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マイクロ波生成プラズマの分光測定

マイクロ波生成プラズマの分光測定. 環境計測　高橋 順三. 研究目的. 多価イオンを生成できるイオン源製作のため ↓ マイクロ波でプラズマを生成 ↓ プラズマ中の励起原子やイオン種を 　 可視光分光法を用いて測定. 使用した機器. 分光器： NIKON G-250, 回折格子 1200 本 /mm 光電子増倍管 :HAMAMATSU H6780‐00 プラスチック光ファイバー :TAKEX FTSV73BC, レンズ FA511A ステッピングモーター : オリエンタルモーター PH566-A ドライバー回路 :SD5114P3,SG8030J.

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マイクロ波生成プラズマの分光測定

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Presentation Transcript

  1. マイクロ波生成プラズマの分光測定 環境計測　高橋 順三

  2. 研究目的 多価イオンを生成できるイオン源製作のため ↓ マイクロ波でプラズマを生成 ↓ プラズマ中の励起原子やイオン種を 　 可視光分光法を用いて測定

  3. 使用した機器 • 分光器：NIKON G-250,回折格子 1200 本/mm • 光電子増倍管:HAMAMATSUH6780‐00 • プラスチック光ファイバー:TAKEXFTSV73BC,レンズ FA511A • ステッピングモーター:オリエンタルモーター PH566-A • ドライバー回路:SD5114P3,SG8030J

  4. 装置全体

  5. コントロール回路製作の目的 • 分光器の波長走査の自動化 • MCSのチャンネル走査と分光器の波長走査の同期 • 波長走査のタイミング制御 • 波長・チャンネル走査中の計数停止

  6. コントロール回路上のタイミングチャート

  7. 測定可能範囲(上限) 測定系の感度 • 回折格子：回折光効率 • 光電子増倍管：分光感度特性 • プラスチック光ファイバ－：透過率 ３つの要素の積

  8. 測定条件 • Heガス圧 0.68 Torr • 吸収電力 40 W • 分光器の入射出射スリット　 幅 0.5 mm 長さ 2 mm • 測定波長間隔 0.25 nm • 測定波長範囲 350nm～600 nm

  9. 測定結果

  10. まとめ コントロール回路を製作した。 分光測定を自動化した。 中性Heの発光を測定することができた。 1価Heからの光を見ることはできなかった。

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