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精密機械振動診斷與改善

精密機械振動診斷與改善. 王永鵬 南台科技大學 機械工程系. 大綱. 前言 振動來源 振動診斷實務 振動改善實務 實例介紹. 前言. 影響精密製程良率之因素： 設備、製程、材料、環境 例：某產品需多套設備共同完成，若每套設備良率為 99% ， 總良率 85% （ 16 套） 總良率 72% （ 32 套） 環境條件： 空氣潔淨度、氣流特性、溫度、濕度、振動、噪音、靜電、 EMI. Microvibration Control Area. Vibration Criteria of Sensitive Equipment. 前言. 前言. 前言.

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精密機械振動診斷與改善

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Presentation Transcript

  1. 精密機械振動診斷與改善 王永鵬 南台科技大學 機械工程系

  2. 大綱 • 前言 • 振動來源 • 振動診斷實務 • 振動改善實務 • 實例介紹

  3. 前言 • 影響精密製程良率之因素： • 設備、製程、材料、環境 • 例：某產品需多套設備共同完成，若每套設備良率為99%， • 總良率85%（16套） • 總良率72%（32套） • 環境條件： • 空氣潔淨度、氣流特性、溫度、濕度、振動、噪音、靜電、EMI

  4. Microvibration Control Area

  5. Vibration Criteria of Sensitive Equipment

  6. 前言

  7. 前言

  8. 前言

  9. 前言

  10. 振動來源 • 廠外振源 • 建築、土木施工 • 道路交通 • 高速鐵路 • 地震 • 廠外運轉設備 • 聲音、風

  11. 振動來源

  12. 振動來源

  13. 振動來源

  14. 廠內振源 廠內施工 附屬運轉設備（Fan、Pump‥‥） 管路振動 人員走動 自動傳輸機構 聲音（75 dB↑） 空氣脈衝‥‥ 設備振源 運動組件 Fan、Pump 管件 振動來源

  15. 振動診斷實務 • 現象研判 • 選擇振動量測位置及方向 • 格子樑、基座、XYZ方向 • 振動量測 • 1/3 Octave Band → 判斷是否大於允許值 • Narrow Band → 判斷振源 • 振源判斷 • 共振 → 寬頻激振源（交通、工事、人員、台車、移動件） • 固定頻率 → 轉動設備

  16. 振動改善實務 • 振動之產生與傳遞 • Source→ Path→ Receiver • 改善對象 • Source：降低振動產生 • Path ：隔振 • Receiver ：吸振、設備強化、基座強化 • 改善對策：時效性、經濟性、改善程度

  17. 振動改善實務 • 交通振動之改善 • 主要廠房距馬路50 m以上 • 去除障礙物、道路平坦 • 防振道路之鋪設 • 交通管制 • 水池 • 人員、台車振動改善 • 高架地板吸振 • 台車避振 • 人員走動限制

  18. 振動改善實務 • Sound Induced Vibration • 噪音源改善 • 噪音源隔音罩 • 設備隔音罩 • 管路振動 • 流線改善 • 加適當之支撐 • 管路隔振 • 管路吸振

  19. 振動改善實務 • 附屬運轉設備 • 動平衡 • 吸振 • 基座共振 • 加強剛性 • 增加阻尼 • 隔振（主動式、被動式） • 吸振

  20. 振動診斷與改善實例（一） • 現象：某廠SEM影像發生鋸齒現象 • 量測：格子樑、基座、XYZ三方向、基座共振頻率測試 • 診斷：設備基座共振 • 改善：強化基座

  21. 振動診斷與改善實例（一）

  22. 振動診斷與改善實例（一） • 現象：某廠SEM影像發生鋸齒現象 • 量測：格子樑、基座、XYZ三方向、基座共振頻率測試 • 診斷：設備基座共振 • 改善：強化基座

  23. 振動診斷與改善實例（一）

  24. 振動診斷與改善實例（一）

  25. 振動診斷與改善實例（一）

  26. 振動診斷與改善實例（一）

  27. 振動診斷與改善實例（一） • 現象：某廠SEM影像發生鋸齒現象 • 量測：格子樑、基座、XYZ三方向、基座共振頻率測試 • 診斷：設備基座共振 • 改善：強化基座

  28. 振動診斷與改善實例（二） • 現象：某廠生產機台振動過大，不符振動標準，影響生產 • 量測： • 生產設備基座及格子樑、XYZ三方向 • 1/3 Octave Band與Narrow Band • 診斷： • 振動值超過標準 • 附屬運轉設備振動過大 • 頂樓風車造成 • 改善： • 清除風車扇葉結晶，動平衡校正 • 改良風車隔振 • 設備隔振

  29. 振動診斷與改善實例（二）

  30. 振動診斷與改善實例（二）

  31. 振動診斷與改善實例（二） 風車之預估隔振效率

  32. 振動診斷與改善實例（二） • 現象：某廠生產機台振動過大，不符振動標準，影響生產 • 量測： • 生產設備基座及格子樑、XYZ三方向 • 1/3 Octave Band與Narrow Band • 診斷： • 振動值超過標準 • 附屬運轉設備振動過大 • 頂樓風車造成 • 改善： • 清除風車扇葉結晶，動平衡校正 • 改良風車隔振 • 設備隔振

  33. 振動診斷與改善實例（二）

  34. 振動診斷與改善實例（二）

  35. 振動診斷與改善實例（二）

  36. 振動診斷與改善實例（二）

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