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三次元接觸式掃描探頭 之研製

三次元接觸式掃描探頭 之研製. 南台科技大學機械工程研究所 研 究 生：許清雲 指導教授：朱志良 教授. 大 綱. 研究動機. 實驗架設與實驗結果. 機構設計與分析. 文獻回顧. 一. 二. 三. 四. 五. 六. 感測器與光路設計. 結論. 一、 研究動機. 探頭的發展可分為接觸式與非接觸式。. 接觸式 觸發式 掃描式 非接接觸式 影像視訊螢幕 中心投影器 中心顯微鏡. 二、 文獻回顧. Renishaw 觸發式探頭. 英國 NPL. Renishaw SP80. 瑞士 (METAS).

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三次元接觸式掃描探頭 之研製

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Presentation Transcript

  1. 三次元接觸式掃描探頭之研製 南台科技大學機械工程研究所 研 究 生：許清雲 指導教授：朱志良 教授

  2. 大 綱 研究動機 實驗架設與實驗結果 機構設計與分析 文獻回顧 一 二 三 四 五 六 感測器與光路設計 結論

  3. 一、研究動機 探頭的發展可分為接觸式與非接觸式。 • 接觸式 • 觸發式 • 掃描式 • 非接接觸式 • 影像視訊螢幕 • 中心投影器 • 中心顯微鏡

  4. 二、文獻回顧 Renishaw 觸發式探頭 英國NPL Renishaw SP80 瑞士 (METAS)

  5. 三、機構設計與分析 XY軸系統 Z軸系統

  6. 探頭整體設計

  7. 訂定尺寸 建立模型 設定分析條件

  8. 最大位移量與應力分析結果 • 固定參數 • 量測範圍 ±1mm*±1mm*1mm • 控制參數 • 彈片變形率(接觸力) • 彈片所承受降伏應力

  9. 自然頻率分析結果

  10. 四、感測器與光路設計 雷射二極體 二維PSD 一維PSD 系統整合實體圖 光路示意圖 系統整合圖 自行研發電路

  11. 四、實驗架設與實驗結果 X軸量測範圍 接觸式量測探頭之實驗架設示意圖 Y軸量測範圍 Z軸量測範圍

  12. 五、結論 • 結構以XY軸系統與Z軸系統結合而成，其特色在於將結構之自由度限制為三個，並能快速作探針交換。 • 量測系統以雷射二極體與PSD位置感測器作為感測裝置，並搭配光路系統設計，能量測Z軸位移與XY軸的角度位移。

  13. Thank you for your attention!

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