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奈米定位與量測技術 報告題目：近場光學顯微鏡應用於表面量測

奈米定位與量測技術 報告題目：近場光學顯微鏡應用於表面量測. 授課老師：朱志良　老師 學生姓名：李文妤 學生學號： MA110113. 近場光學顯微鏡原理. 近場光學原理 在遠小於光源波長的距離下，做光學的量測與觀察。 近場光學顯微鏡原理與工作模式. 圖 1. 近 場 光學原理示意圖. 圖 2. 近 場光學顯微鏡 (SNOM) 之示意圖. 圖 3. 近 場光學顯微鏡 (SNOM) 之工作模式分為 (a) 穿透式與 (b) 反射式. 近場光學顯微鏡應用. (a). (b). (a). 觀察表面結構

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  1. 奈米定位與量測技術報告題目：近場光學顯微鏡應用於表面量測奈米定位與量測技術報告題目：近場光學顯微鏡應用於表面量測 授課老師：朱志良　老師 學生姓名：李文妤 學生學號：MA110113

  2. 近場光學顯微鏡原理 • 近場光學原理 • 在遠小於光源波長的距離下，做光學的量測與觀察。 • 近場光學顯微鏡原理與工作模式 圖1. 近場光學原理示意圖 圖2. 近場光學顯微鏡(SNOM)之示意圖 圖3. 近場光學顯微鏡(SNOM)之工作模式分為(a)穿透式與(b)反射式

  3. 近場光學顯微鏡應用 (a) (b) (a) • 觀察表面結構 • 表面結構：如圖4.(a), (b)之聚苯乙烯顆粒之表面結構及近場光學影像 • 表面粗糙度之量測 • 將準分子雷射加工後之高深寬比 polycarbonate 微渠道結構底部，作表面粗糙度量測，如圖5.(c), (b)，未來將利用此種技術測量生物組織培養之表面形貌。 圖4. 聚苯乙烯顆粒之表面結構及近場光學影像 圖5. PC表面之微結構粗糙度量測

  4. 近場光學顯微鏡參考文獻 • 1. 科學發展，386期。 • 2. 工業材料雜誌，238期。 • 3. http://web1.knvs.tp.edu.tw/AFM/ch9.htm。 第9章，近場光學顯微鏡。 • 4. 近場光學顯微鏡，作者：許藝菊。 • 5. 近場光學顯微鏡，作者：何采宇、周鈺翔、蔡智凱、陳利鴻。

  5. Thanks for your attention!

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