長行程奈米定位平台行走式

長行程奈米定位平台行走式 授課教師:朱志良博士報告人:鄭永瑞學號:MA21W201

目錄 • 前言 • 原理 • 結論 • 參考文獻

前言 • 近年微奈米科技的發展，現階段奈米科技主要在於發展奈米材料、奈米量測、奈米薄膜…等，對於平台的定位精準度也必須要求至奈米等級，所以奈米定位平台是這些相關產業是變成是具有關鍵性的角色

原理 • 傳統長行程定位平台:大部分採用伺服馬達驅動導螺桿,或是線性馬達搭配線性導軌達到驅動(背隙、摩擦、震動) • 現今長行程奈米平台:大多使用壓電致動器,驅動長行程奈米定位平台壓電材料會有壓電效應是因晶格內原子間特殊排列方式，使得材料有應力場與電場耦合的效應。

非共振超音波馬達(NRUSM),驅動原理是將許多個壓電陶瓷片堆疊成單一接觸點,讓最後的摩擦接觸點可以依照堆疊的壓電陶瓷片總合的移量來移動非共振超音波馬達(NRUSM),驅動原理是將許多個壓電陶瓷片堆疊成單一接觸點,讓最後的摩擦接觸點可以依照堆疊的壓電陶瓷片總合的移量來移動 • 壓電陶瓷片:體積小、反應快、低噪音、機電轉換效率高、構造簡單、不會產生電磁干擾…..等優點

一組會有2隻腳，所以會有2個摩擦接觸點，為了可以均勻的施力於載台共有8個步驟組成，接著再8個步驟動作一直重複，步驟4與步驟8為主要進行摩擦推動的2個步驟，並當其一個摩擦接觸點推動時，另一組縮短使其摩擦接觸點不與載台接觸，並同時調整左右方向已準備下一步的驅動。一組會有2隻腳，所以會有2個摩擦接觸點，為了可以均勻的施力於載台共有8個步驟組成，接著再8個步驟動作一直重複，步驟4與步驟8為主要進行摩擦推動的2個步驟，並當其一個摩擦接觸點推動時，另一組縮短使其摩擦接觸點不與載台接觸，並同時調整左右方向已準備下一步的驅動。

結論 • 使用NRUSM的奈米平台優點:精準度有正負0.69nm的精準度反應,定位穩定性很高 • 未來可以應用在:半導體製程、微機電系統、生醫檢測、精密零件組裝…等行走式奈米長行程平台實體圖

參考文獻 • 1.岩田洋輔，濱田真弘，黒岩裕之，西優弥，遠藤泰史，吉岡昌雄， • 久保田弘（熊本大学），小坂光二（テックコンシェルジェ熊本）”オープンループ駆動を用いたプロービングシステム” • 2. Yoshiya Egashira1,2, Kouji Kosaka1,2, Taishi Endo1, Hiroyuki Hashiguchi1, Keiichi Nagamoto1,Masayuki Watanabe3, Takahiro Yamakawa3, Akira Nakada1, Hiroshi Kubota1 and Tadahiro Ohmi4” DEVELOPMENT OF NONRESONANT ULTRASONIC MOTOR WITH SUB-NANOMETER RESOLUTION”

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