ASEngineering 의 강점

1. ASEngineering의 강점 소개 • 강점

2. 소개 회사 에이에스엔지니어링 대표자 김 성 천 • 설비 : RF Generator/ Matching Network • 시스템 : Ashing system 설립 1990 URL www.ase-semi.com 사업 영역 조직 CEO 영업 서비스 연구소 관리 전략기획팀 1팀 RF Gen/Mat 2팀 재무팀 System 3팀 Repair 구매팀

3. 연혁 • 1990 ㈜에이에스이 설립 • 1990 RF Generator & Matching Network service • 1993 상공부 연구개발과제 수행 (RF Generator) • 1995 RF Generator 국내 제작판매 • 2000 벤처기업 인증 획득 • RF Generators 수출 (Novellus USA) • 2002 연구소 설립 • 2003 ISO9001;2000 획득 • 2004 임피던스 자동정합장치 특허취득 (10-2001-0065298)외 2건 • 2007 ㈜에이에스엔지니어링 설립 • 2007 반도체 사업부 분리

4. 회사 전경(용인)

5. 주요 사업 영역 RF Generator/ Matching Network Ashing System

6. RF Generator RF Matching Network Plasma Wafer Cathode 주요 사업 영역 • RF Generator/ Matching Network • 기능 :RF Generator의 출력 Power를 Chamber에서 • 가장 효율적으로 사용 할 수 있도록 Generator • 출력 특성 임피던스(50Ω)에 자동으로 매칭 시켜 • 주는 장치. Anode Chamber • 기능 : 반도체 전공정의 웨이퍼 가공을 위해 높은 정밀도의 • Plasma 형성을 위한 고주파 전원 발생 장치

7. 주요 제품 RF Generator(AX-Series) MODEL : AX-1000Ⅲ OUTPUT POWER : 1000W MAX POWER : 1100W OUTPUT TUNNINGRANGE : 0-1000W(1W Increments) OUTPUT DEVIATION :±1% of set value OUTPUT FREQUENCY : 13.56MHz FREQUENCY STABILITY : ±0.01% (10℃~40℃) OUTPUT IMPENDANCE : 50Ω ±2Ω OUTPUT HAMONIC DISTORTION :Less than –50dB of F.W REMOTE TERMINAL : Analog control(D-SUB 25PIN) or RS232C CONTROL(D-SUB 9PIN) POWER SUPPLY : 208V 3Φ 특이사항: “N”Type, Air Cooled, 430*500*135mm

8. 주요 제품 RF Matcher(Customized) RF Matcher Etch, CVD,SPUTTER ■ Embedded standard LC Network Library (ReverseL-type, π-type, ICP type, etc) ■ Real time visual check ■ Automatic matching without connecting with monitor■ Graphic usage on trace screen for Forward, reflected power ■ Smith chart (alert function) to monitor chamber impedance

9. 주요 제품 • AMV software

10. 서비스 • 기타 서비스

11. Reference 주요 고객

12. QMS 품질관리 시스템 • 목적 : 당사에서 생산하는 모든 제품에 투입에서부터 출하 시까지 각각의 단위 공정을 정확히 명시하여 제품의 품질을 spec에 의해 관리하기 위함 • 적용범위 : 당사 제품에 생산 공정과 검사 spec 문서화 목표 관리 데이터 분석 및 검토 지속적 개선