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マイクロ光造形法に 関する研究

マイクロ光造形法に 関する研究. 電子システム工学専攻 2 年 稲葉研究室　山之腰　卓. 研究概要. 光造形法による 3 次元マイクロマシン製作 He-Cd 紫外線レーザを用いた実験半導体レーザを用いた実験 近赤外パルスレーザを用いた実験 パルス幅及びレーザ周波数、レーザスポット掃引速度に対する加工分解能の測定試験. 目的　　 実験内容　. 実験方法. 光硬化樹脂. スポット移動. レーザ. x 、 z 軸 駆動ステージ. コントローラ. 光造形装置概略図. 実際の構造物. 半導体レーザ. 紫外線レーザ. 近赤外レーザ. 実験で製作した構造物.

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マイクロ光造形法に 関する研究

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Presentation Transcript

  1. マイクロ光造形法に 関する研究 電子システム工学専攻2年 稲葉研究室　山之腰　卓

  2. 研究概要 • 光造形法による • 3次元マイクロマシン製作 • He-Cd紫外線レーザを用いた実験半導体レーザを用いた実験 • 近赤外パルスレーザを用いた実験 • パルス幅及びレーザ周波数、レーザスポット掃引速度に対する加工分解能の測定試験 目的　　 実験内容　

  3. 実験方法 光硬化樹脂 スポット移動 レーザ x、z軸 駆動ステージ コントローラ 光造形装置概略図

  4. 実際の構造物 半導体レーザ 紫外線レーザ 近赤外レーザ 実験で製作した構造物

  5. 実験1He-Cd紫外線レーザによる実験 直線幅の照射時間依存性

  6. 実験2　半導体パルスレーザによる実験 硬化幅の周波数依存性

  7. 実験3　近赤外パルスレーザによる実験 近赤外パルスレーザを用いて製作した直線硬化物

  8. 結論 • 紫外線による光造形法によって2次元の加工分解能8.6[µm ]が確認できた • 加工分解能が高い三次元構造物を製作するためには、焦点のみを硬化させなければならない • 近赤外パルスレーザを用いて太さ9.7 [µm ]の直線の硬化物の製作ができた

  9. 課題 • 微細な3次元構造物の製作にはｴﾈﾙｷﾞｰの高い光を短時間照射する事が必要である 2光子吸収による光造形法

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