1 / 13

晶圓製程

光罩. 晶圓製程. 材料. 測試. 晶圓. 微影製程. 加熱 製程. 介電質沉積. 封裝. 光罩. 離子佈植與光阻剝除. 最後測試. 設計. 無塵室生產廠房. 化學機械研磨. 金屬化. 蝕刻與光阻剝除. www.ele.ksu.edu.tw/chtsai/cai/ 超大型積體電路設計 - 電子 3A/Chapter%2001. ppt. 資料來源 科學報導 點矽成金. 3. 顯微鏡下的 IC 一角.

kiri
Download Presentation

晶圓製程

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. 光罩

  2. 晶圓製程 材料 測試 晶圓 微影製程 加熱 製程 介電質沉積 封裝 光罩 離子佈植與光阻剝除 最後測試 設計 無塵室生產廠房 化學機械研磨 金屬化 蝕刻與光阻剝除 • www.ele.ksu.edu.tw/chtsai/cai/超大型積體電路設計-電子3A/Chapter%2001.ppt

  3. 資料來源 科學報導 點矽成金 3

  4. 顯微鏡下的IC 一角 • 游振忠/半導體工廠實務管理/cca.yuntech.edu.tw/94ccaedu/text/管理實務/0319上午課程4.ppt 4

  5. 什麼是光罩(Mask)？

  6. Reviewing Circuit Diagram Reviewing Circuit Diagram BTE0006 (Corbis Royalty Free Photograph) （http://www.fotosearch.com/corbis/business-technology/DGT162/） 6

  7. Circuit Mask and Technician BTE0015 (Corbis Royalty Free Photograph) （http://www.fotosearch.com/corbis/business-technology/DGT162/） 7

  8. Circuit Mask Review Circuit Mask Review BTE0008 (Corbis Royalty Free Photograph) （http://www.fotosearch.com/corbis/business-technology/DGT162/） 8

  9. 什麼是光罩(Mask)？ What is Photomasks - 何謂光罩 光罩(Mask) – 電路設計圖的幾何圖形縮小版. • 利用電子束刻在石英片上. A Photomask (also known as Mask, Plate, Layer, or Reticle) is a high precision plate containing microscopic images of electronic circuits.It is used as a media with contract Opaque (DARK) / Transparency (CLEAR) ) to transfer the image onto the substrate. • http://opto-equipment.etrading.com.tw/Photomasks/whatis.htm

  10. 想在晶片（或稱作基板）上做一條銅線，先要準備一塊光罩（mask），上面有這條銅線的圖案。這光罩是用玻璃或石英製造的，在它上面不透光的部分鍍有一層金屬鉻。想在晶片（或稱作基板）上做一條銅線，先要準備一塊光罩（mask），上面有這條銅線的圖案。這光罩是用玻璃或石英製造的，在它上面不透光的部分鍍有一層金屬鉻。 • http://203.68.20.65/science/content/1999/00030351/0008.htm

  11. 光罩　Mask。Reticle。 生產晶片的模具稱為光罩。當IC設計公司設計出一款晶片電路圖之後，光罩公司製作成光罩，再送至晶圓代工廠進行晶圓代工，封裝、測試後，便成為一顆顆的IC晶片。 • http://fund.bot.com.tw/z/template/glexp_3602.asp.htm

  12. 光罩是生產LCD在玻璃上蝕刻電路圖案的曝光製程中，使用的1種類似薄膜的物質；是將光罩貼合於玻璃上，再投射光，便可形成所需電路。在製造1片LCD過程中，係視使用光罩的次數，來區分4道光罩或5道光罩製程。光罩是生產LCD在玻璃上蝕刻電路圖案的曝光製程中，使用的1種類似薄膜的物質；是將光罩貼合於玻璃上，再投射光，便可形成所需電路。在製造1片LCD過程中，係視使用光罩的次數，來區分4道光罩或5道光罩製程。 • http://tech.digitimes.com.tw/ShowNews.aspx?zCatId=642&zNotesDocId=11AF6F18AAFA874D482571710042F7AE

  13. 光罩和倍縮光罩 圖片提供: SGS Thompson • www.ele.ksu.edu.tw/chtsai/cai/超大型積體電路設計-電子3A/Chapter%2001.ppt

More Related