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奈米壓印製程實驗

奈米壓印製程實驗. Adviser: W.L. Li Lecturer: Y.K. Tsao ( 曹韻國 ). Lab. E ngineered M aterials for B iomedical A pplications ( EMBA ) 生物醫學應用實驗室. Outline. 前言 實驗原理 方法和步驟 應用 結論. 前言. 目前半導體產業的微影成像（ Microlithography ）製程，以及相關的微製造技術皆是以光學微影（ Photolithography ）方式為主 然而，光學微影成像的解析度和光源的波長成正比，所以解析度有其極限

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奈米壓印製程實驗

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Presentation Transcript

  1. 奈米壓印製程實驗 Adviser: W.L. Li Lecturer: Y.K. Tsao (曹韻國) Lab. Engineered Materials for Biomedical Applications (EMBA) 生物醫學應用實驗室

  2. Outline • 前言 • 實驗原理 • 方法和步驟 • 應用 • 結論

  3. 前言 目前半導體產業的微影成像（Microlithography）製程，以及相關的微製造技術皆是以光學微影（Photolithography）方式為主 然而，光學微影成像的解析度和光源的波長成正比，所以解析度有其極限 因此普林斯頓大學Stephen Y. Chou 教授在1995 年提出奈米壓印（Nanoimprint Lithography, NIL）的技術來做為應用於微製造的微影製程

  4. 奈米壓印技術的優點 • 壓印製程技術具有製程簡單、成本低、高解析度、產能高的優勢。尤其它並不是光學微影，故不受光源波長的限制，可以簡單的製作出解析度小於100 nm 以下的圖案

  5. 實驗原理 • 壓印技術可分為以下幾種： • 微接觸式印刷技術 • 熱壓印技術 • 紫外光型奈米壓印技術 • 混和型壓印技術 • 本次實驗主要討論的是熱壓印技術

  6. 奈米熱壓印技術 • 用中學生看的懂得說法描述，此種技術就是找一塊紋路很小（微奈米尺度）的模具（就像古代烙印用的刑具） • 將模具加熱後蓋在一些有機物質的表面上，使其表面有微奈米尺度的紋路， • 這些紋路，可以進行很多種的用途，像是半導體、光電、生醫等用途

  7. 模具加熱 刑具 步驟 犯人的皮 PLLA 玻璃基板 燙下去 完成

  8. 模具

  9. Octadecyltrichlorosilane Octadecyltrichlorosilane 抗沾黏劑(OTS, or n-octadecyltrichlorosilane) is an organometallic chemical. It is used in semiconductor industry to form self-assembled monolayerthin films on silicon dioxide substrates. Octadecyltrichlorosilane is an amphiphilic molecule consisting of a long-chain alkyl group (C18H37–) and a polar head group (SiCl3–), which forms Self-Assembled Monolayers (SAMs) on various oxidic substrates

  10. 生醫方面的用途

  11. 施旺細胞（Schwann‘s cell）其出現在周圍神經系統，形成髓鞘以將週邊神經系統的神經元所伸出的軸突進行絕緣包覆，髓鞘不會包覆整個軸突，許旺細胞間會留有間隙，被稱之為蘭氏結，以跳躍式傳導的方式使得神經訊號的傳導速度得以加快。 施旺細胞（Schwann's cell）具有吞噬能力，可清除細胞殘渣，提供神經元重生的空間

  12. Thanks for your attention!

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