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조밀 박막 형성 결정도 향상

차세대 디스플레이. Consumer. LG Disp lay. Need. 얇고 투명하며 가볍고 유연하며 장시간 구동. 낮은 공정 온도 대 량 생산 새로 운 시장. Flexible Transparent TFT. 용액 공정에 기반한 기술 개발. Low temperature High mobility Uniform nano -particle formation. Patterning. 나노 입자 분산법. Thin film 법. 용액 전사 연구 나노 구조 패턴. 균일한 크기의 입자합성

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조밀 박막 형성 결정도 향상

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Presentation Transcript

  1. 차세대 디스플레이 Consumer LG Display Need • 얇고 • 투명하며 • 가볍고 • 유연하며 • 장시간 구동 • 낮은 공정 온도 • 대량 생산 • 새로운 시장 FlexibleTransparentTFT 용액 공정에 기반한 기술 개발 • Low temperature • High mobility • Uniform nano-particle formation Patterning 나노 입자 분산법 Thin film 법 • 용액 전사 연구 • 나노 구조 패턴 • 균일한 크기의 입자합성 • 저온 공정성 • 조밀 박막 형성 • 결정도 향상

  2. 추진 체계 백홍구 교수 김연상 교수 • Material design of Semiconductor • Electrode • Material design of dielectric • Material Patterning 연세대 신소재공학과 이화여대 나노과학부 Material Main Idea 투명 반도체 ZnO, IGZO • Fabricaiton • Sol-Gel 법 • 나노입자분산법 • Pattering • Rigiflex mold 개발 • Micro Contact Printing Solution TTFT 물질 개발 투명 전도체 투명 절연체 TTFTPatterning Nano-composite hybrid materials ZnO, Ag Patterning Micro contact printing Imprinting Electrode Active layer Dielectric layer

  3. Active layer 공정개발 ZnO 성막공정 IGZO Thinfilm MOD CBD 나노입자분산법 • 균일한 나노 입자 제조 • 안정적인 분산성 • 나노입자의 형태와 사이즈 • 높은 용해도 • 안정된 상 • 적은 잔류물 • 후처리 공정 • A) 균일 나노입자 합성 • Sputtering • Micro Wave • C) 저온 나노입자소결 공정 • Field-assistedSintering • Thermal Plasma Sintering D) Plasma 열처리 B) 리간드코팅 Electrode ITO Graphene • Indium Tin Oxide • ZnO • ITO ink • Silver ink • Graphene

  4. Dielectric • A) TiO2 Nanoparticle • High-K embedded in Polymer • Excellent mechanical characteristic • B) TiO2 Precursor • High-K Oxide Precursor • Simple process

  5. Unit Process Development Active layer • 나노입자분산법 • -균일한 나노 입자 합성 공정 • 저온나노 입자 소성 공정 개발 • 유기 리간드 코팅 • Thin film 법 • -저온 소성 공정 개발 • Continuous film formation • Transmttance >90 % • On/Off > 107 • Mobility > 5cm2/Vs • SS : 1.5V/decade • Temp. < 300℃ Dielectric material • TiO2전구체 연구 • 나노파티클 분산 Electrode material • ITO 프린트 공정 개발 Theoretical analysis of device • 각 물질의 상호 영향 및 계면 현상 연구 • 나노입자의Interconnectivity에 따른 전자이동기구규명 • 나노입자 표면분석 기법 Pattering of each material • Regiflex mold 개발 • 전사방법 연구 • 미세 패턴 형성 연구 Prototype TTFT • 소자제작 • 특성 평가 • 안정성 평가 • -Bending test Evaluation & analysis • XRR, NEXAFS 등

  6. 높은 용해도 • 안정된 상 • 적은 잔류물 • 후처리 공정 • 균일한 나노 입자 제조 • 안정적인 분산성 • 나노입자의 형태와 사이즈 용액공정 나노입자분산법 MOD Thinfilm CBD • 높은 용해도 • 안정된 상 • 적은 잔류물 • 후처리 공정 • 균일한 나노 입자 제조 • 안정적인 분산성 • 나노입자의 형태와 사이즈

  7. 추진 체계 백홍구 교수 김연상 교수 • Material design for Active layer • Electrode • Material design of dielectric • Material Patterning 연세대 신소재공학과 이화여대 나노과학부 나노입자분산법 투명 절연체 물질개발 투명 반도체 용액 공정개발 Nano-composite hybrid materials ZnO, IGZO Thin Fillm법 TTFT 소자제작 소자성능평가 패터닝 기술개발 Interface analysis Electrical performanceOptical stability Rigiflex Mold Micro Contact Printing

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