how to use sem l.
Download
Skip this Video
Loading SlideShow in 5 Seconds..
How To Use SEM PowerPoint Presentation
Download Presentation
How To Use SEM

Loading in 2 Seconds...

play fullscreen
1 / 26

How To Use SEM - PowerPoint PPT Presentation


  • 104 Views
  • Uploaded on

How To Use SEM. 2007March Kojima 付属の説明書もしっかり読むこと 細かい点は DVD を参照してください。. 日常点検事項 1. 窒素ボンベの圧力 2 次圧 = 0.35~0.5 MPa. 冷却装置 水温 = 20±5 ℃ 水の量は大丈夫?. 冷却装置は B 電源を ON にしたとき(観察時)に動作する。. UPS 装置 . 日常点検事項 2  (真空系). バルブの状態(通常). ペニングゲージ = Low 側で振り切れ. イオンポンプ GUN= 2E-8 Pa INT = 4E-8Pa. スイッチ類の場所.

loader
I am the owner, or an agent authorized to act on behalf of the owner, of the copyrighted work described.
capcha
Download Presentation

PowerPoint Slideshow about 'How To Use SEM' - ninon


An Image/Link below is provided (as is) to download presentation

Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author.While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server.


- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - E N D - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -
Presentation Transcript
how to use sem

How To Use SEM

2007March

Kojima

付属の説明書もしっかり読むこと

細かい点はDVDを参照してください。

slide2
日常点検事項 1

窒素ボンベの圧力

2次圧= 0.35~0.5 MPa

冷却装置 水温= 20±5 ℃

水の量は大丈夫?

冷却装置はB電源をONにしたとき(観察時)に動作する。

UPS装置 

slide3
日常点検事項 2 (真空系)

バルブの状態(通常)

ペニングゲージ

= Low 側で振り切れ

イオンポンプ

GUN= 2E-8 Pa

INT = 4E-8Pa

slide4
スイッチ類の場所

STIGMATOR

FREEZE

走査速度

FOCUS

二次電子像

明るさコントラスト

倍率調整

PROBE CURRENT(CL)

slide5
スイッチ類の場所

フラッシングSW

COMPTOPO 明るさコントラスト

ALIGNMENT

(X,Y)つまみ

SEI COMP TOPO 選択

引出電流リセット

WOBBLER

加速電圧SW

slide6
スイッチ類の場所

可動絞りノブ

X

イオンポンプ

Y

試料交換棒

slide7
スイッチ類の場所

Xステージの粗動つまみ

X,Yステージ (微動)

slide8
スイッチ類の場所

V7CLOSE

明 強制CLOSE

暗 ACCVと連動

B電源スイッチ。

上がON(キースイッチが連動)

下がOFF(真空系だけ維持)

slide9
電源を入れるとき

B電源スイッチを上に

(電源を切るときは下げる)

キースイッチをSTARTへ回して手を離す

slide10
基本画面

キーボードのPF1を押すとこの画面に戻る

加速電圧が切れているのを確認する。

slide11
観察準備

キーボードのPF2を押して設定画面を表示

テンキー1,2,3,4押すとEOS-1~4がそれぞれ表示される。

slide12
試料交換その前に...

①ステージを必ずX = 1.20, Y= 1.20 に戻す。

② 加速電圧が切れているのを確認する。

③V7が閉じていることを確認する。

④ 傾斜がかかっていないことを確認。

slide13
試料交換 試料を出す

① 試料交換棒を止まるところまで引っ張る。

② 手前に止まるところまで回転させてさらに引き抜く

③ 交換棒をホルダに置く

slide14
試料の交換

① ストッパーを外して試料ホルダを取り出す

② 試料ホルダを入れてストッパーを押して固定する

slide15
試料の挿入

① 試料ホルダがしっかり固定されているか確認。

② 交換棒をガイドに合わせて止まるところまで挿入する。

③ ロータリポンプでの粗引きが開始(EVACランプ点灯)

④ EVACランプが消灯するのを確認して棒を奥に回転させ   てさらに止まるところまで挿入する。

⑤ ペニングゲージで圧力が良くなる(1 E-4Pa)まで待つ

slide16
二次電子像の観察

① 加速電圧(0.5 kV~15 kV)を設定入力する。

 カーソルを合わせてINSキーで入力

②ACC ACCELボタンをONにして加速電圧を印加す  る。電子銃からの引き出し電流が8.0μAになるまで  待つ。(EXTRACT V =7~8 kVでGUN交換)

③V7CLOSEを解除して(暗灯)像を出す。

④FOCUSを合わせて像を観察する(続いて軸調整)。

slide17
軸調整(3項目)ゴミみたいな目標物を見つける。軸調整(3項目)ゴミみたいな目標物を見つける。

① 倍率×5000でGUN Alignment

CL(Probe Current)=8→4にした時に像の動きが最小となるようにGun Alignment(X,Y)で動いた分だけ戻す。この作業を繰り返して動きを最小にする。

② 倍率×10000でOL-AP調整

CL =5にしてEOS-2画面でHRをALCL2にする。ここで像が上下左右に移動したら移動が最小となるように可動絞りX、Yノブで調整する。終わったらHRに戻す。

③CL調整

EOS-1でGUNをCLにする。WOBBLERボタンを押して像の移動が最小となるようにGun Alignment (X,Y)で調整する。

focus
FOCUS合わせ

①FOCUS調整

前項の軸調整が済んだらFOCUSを合わせる。

② その状態でさらにSTIGMATOR(X,Y)で最もFOCUSが合うところを探す。

以上で調整終わり、XYステージで目的の場所を観察する。

さらに高倍率で見たいときでFOCUSだけではきれいな像が見られないときはその倍率で前項の軸調整(3項目)を再び行う。

slide19
像の撮影

① 軸調整、FOCUS合わせは終了しているとして

②SCAN SPEEDをSLOWにして画像を撮る。(右画面)

  撮り終えたらFREEZEボタンで像を止める。

  この画像をキャプチャする。

slide20
反射電子像の観察準備

二次電子像で前項までの各調整が終わっている状態で行うこと。加速電圧は5 kV以上

① 傾斜の確認(超重要!!)

傾斜がかかっていると検出器と衝突するので必ず傾斜を0°に戻す。

②V7CLOSEボタンを明灯させてバルブを閉じる。

③ 反射電子検出器の挿入

検出器のロックを解除(奥側へ回転)して鏡筒内部へ挿入する。このとき真空で入っていくので徐々に入れる。

④V7CLOSEボタンを暗灯させてバルブを開ける。

slide21
反射電子像の観察

① 操作パネルのCOMPO、TOPOボタンを押して観察。

②SCAN SPEEDはSLOWで行う。(信号量が少ないから)

③ 反射電子像用のCONTRAST BRIGHT 調整つまみで明るさ、コントラストを調整する。

第二CRT(右モニタ)には設定画面が移りこんでいるのでキーボードのPF1ボタンで消すことも可能。

slide22
反射像の終了

反射像を使わないとき、観察を終了する前には必ず検出器を抜く!!

①V7 CLOSEボタンを明灯させてバルブを閉じる。

② 検出器を止まるところまで引っ張る。

③ 手前に回転させてロックをかける

slide23
観察を終了するとき

① 反射電子検出器が抜いてあることを必ず確認。

②ACC VOLTAGEボタンを押して(消灯)加速電圧を切る。

③V7CLOSEボタンを明灯させてバルブが閉まっていること    を確認する。

④ キーボードのPF1を押して基本画面に戻る。

⑤B電源スイッチを下に下ろして真空系だけ動かしたまま電源を切る。(キースイッチはONのままで良い)

⑥ 約5分後に冷却水装置が停止する。

slide24
帰るときは安全確認

点検事項を確認する。さらに、

1.反射電子検出器は抜いてる?

2.V7はCLOSEか?

3.ペニングゲージはOKか?

4.GUN、INTの真空度はOK?

5.水漏れは無いか?

slide25
日々のメンテナンス

・150時間に1回 強制フラッシング

・冷却水の水量チェック

・1年に1回 ターボ分子ポンプのバッテリー交換(JEOLに注文)

・1年に1回 イオンポンプ用非常電源バッ テリー(自動車用で良い、24V36Ah)交換

・ロータリポンプ用油チェック(JEOLに注文)

slide26
緊急時は

 ・ 加速電圧を切る。

 ・ V7CLOSEでバルブを閉める。

 ・ キースイッチをOFFにして装置全体を止める。

日本電子総合コールセンターへ

0120-134-788

装置名 JSM-6000FS

型名   162003-0005