真空晨会报告

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真空晨会报告. 2009-06-17. 主要工作. ~3.5h He-GDC ， 3:10-6:30 气动探针安装及检漏，未发现有漏. 目前真空系统状态. 内真空： 2 台主分子泵 +3CP ；外真空： 2 台分子泵；低杂波： 1 套分子泵机组；目前烘烤：感应烘烤： 0 内衬烘烤： 20 A 管道烘烤： 100 V. 装置各处真空度演变. 内真空质谱.

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Soo Hyun

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真空晨会报告

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真空晨会报告 2009-06-17
主要工作 • ~3.5h He-GDC，3:10-6:30 • 气动探针安装及检漏，未发现有漏
目前真空系统状态 • 内真空：2台主分子泵+3CP； • 外真空：2台分子泵； • 低杂波：1套分子泵机组； • 目前烘烤： • 感应烘烤：0 • 内衬烘烤：20 A • 管道烘烤：100 V
装置各处真空度演变
内真空质谱