1 / 14

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК. П.А.Цыганков МГТУ им. Н.Э.Баумана В.В.Крикотин «Экструзионные машины» М.А.Попов «Экструзионные машины». ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК. Ирвинг Ленгмюр. Кэтрин Блоджетт. ТОНКИЕ ПЛЁНКИ. КАК ВСЁ НАЧИНАЛОСЬ.

theodore-witt
Download Presentation

ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК П.А.Цыганков МГТУ им. Н.Э.Баумана В.В.Крикотин «Экструзионные машины» М.А.Попов «Экструзионные машины»

  2. ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК Ирвинг Ленгмюр Кэтрин Блоджетт ТОНКИЕ ПЛЁНКИ. КАК ВСЁ НАЧИНАЛОСЬ Нанесение мономолекулярных слоев из раствора – метод Ленгмюра-Блоджетт «Просветление» оптики – снижение R Промышленная технология и Массовый продукт

  3. ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК НЕПРОСВЕТЛЕННАЯ ОДНОСЛОЙНОЕ ПРОСВЕТЛЕНИЕ МНОГОСЛОЙНОЕ ПРОСВЕТЛЕНИЕ Ричард Фейнман “There's Plenty of room at the Bottom” ОПТИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ 5% 1.7% «Мокрые» технологии 0.2% Термо-вакуумные способы нанесения тонких пленок Интерференционные фильтры

  4. ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК РАСПЫЛЕНИЕ. ИОННО-ЛУЧЕВОЕ РАСПЫЛЕНИЕ Энергия ионов ~ 1keV Плотность тока > 1 mА/cm2

  5. ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ Мишень – катод разряда!

  6. ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПЛЕНКА ПОДЛОЖКА СТРУКТУРА ТОНКОЙ ПЛЁНКИ Термическое испарение Магнетронное напыление Ионно-лучевое распыление Ea/Es Мовчан-Демчишин, 1969 Структурно-зонная модель

  7. ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПЛЕНКА ПОДЛОЖКА ТЕНДЕНЦИЯ «Утонение» GMR • НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА БОЛЬШИЕ ПЛОЩАДИ: • ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ • РАВНОМЕРНОСТЬ

  8. ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПЛЕНКА ПОДЛОЖКА ТЕНДЕНЦИЯ «Утолщение» НАНОСТРУКТУРА

  9. ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК СОВРЕМЕННЫЕ УПРОЧНЯЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ Эффект Холла-Петча (Hall-Petch) HV~d-0,5

  10. ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ТЕМПЕРАТУРОПРОВОДНОСТЬ ПОКРЫТИЙ Термобарьер – Thermal Barrier Coatings Термо-интерфейс – Thermal Interface Coatings -gradT k= ke+kph Me Д Me Д 1700 0C

  11. ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ВЫСОКОЭНТАЛЬПИЙНЫЕ СИСТЕМЫ. СОЗДАНИЕ НЕРАЗЪЕМНЫХ СОЕДИНЕНИЙ СВАРКА: МЕТАЛЛ, КЕРАМИКА, УГЛЕРОДНЫЕ КОМПОЗИТЫ

  12. МНОГОСЛОЙНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ: ПРОИЗВОДСТВО И ПРИМЕНЕНИЕ МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ ИМПУЛЬСНЫЕ МАГНЕТРОНЫ МАГНЕТРОНЫ С НЕЭКВИПОТЕНЦИАЛЬНЫМ КАТОДОМ ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ ДЛЯ ПЕРЕНОСА МАТЕРИАЛА В ВАКУУМЕ • НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК: • ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ • РАВНОМЕРНОСТЬ ВАКУУМНО-ДУГОВЫЕ ИСПАРИТЕЛИ ВАКУУМНО-ПЛАЗМАТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

  13. ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ТОНКИЕ ПЛЕНКИ КРИТИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ, которая может обеспечить качественный скачок в различных отраслях промышленности и способствовать появлению на рынке новых массовых продуктов КОНСОЛИДАЦИОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ – для развития которой необходимо сотрудничество специалистов разных направлений – от физики плазмы до материаловедения. Наукоемкая, дорогостоящая…

  14. СПАСИБО ЗА ВНИМАНИЕ

More Related