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HP4145A 半導体パラメータアナラザー. ダイオード、トランジスタなどの電子デバイスの各種の直流特性を正確に測定 グラフ表示、パラメータ解析が可能. ⇒SOI TEG チップの照射前後の V D, I D の測定. GPIB で制御 V1:0 ~ 2V ,step0.1V V2: 測定. V1=Vs1. 47kΩ. V2=Vm1. 47kΩ. SMU(Source Monitor Units) を用いた測定. source V (SMU1) V: -0.5 ~ 1(V) step 0.01(V) I (SMU1): 測定
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HP4145A半導体パラメータアナラザー • ダイオード、トランジスタなどの電子デバイスの各種の直流特性を正確に測定 • グラフ表示、パラメータ解析が可能 ⇒SOI TEGチップの照射前後のVD,IDの測定
GPIBで制御 V1:0~2V ,step0.1V V2:測定 V1=Vs1 47kΩ V2=Vm1 47kΩ
SMU(Source Monitor Units)を用いた測定 source V (SMU1) V: -0.5 ~ 1(V) step 0.01(V) I (SMU1):測定 compliance 100μA SMU1 V,I A Diode or module SMU2 Com
各moduleの10μA付近での抵抗値 ・modeleの抵抗値 2~3.5kΩ ・50kΩを超えるものはない