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報告人：張舜傑經理 廠務暨擴建工程部 FAB12A 廠務工程/電氣組 中華民國九十三年九月四日

九十三年經濟部節約能源績優廠商選拔 聯華電子 FAB12A 節約能源工作簡報. 報告人：張舜傑經理 廠務暨擴建工程部 FAB12A 廠務工程/電氣組 中華民國九十三年九月四日. 公司簡介. 環境簡介 本廠沿革. 聯華電子 FAB12A 廠環境簡介(一). 本廠沿革. 業務:專業 12吋晶圓代工 服務 員工人數: 1200人 產品技術: 90 n m, 0.13/0.15 /0.18 μm 產品. 本廠建於88年， Phase I 於 90年3月30日 開始運轉 。

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報告人：張舜傑經理 廠務暨擴建工程部 FAB12A 廠務工程/電氣組 中華民國九十三年九月四日

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  1. 九十三年經濟部節約能源績優廠商選拔聯華電子FAB12A節約能源工作簡報九十三年經濟部節約能源績優廠商選拔聯華電子FAB12A節約能源工作簡報 報告人：張舜傑經理 廠務暨擴建工程部 FAB12A廠務工程/電氣組 中華民國九十三年九月四日

  2. 公司簡介 • 環境簡介 • 本廠沿革

  3. 聯華電子FAB12A 廠環境簡介(一)

  4. 本廠沿革 • 業務:專業12吋晶圓代工服務 • 員工人數:1200人 • 產品技術: 90 nm, 0.13/0.15/0.18 μm 產品 • 本廠建於88年，Phase I 於90年3月30日開始運轉。 • 全廠區共分為AB，PSB，CUB，FAB，UB，SB共六棟建築物。 • 廠區的潔淨室為四層式結構(Truss 、 Fab 、 RAP與sub-fab)，空氣循環系統為FFU系統。 • Phase II 於93年3月開始進行擴建工程，於93年8月開始Move in生產機台。

  5. 簡報綱要 壹.能源管理與查核制度實施情形 貳.節約能源與抑低二氧化碳排放措施及成效 參.整體節約能源及抑低二氧化碳排放實效 肆.節約能源之認知與共識 伍.其他可供推廣之項目及特殊事蹟

  6. 壹、能源管理及查核制度實施情形 1.1 能源查核專責組織 1.2 定期紀錄各製程能源消耗 1.3 能源耗用每月統計分析 1.4 擬定節約能源作業計劃 1.5 推動節約能源教育宣導活動 1.6 參與及配合政府政策之推動執行

  7. 1.2、定期紀錄各製程能源消耗 • 電力：多功能數位電表 • 燃料：天然氣流量計 • 空調：排氣流量計、風速計、溫度傳輸器 • 自動監控系統與空調運轉排程系統 監測設備： 定期檢查與紀錄(每日與每月) • 全廠各系統用電量 • 天然氣使用量 • 空調負載狀況 • 全廠耗水量與回收率

  8. 1.4、擬定節約能源作業計劃 • A.資料收集與建立 1.建立能源管理與查核分析 2.製程流程與用量分析擬定節約能源工作及目標 3.自行提案及廠技會推廣節能工作 4.節能教育宣導及推廣 1.主要設備之Motor採變頻器控制 2.溫水系統節能--熱回收冰水主機/磁性連軸器控制/供應溫度調降 3.冰水系統採用5℃及13℃雙系統設計。 4.潔淨室採“Ball room+SMIF”系統設計及FFU轉速調整。 5.辦公室空調及停車場排氣節能控制。 6.潔淨室外氣空調箱送風溫度調降。 7.廠區照明節能改善。 8.熱純水回水管路熱能回收。 • B.節約能源方案執行

  9. 1.5、推動節約能源教育宣導活動 • 於公司網站架設節能宣導網,對全體員工宣導 • 公司內公共場所節能海報張貼 • 節能事項列入月個人安全查核測驗中 • 廠技會技術交流及知識庫技經驗傳承與推廣 • 每月進行Cost Reduction成效統計及跨廠區經驗分享 • 廠務系統皆有納入SCADA監控，重要管制值並納入日常管理 及 SPC系統管制

  10. 貳、節約能源與抑低二氧化碳排放成效

  11. PDI控制 INV 風車採用 變頻器控制 方案一. 主要設備之Motor採變頻器控制 • 節能措施: • 外氣空調箱(MAU)、製程排氣(Exhaust)、製程冷卻水(PCW)及空調二次冰 • 水泵浦，以上設備採用變頻器控制。 • 依系統之設定值(靜壓/供應壓力/壓差)，自動控制調整加減載變頻輸出。 節省金額:2,400萬/年 降低二氧化碳排放:9,900噸/年

  12. 溫水管路 熱收回管路 方案二.溫水系統節能(1)---採用熱回收冰水主機 • 節能措施: • 熱回收冰水主機將原經由冷卻水塔棄放至大氣的熱量加以回收。 • 運用在溫水系統中，以節省鍋爐使用天然氣的用量。 • 熱回收冰水主機流程圖: 熱回收冰水主機實際圖: 節約金額:1,110萬元/年 降低二氧化碳排放:2,185噸/年

  13. 方案二.溫水系統節能(2)---採磁性連軸器控制 節能措施: • 溫水系統泵浦裝設磁性連軸器。 • 依系統負載調整控制泵浦轉速。 MagnaDrive磁性連軸器實際圖 MagnaDrive磁性連軸器示意圖 節約金額:106萬元/年 降低二氧化碳排放:439噸/年

  14. 方案二.溫水系統節能(3)---溫水供應溫度調降 節能措施: • 降低空調用溫水系統供應溫度由37℃調降至32℃ 。 • 降低冰水主機冷凝側壓力，減少壓縮機壓縮功率，提高冰水主機效率。 由37調降至32 節約金額:102萬元/年 降低二氧化碳排放:422噸/年

  15. 由熱交換後供 13℃冰水 由冰水 13℃ 宜接供應 方案三.冰水系統採用5℃及13℃雙系統 節能措施: • 二期潔淨室擴建階段，增設13℃冰水系統。 • 供應二期潔淨室乾冷盤管(Dry Cooling Coil)與外氣空調箱預冷盤管， 以提昇主機效率、 降低冰水製造成本。 設置前 設置後 節約金額:1,436萬元/年 降低二氧化碳排放:5,926噸/年

  16. 方案四.潔淨室採“Ball room+SMIF”系統設計暨 FFU轉速調整 • 節能措施: • 潔淨室採用“Ball room+SMIF”系統設計，減少潔淨室空氣循環量 ，降低能源消耗。 • 全面Review潔淨室FFU轉速，以不影響環境潔淨度為原則，調整至 合理轉速。 • FFU 節約金額:576萬元/年 降低二氧化碳排放:2,378噸/年

  17. 由SCADA設定自 動啟停空調箱 由SCADA設定自 動啟停空調箱 方案五.辦公室空調及停車場排氣節能 • 節能措施: • 辦公室空調：依據不同時節調整外氣量，並採用定時(Time Schedule) • 控制啟停運轉，以達到節能並維持室內空氣品質。 • 停車場排氣：採用定時(Time Schedule)及CO detector控制啟停運轉， 以節約能源。 • 辦公室空調箱示意圖: 辦公室空調箱實際圖: 節約金額:439萬元/年 降低二氧化碳排放:1,812噸/年

  18. 方案六.潔淨室外氣空調箱送風溫度調降 • 節能措施: • 外氣空調箱(MAU) 送風溫度由22OC調降至17.5OC。 • 降低外氣空調箱再熱盤管的溫水需求量也減少潔淨室內冰水耗量。 • MAU監控圖 AIR FLOW 降低溫水耗用量 由22調降至17.5 降低Dry coil 冷凍負載 節約金額:370萬元/年 降低二氧化碳排放:1,530噸/年

  19. 會議室照明連動空調 廠務區控管使用1/3照明設備 辦公區拆管3→2 路燈跳盞點亮 方案七.照明節能改善 • 節能措施: • 全廠辦公室、 潔淨室及設備區燈具採用電子式安定器及高頻燈管。 • 照明節能措施 節約金額:376萬元/年 降低二氧化碳排放:1,553噸/年

  20. 方案八.熱純水回水管路熱能回收 • 節能措施: • 熱純水(HOT DI)回水管路經過熱交換器降溫回收熱能預熱供水管路 • 節省HOT DI回水管路冷卻所需之冰水用量，且可節省熱水鍋爐加熱 • HOT DI供水管路之瓦斯用量。 • 改善前: 改善後: HOT DI 熱能回收 節約金額:1,409萬元/年 降低二氧化碳排放:3,698噸/年

  21. 參、整體節約能源實效 • 整體功效每年 1.節約電力約 4,400萬kWH (44,446,650)。 2.節省天然氣約 200萬立方米 (1,954,925)。 3.節省生產成本達 9,200萬元 (92,029,338)。 4.抑低二氧化碳排放量約 3萬5仟噸 (34,976)。

  22. 伍.其他可供推廣之項目及特殊事蹟 • 其他可供推廣之項目

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