1 / 15

Понятие вакуума. Вакуумная техника. Семинар студентов и аспирантов ИФМ РАН докладчик: А.Е. Пестов

Понятие вакуума. Вакуумная техника. Семинар студентов и аспирантов ИФМ РАН докладчик: А.Е. Пестов. Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН. Понятие вакуума. Вакуум – газ под давлением ниже атмосферного. PV= RT - уравнение Менделеева - Клайперона. ═ >.

randall-stanton
Download Presentation

Понятие вакуума. Вакуумная техника. Семинар студентов и аспирантов ИФМ РАН докладчик: А.Е. Пестов

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. Понятие вакуума.Вакуумная техника.Семинарстудентов и аспирантов ИФМ РАНдокладчик: А.Е. Пестов Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  2. Понятие вакуума Вакуум – газ под давлением ниже атмосферного PV=RT - уравнение Менделеева - Клайперона ═> PV=nkT 1. низкий вакуум: 760>Р>1 мм рт.ст. (105>P>102 Па) 2. средний : 1>Р>10-3 мм рт.ст. (102>P>10-1 Па) 3. высокий: 10-3>Р>10-7 мм рт.ст. (10-1>P>10-5 Па) 4. сверхвысокий: Р<10-7 мм рт.ст. (P<10-5 Па) 1. V/T=const - Гей-Люссака 2. PV=const - Бойля-Мариотта 3. Рсум=Р1+Р2+…+Рn - Дальтона 1873 г. – первая лампа накаливания (первое применение вакуума) ═> ~ Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  3. Поршневой насос Объемная откачка Отто фон Герике 1650 г. – первые эксперименты по изучению вакуума Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  4. Роторный форвакуумный насос Объемная откачка 1 – рабочий объем; 2 – ротор-эксцентрик; 3 – подвижная пластина; 4 – пружина; 5 – впускной объем; 6 – выпускной объем. Недостаток: масляная откачка Предельное давление пластинчато-роторных насосов достигает 10-3 Па. Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  5. Спиральный форвакуумный насос Объемная откачка Вход Выход Безмасляная откачка Предельное давление - 10-2 Па. Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  6. Диффузионный насос Пароструйная откачка; наибольшее рабочее давление 10-1 Па ВХОД НАСОСА принцип действия Предельное давление - 10-6 Па. Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  7. Турбомолекулярный насос Молекулярная откачка; наибольшее рабочее давление 10-1 Па Вход Выход Частота вращения 30-50 тыс.об./мин Предельное давление - 10-6 Па. Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  8. Геттеро-ионный насос Сорбционная откачка; наибольшее рабочее давление 10-3 Па Вакуумный магниторазрядный насос НМД-1 Предельное остаточное давление ~ 10-8 Па. Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  9. Криогенный насос Откачной пост Предельное давление - 10-11 Па. Магнито-разрядный насос Азотная ловушка Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  10. Измерители давления (вакуумметры) Жидкостный U-образный манометр Деформационный (мембранный) манометр P=ρgh ρ – плотность жидкости; g – ускорение свободного падения; h – изменение высоты а) механический датчик б) емкостной датчик Диапазон измерений 101-105 Па Диапазон измерений 103-105 Па Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  11. Измерители давления (вакуумметры) Низкий вакуум (105-10-2 Па) Высокий вакуум (1-10-11 Па) ПМИ-2 ПММ-32 Qэл= Qи+Qк+Qт ПМТ-2 Ионизационный (электронный) вакуумметр Ионизационный (магнитный) вакуумметр Термопарный вакуумметр Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  12. Вакуумные материалы Давление насыщенных паров материалов Газопроницаемость вакуумных материалов (толщина стенки 1 мм, перепад давлений 1 Па, для азота (N2))при различных температурах Газовыделение нержавеющей стали Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  13. Разъемные соединения Металлическое уплотнение Скорость газовыделения, Па/с резина 7889 – 5*10-5 резина ИРП-2043 – 3*10-5 нерж.сталь (обезгаженная) – 10-9 Резиновое уплотнение Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  14. Спасибо за внимание! Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

  15. Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

More Related