

33. Основные параметры предлагаемой системы • Соответствие требованиям по вакуумуинадежный механизм насоса • По окончании каждого цикла требуется продувка насоса потоком аргона ( 20 л/минв течении 10 мин. ) • Достигаемый вакуум при рабочем потоке аргона (10 Torr / 30 slm Ar )*. * Не обеспечивается при эксплуатации золотниковых насосов

34. Объем поставки, Киев ПИЛАР • Вакуумная схема установки. • Деталировка ( насос, входной фильтр, запорная арматура, коммуникации, выходной фильтр ) • Соответствие, имеющимся требованиям (присоединительные фланцы, эл.питание) • Деталировка выхлопной линииловушка + очистка выхлопа ( Ar + SiO, не должны быть подключены к фильтрам масляного тумана) • BOCE пусконаладка и гарантийное обслуживание

35. Сравнения стоимости эксплуатации насосов

36. Габаритные размеры предлагаемого оборудования • GV 160 / EH 1200 комбинация • · Длина: 1213 мм • · Ширина: 550 мм • · Высота: 975 мм • · Вес нетто, (без масла): 500 кг • замечание • Размеры приведены для справки и подлежат уточнению при проектировании установки

37. Пусконаладочные работы и обучение • Подробный инструктаж по обслуживанию насосов на месте • Капитальный ремонт раз в 6 лет, согласно рекомендациям по эксплуатации

38. УСЛОВИЯ ПОСТАВКИ • Срок поставки - 10 недель • Проектная документация по замене масляных насосов на «сухие» насосы (деталировка вакуумпроводов, сборочные чертежи, схемы подключения инженерных коммуникаций) • 2 года гарантии

39. РЕФЕРЕНЦИИ Полупроводниковое производство Bullen, США эксплуатирует данные насосы уже более 5ти лет. На откачке основной камеры используется комбинация насосов GV160-EH1200, и насосы GV160 для откачки шлюзовых камер. Данные насосы оборудованы системой продувки и шумоизолирующим корпусом, а также интегрированы с управляющей ЭВМ. В процессе эксплуатации установки насосы требовали минимум технического обслуживании и надежно зарекомендовали себя при работе во внештатных ситуациях. При имевших место прорывах входного фильтра чатицы SiO попадали в рабочую полость насоса. Когтевой механизм GV насоса позволяет транспортировать газовые потоки с высоким содержанием пыли и создает избыточное давление, достаточное для удаления твердых включений на выхлоп.

40. СЕРВИС И ОБСЛУЖИВАНИЕ ПРЕДЛАГАЕМОГО ОБОРУДОВАНИЯ BOC EDWARDS обеспечит производства инженерами из местных представительств для запуска, обслуживания и ремонта оборудования. Каждое представительство имеет сервис центр с достаточным набор услуг и сервис-инженерами, прошедшими всестороннюю подготовку по обслуживанию оборудования BOC EDWARDS.