slide1 n.
Download
Skip this Video
Loading SlideShow in 5 Seconds..
نانو لیتوگرافی PowerPoint Presentation
Download Presentation
نانو لیتوگرافی

Loading in 2 Seconds...

play fullscreen
1 / 17

نانو لیتوگرافی - PowerPoint PPT Presentation


  • 371 Views
  • Uploaded on

نانو لیتوگرافی. استاد: دکتر شهرام محمد نژاد ارائه دهنده: علی خلفی اردیبهشت 93. مقدمه. مباحث. لیتوگرافی نوری. لیتوگرافی باریکه الکترونی. لیتوگرافی نرم. لیتوگرافی nanoimprint. لیتوگرافی پروب روبشی. مقدمه.

loader
I am the owner, or an agent authorized to act on behalf of the owner, of the copyrighted work described.
capcha
Download Presentation

PowerPoint Slideshow about 'نانو لیتوگرافی' - tamesis-tanith


An Image/Link below is provided (as is) to download presentation

Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author.While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server.


- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - E N D - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -
Presentation Transcript
slide2

نانو لیتوگرافی

استاد:

دکتر شهرام محمد نژاد

ارائه دهنده:

علی خلفی

اردیبهشت 93

slide3

مقدمه

مباحث
  • لیتوگرافی نوری
  • لیتوگرافی باریکه الکترونی
  • لیتوگرافی نرم
  • لیتوگرافیnanoimprint
  • لیتوگرافی پروب روبشی
slide4
مقدمه
  • از زمان ساخت مدار مجتمع، تعداد ترانزیستورهای موجود در واحد سطح تراشه های نیمه هادی هر 18 ماه دو برابر می شود. این پیشگویی توسط مور دردهه 80 میلادی بیان گردید که طی دو دهه اخیر رخ داده است. از این رو صنعت، نیازمند استفاده از روش هایی جهت ساخت قطعات در ابعاد نانو می باشد.
  • یکی از استراتژی های Top-down fabricationدر ساخت ابزار نانو که از تکنیک های لیتو گرافی متداول ایجاد شده است به عنوان نانو لیتو گرافی شناخته می شود.
  • تکنیک‌های لیتوگرافی را می‌توان به شیوه‌های گوناگون دسته‌بندی کرد.
slide5

photolithography

مقدمه
  • soft
  • ماسک دار
  • nanoimprint
  • لیتو گرافی
  • electron beam
  • focused ion beam
  • بدون ماسک
  • scanning probe
slide6
لیتوگرافی نوری

انواع رزیست

مراحل اصلی لیتوگرافی نوری

slide7
لیتوگرافی نوری

لیتو گرافی نوری پله ای

  • لیتو گرافی نوری

انواع لیتوگرافی نوری

  • projection printing
  • proximity printing
  • contact printing
slide8
لیتوگرافی باریکه الکترونی
  • روش دقیق با رزولوشن بالا
  • انرژی باریکه الکترونی 2-300 کیلو الکترون ولت
  • جرم بسیارکم الکترون ها و وجود نسبت بالای بار به جرم
  • انرژی بالای باریکه الکترون، رزولوشن بهتر
  • محدودیت رزولوشن در حد چند نانو
  • کنتراست بالای ماده مقاوم
slide9
لیتوگرافی باریکه الکترونی
  • حکاکی مستقیم
  • 2 روش
  • تابش غیر مستقیم
slide10
لیتوگرافی باریکه الکترونی

کاربرد

  • ساخت مدارهای مجتمع با رزولوشن بالا
  • ساخت های ماسک نوری

محدودیت

  • هزینه بالا
  • پدیده پراکندگی الکترون ها
slide11
لیتوگرافی نرم
  • تمبر پلیمری نرم
  • مواد ارزان و غیر خاص
  • توسط Bain و Whitesides در سال 1989
  • دو مرحله ی فرآیند
  • ساخت تمبر پلیمری الگو
  • استفاده از تمبر برای انتقال طرح هندسی مولکولی به ساختار
nanoimprint
لیتوگرافی Nanoimprint
  • بهره گیری از یک قالب سخت پلیمری
  • پر توان
  • وضوح بالا
  • هزینه ی کم
  • توسط S. Y. Chou مطرح شد
  • ابعاد زیر 10 نانومتر
nanoimprint1
لیتوگرافی Nanoimprint

لیتو گرافی UV-nanoimprint

  • سیلیکون و کوارتز
  • استفاده از مواد سخت:
  • حفظ شکل ظاهری قالب
  • پایداری حرارتی بالا
  • سه عیب مهم:
  • طول عمر قالب
  • چرخه گرمایش/سرمایش و فشار بالا باعث تنش و سایش در قالب
  • گرانروی
slide14
لیتوگرافی پروب روبشی

نانو لیتوگرافی بر مبنای AFM

  • میکروسکوپ های پروب روبشی نظیر AFM و STM
  • AFM دارای وضوح 0/1 آنگسترومی افقی و 0/5 آنگسترومی عمودی
  • وضوع STM چند برابر بیشتر از AFM
  • نانو لیتوگرافی dip-pen
  • نفوذ تیول به طلا
slide15
لیتوگرافی پروب روبشی
  • مزیت
  • بدون نیاز به تجهیزات پیچیده
  • تولید قطعاتی با ابعاد 10 نانومتر و کمتر
  • تصاویری با وضوح بالا و هم ترازی نانومتری با سطوح خارجی
  • عیب
  • بزرگ کردن منطقه سطحی ساخته شده با این روش مشکل است.
slide16
نتیجه گیری
  • استفاده از فناوری لیتوگرافی نوری در چند دهه گذشته برای ساخت IC ها و دستگاه های Mems مختلف
  • جایگزینی تکنیک های لیتوگرافی جدید برای کاربردهای خاص
  • لیتوگرافی باریکه الکترونی و یونی برای ساخت الگوهای نانومقیاس مانند ماسک های نوری و IC
  • لیتوگرافی نرم برای ساخت رنج های بزرگتر برنامه های آزمایشگاهی
  • لیتوگرافی nanoimprint برای ساخت بیو سنسورها، بیو الکترونیک و نانو سیم ها
  • لیتو گرافی dip-pen برای ساخت بیو سنسورها و سنسور های گاز