slide1 n.
Download
Skip this Video
Loading SlideShow in 5 Seconds..
半導體與光電廠務設施 PowerPoint Presentation
Download Presentation
半導體與光電廠務設施

Loading in 2 Seconds...

play fullscreen
1 / 37

半導體與光電廠務設施 - PowerPoint PPT Presentation


  • 194 Views
  • Uploaded on

半導體與光電廠務設施. 指導老師:曹志明 班 級:職二冷五 學 生:許啟峰 92450527 張家豪 92450532 簡廷芮 92450534 楊景茗 92450545. 生技廠空調概述. 一 . 潔淨室環境簡介 二 . 生技廠空調系統測試介紹 三 . 補充介紹 無特殊病源 (SPF) 動物室空 調介紹. 潔淨室環境簡介.

loader
I am the owner, or an agent authorized to act on behalf of the owner, of the copyrighted work described.
capcha
Download Presentation

PowerPoint Slideshow about '半導體與光電廠務設施' - mikayla-valenzuela


An Image/Link below is provided (as is) to download presentation

Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author.While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server.


- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - E N D - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -
Presentation Transcript
slide1

半導體與光電廠務設施

指導老師:曹志明

班 級:職二冷五

學 生:許啟峰92450527

張家豪92450532

簡廷芮92450534

楊景茗92450545

slide2

生技廠空調概述

一.潔淨室環境簡介

二.生技廠空調系統測試介紹

三.補充介紹

無特殊病源(SPF)動物室空 調介紹

slide3
潔淨室環境簡介
  • 潔淨室潔淨度之維持和控制,除了硬體設備之配合投資外,也需要良好的軟體──管理制度來搭配,方能維持良好的潔淨度。潔淨室內之微污染來源,經測試分析結果,作業人員佔約80%,如圖1所示。實驗數據顯示,作業仁員進出潔淨室時塵埃有顯著的增加,有人動作時,潔淨度馬上劣化,可見潔淨度劣化之原因,人是主要因素。
  • 圖1 微塵產生類別比重
slide4
潔淨室的污染源可分外污染源及內污染源。外污染源包括了空調送風、間隙滲入、建築物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等;而內污染源則包括了製程設備、工作人員、工具、加工製程、隔間材、工作桌、工具盒等,圖2為微塵粒子的傳送路徑。潔淨室的污染源可分外污染源及內污染源。外污染源包括了空調送風、間隙滲入、建築物、工作服、風管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等;而內污染源則包括了製程設備、工作人員、工具、加工製程、隔間材、工作桌、工具盒等,圖2為微塵粒子的傳送路徑。
  • 因此微污染控制已成為潔淨室管理的重要環節。表1為在自然環境所測得的塵埃濃度,可為設計參考。而在 貴無塵室所測得的數據約在600,000~1,500,000(≧0.5μm)之間,界於田園地帶和住宅區間,由表中也可看出正吸煙的會議室,其微塵粒子之含量與工業區的工廠污染來得不相上下,值得我們深思警惕。
slide6
微污染控制,其基本原則有四:

1.外物塵埃侵入之防止;2.室內發塵之防止;3.室內塵埃之不積留;4.發生之微塵儘速之排除。

  • 外物塵埃侵入之防止:潔淨室適當之正壓保持(>0.5mmAq),做好施工工程不漏氣,人員設備、原物料搬入潔淨室前先做清潔擦拭等防塵動作,空氣過濾器適當的管理和設置。
  • 室內發塵之防止:隔間牆、地板等潔淨室材料的適當選用、製程設備的發塵抑制、生產自動化及人員不聚集、動作放輕、潔淨衣的管理、使用潔淨室專用器等。
  • 室內塵埃之不積留:牆壁體應光滑無死角、潔淨室須定期保養和清掃、製程設備四週應留空間。
  • 發生塵埃之排除:換氣次數須足夠,適當的空間佈置以及污染源直接排氣和空調的氣流速度須適當。
  • 潔淨室運轉管理,可依作業人員、原物料、設備及潔淨室內所用東西等加以探討,並依計劃(Planning)、實施(Doing)、追蹤(Checking)、動作(Action)之PDCA循環步驟執行。
slide7
作業人員之管理
  • 在潔淨室內污染來源80%來自作業人員,因此若能使作業人員依潔淨室管理辦法確實執行管理,而所有人員也均能配合實施,則污染源的產生可說已減少大半。現就進入潔淨室的作業人員之管理和注意事項說明於下:
    • 進入潔淨室之人員,必須要具備有達成高潔淨度標準,並要維持最好狀態之觀念。
    • 作業人員進入潔淨室數目以維持最小限度為原擇(愈少愈好),並須依潔淨室進出標準流程進出潔淨室,如圖8-3所室。出則相反方向進行,唯不須經空氣洗塵室之脫塵處理。
slide9
對作業人員必須經常講解潔淨室管理之資料,並加以教育與訓練,內容如潔淨室管理之一般常識、潔淨室之構造與功能、維護和清潔、安全對策、搬運器材之潔淨管理與檢查、潔淨衣之穿脫、潔淨室內之步行方式等,並經考試合格者方能進入潔淨室工作。對作業人員必須經常講解潔淨室管理之資料,並加以教育與訓練,內容如潔淨室管理之一般常識、潔淨室之構造與功能、維護和清潔、安全對策、搬運器材之潔淨管理與檢查、潔淨衣之穿脫、潔淨室內之步行方式等,並經考試合格者方能進入潔淨室工作。
  • 在潔淨室作業人員須經常保持自己各方面的乾淨與清潔。
  • 在潔淨室內之作業人員或其他人員之移動或動作均為發塵源,其直接影響製程,同時亦會影響氣流之擾動,為防止與控制上述,基本上須注意下列事項:
    • 不可在作業區域氣流之上方放置物品或做其他作業。
    • 不必要之動作儘量避免以防止亂流及發塵。
    • 與作業無關的私人談話儘量避免。
    • 為控制發塵量,人員步及作業要靜靜地進行。表8-2所示人體在不同動作時之發塵量。
    • 作業要在潔淨之工作檯或工作桌進行。
    • 工具等器具須收入有蓋子之箱子或櫃中,並置放一定的場所。
slide11
在潔淨室之維護管理方面,可分三部份加以說明,1.建築物之維護管理;2.環境測定與管理;3.除塵空調設備之維護管理。在潔淨室之維護管理方面,可分三部份加以說明,1.建築物之維護管理;2.環境測定與管理;3.除塵空調設備之維護管理。
  • 1.建築物之維護管理:
    • 建築物內定期檢查清潔;
    • 地板之清掃管理及損壞更新;
    • 隔間牆及天花板檢查清潔和封補;
    • 窗戶及門之保養等。
  • 2.環境測定與管理:潔淨室內之運轉環境狀況如溫、濕度及微塵粒子數應每日定期量測,以確實掌臥環境品質,遇有數據異常,可立即做緊急處理。
  • 3.防塵空調設備之維護管理:
    • 溫、濕度及塵埃濃度管理,在前面已述及,唯其量測儀器應做定期校正檢驗,若有設備移動或施工時須做局部測量;
    • 過濾網之管理:定期檢查及更換;
    • 空氣調節器之管理:定期檢查隔板接縫及內部污染狀況,冷熱盤管是否有腐蝕現象;
    • 送風機之管理:定期檢查送風機運轉狀況;
    • 風管及出風口之管理:檢查風管是否腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等;
    • 測試及量測儀器管理:定期校正及保養;
    • 室內壓力管理:連續監視室內壓力記錄,以維持正壓為基準;
    • 冷凍主機、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理:定期檢查保養及記錄運轉狀況及水質變化分析,以調整加藥量等;
    • 潔淨室停止運轉再開機要點管理:啟動後立即進行微塵粒子之測試,俟潔淨室恢復穩定正常時再開始作業。
slide12
生技廠空調系統測試介紹
  • 一.溫溼度測試
  • 二.風量平衡測試
  • 三.噪音測試
  • 四.潔淨度測試
  • 五.HEPA洩漏測試
  • 六.風管洩漏測試
  • 七.水量平衡測試
  • 八.落菌數測試
  • 九.正負壓測試
  • 十.自動控制接地系統測試
slide13
一.溫溼度測試

空調溫溼度測試程序

測試基準:

  • 測試高度:Floor+1.5m。
  • 測試點數:每3mx3m為測試格點。
  • 每一點均測二次,取平均值為測量值。
  • 測試儀器:
  • 溫度計及濕度計。
  • 儀器最小讀數在0.1℃,0.2%RH以下,精確度:<0.2℃,±2%RH。
slide14
二.風量測試

空調風量測試程序

風速/風量測試

測試基準:

  • 如濾網下方無設備阻礙,使用風罩式風量儀量測每點測量點數值需等數值穩定方可紀錄數值。
  • 如濾網下方有設備阻礙時,則需將濾網蓋板卸下,使用風速計量測。 每個測量點距濾網下方,每點不超過15cm間距且大濾網量測8點小濾網量測4點。

測試位置:

  • 每一濾網測兩點。每個測量點時間至少5秒以上,每一點均須測二次,並取平均值為測量記錄值。
  • 測試前先確認其濾網有無設備阻擋,選用是當量測儀器。

測試儀器:

  • 使用熱線式電子直讀風速計或風罩式風量儀。
  • 儀器最小讀數為0.05M/S以下,ACCURACY 3% FULL SACLE以內。
  • 檢附儀器校正有效日期證明。.
slide16
三.噪音測試

空調噪音測試程序

  • 測試基準:
  • 測試高度:Floor+1.5m。
  • 測試點數:每A/2.32m2為測試格點。
  • 每一點均測二次,取平均值為測量值。
  • 測試儀器:噪音計。
slide18
四.潔淨度測試

空調清淨度測試程序

測試基準:

測量程序

    • 距離地面1.2米高度量測。
    • 測量點之周圍60CM半徑內無障礙和污染源。
  • 測量點
    • CLASS 10,000~100,000 @0.5um

測量公式:N=A×64/(10m)0.5 N=量測點數 A=測量空間面積m2

  • m=測試區域清淨等級數
  • m=1.5(class1)
  • m=3.5(class100)
  • m=4.5(class1000)
  • m=5.5(class10000)
  • m=6.5 (class100000)

每點取平均值為測量值每次測一分鐘,如不足2點時以2點測量。

測試儀器:

  • 光散射試粒子計數器(LASER PARTICLE COUNTER)。
  • 取樣之流量1CFM。
slide21
五.HEPA洩漏測試

空調濾網洩漏測試程序

  • 於施工圖確認欲測試空調系統路徑與濾網風箱相關位置。
  • 關閉同一空調系統其他風管主幹管上之風門。
  • 調整空調箱風量,維持測試區域設計值風量。
  • 於空調箱裡釋放DOP礦物,並將Based Line 設定為100×10-6g/L,基準設好
  • 後依比例表示,其數值當上游濃度為100時,即為設定值開始量測。
  • 於濾網下約25mm處,用DHOTOMETER 掃描並以3-4mm重複面積測試, 直到 HEPA UNIT 全部面積掃描完成。偵測管之移行速度不超過50mm/s。

Class 10000區洩漏測項目:

      • 高效率濾網表面及框架。
      • 高效率濾網框架與天花板交接處。

取樣粒徑:HEPA以0.3um微粒為檢測BASE。

量測方式:先將光譜儀量測一端插至HEPA箱DOP測試口,另一端放 置於濾網下方開始掃描量測並觀察其濃度值。

量測要求:過濾網破損處必須修補,但總破損面積總和不得超過濾網表面積之3%,或單邊破損長度不得超過38mm之修補,否則應更換濾網。

slide24
六.風管洩漏量計算
  • 標準洩漏量計算:
    • 依業主或監造設計單位指定一空調系統採取一段風管長度進行測試。
    • 計算該段風管實際平均運轉靜壓,選擇洩漏等級(LEAKAGE CLASS)CL,由於本案均為矩形風管且依約規定填縫等級(SEAL CLASS)為A CLASS,故洩漏等級(LEAKAGE CLASS)CL=6。
    • 依該段風管實際平均運轉靜壓(本案因風管較為集中供應區域,故可採用100mmAq靜壓計算之),由『Table 4』 Leakage factor (F) in cfm/100 s.f. duct可以得知該段風管每平方英呎標準洩漏量。
    • 計算該段風管實際表面積,再乘上每平方英呎標準洩漏量(Leakage factor (F) in cfm/100 s.f. duct)。
    • 依式可得知取樣風管標準洩漏量Qp。
  • 待一切準備就緒後,紀錄取樣風管相關尺寸與位置,啟動試驗風機,調整風機變頻器使試驗風管的內壓保持在運轉靜壓以上,同時測定紀錄風量。
  • 依照上式求出該段取樣風管實際洩漏量Q,本工程風管系統,試驗取樣風管的實際洩漏量Q比該段風管標準洩漏量Qp低時,表示合格,超過則表示不合格。
slide25

測試標準依據

  • 美國SMACNA Air Duct Leakage Test Manual 1985

Leakage factor (F) in cfm/100 s.f. duct 『Table 4』

風管洩漏係數對照表

slide28
八.落菌測試
  • 落菌法是打開內含瓊脂培養基之培養皿,暴露在一設定時間讓負載微生物之粒子沉落在瓊脂培養基上。陪替氏培養皿直徑約90 mm(培養皿內面積大約為64 cm2),目前是較普遍被使用,附著粒子之微生物數量是以菌落形成單位(cfu) 計算,微生物沉落速率是單位時間在所設定的區域內所沉落的數量。
slide29
八.落菌數檢測標準
  • 落菌法測試之參考標準:

清淨度等級

落下菌(動態)cfu/4hrs 時 落下菌(動態)cfu/1hr 時

(90mm)(無菌製劑區) (90mm)(無菌製劑區)

Class 100,000 <100 <20

Class 10,000 <50 <5

Class 100 <5 <1

slide30
九.正負壓測試

空調正負壓測試程序

測試基準:

  • 室內正負壓測試前,受測區所有門扉須緊閉。

測量方式:

  • 將微壓差計之正、負取樣口插於各房間外機械式壓差計的取樣銅接頭上,量測其之讀值為其房間之壓差值。

測試儀器:

  • 電子式微差壓計。
  • 最小讀數5Pa以下。於施工圖確認欲測試空調系統路徑與濾網風箱相關位置。
slide33

無特殊病源(SPF)動物室空 調介紹

一.動物室溫溼度標準

二.動物室換氣標準介紹

slide34

溫度與溼度

  • 實驗動物是被飼養在限制籠舍內,但其房舍溫度隻變異幅度不應太大,以減少動物反覆地改變代謝速率或行為舉止來拮抗環境溫度之改變。
  • 動物房與飼養籠之環境溫度與溼度雖因動物活動造成對流,但籠內環境溫、濕度仍筆室溫高,一般實驗動物房建議之室溫
  • 某些狀況下需將環境溫度提升,如手術恢復區之溫度、出生孵化之雛雞其飼養環境、無毛之嚙齒類如裸鼠或無毛鼠、無母獸伴隨之初生仔獸飼養環境等。
  • 環境溫度及相對溼度之變化與房舍之設計及飼養管理有極大隻關聯。如建築材料之選用及其更換頻率等。
  • 動物對相對溼度之要求,較不嚴謹,可接受範圍在30%~70%之間,然溼度急劇變化或過高易引發疾病。
slide35
換氣
  • 換氣之目的在於提供新鮮空氣,移除因動物呼吸、光源、機器設備產生之熱源;稀釋室內氣體性及微粒性之污染物質;調節室內空氣中溼度;在某些情況下,且用以不同區域間之靜壓壓差。
  • 動物房內每小時12~18次新鮮空氣換氣率,為多年來被認可之一般標準。然而動物房內有足夠的換氣時,並不表示動物之主要棲息處所(動物籠)也具有足夠之換氣,動物籠內之空氣品質取決於兩個因素

(1)進氣和排氣設備之種類,(2)動物房內主要飼養之動物種類、數量及動物籠清潔頻率與放置位置。

  • 動物房內有毒或惡臭性之氣體(例如氨氣),可藉由(1)排氣系統排除(2)新鮮空氣替換(3)動物房清潔及電料之更換(4)建低飼養密度,使之濃度維持在可接受之範圍內。
  • 飼育SPF動物之房舍或籠架應使用高效能濾網(HEPA,High-Efficiency Particulate Air-filter)以除去空氣中含有病源體微粒,減低動物感染危險性。
  • 獨立吹塵式無菌動物籠架(IVC,Individual ventilation cage system)其標榜的換器量,一廠牌不同達到每一動物籠每小時近55至100次的高換氣,高的換器量藉以移除動物所產生的高濃度氨氣,並保持籠內乾燥,對動物提供更舒適的空氣品質。
slide36

傳統鼠籠架

獨立送排風鼠籠架