SU-8020 電界放出型走査電子顕微鏡使用方法

SU-8020電界放出型走査電子顕微鏡使用方法 精密分析室 2014/5/21

目次 3　準備・始動 4　試料の準備　挿入 6　電子線の発生 7　二次電子像の観察 11　反射電子像の観察 10STEM像の観察 11　画像の調整 12　非点収差補正 13画像の保存 14　試料交換の方法 15観察の終了 16装置の停止 17フラッシングとメニューボタン変更 18　ＭＥＮＵ階層１ 22 　停電時および装置完全停止 19　ＭＥＮＵ階層２ 23 　停電復帰後および装置立ち上げ時終了

準備・始動 1.DISPLAY SWをONにして装置を立ち上げる 2.SU-8000をクリック 3.パスワードは無くリターンを押す PC-SEMを起動５.HV表示部をクリックしてHV設定　　メニューを表示させる６.　フラッシングをクリックして、フラッシング強度が　　２であることを確認して実行する目次に戻る

試料の準備　挿入 １　試料を準備し必要に応じて金をコーティングするなど導電化処理をする２　試料を試料台に固定し、治具と同じ高さになるよう調整して、ローレットがきってあるネジで固定する３　オペレーションパネル/ステージで試料サイズを 2inchesで試料の横幅を設定する　　試料高さはStandardを選択 Standard ４　加速電圧がOFFであることを確認する原点の左側の緑ランプを確認して、ステージ位置を確認する　Ｚは８mmも確認目次に戻る

５　AIRを押し試料交換室が大気になるとブザーが鳴る５　AIRを押し試料交換室が大気になるとブザーが鳴る 11CLOSEボタンを押すとブザー音が鳴る６　試料交換室を手前に引き、試料交換室　　を押さえながら交換棒を押し出す UNLOCK　にした交換棒の先端に試料ホルダーをセットし、交換棒をLOCK にして試料ホルダーをセットする 10　交換棒をUNLOCKにし、　　　交換棒がカチッと音が　　　するまで引く７　交換室を押さえながら交換棒を引き、カチッと音がするまで引く９　OPENボタンを押して試料　　交換室のガラス窓から覗き、　　ゆっくり交換棒を押して　　Ｘｃランプがつくまで押　　し込んで試料をセットする８　交換室を押し、EVACボタンを押して真空が上がるとブザーが鳴る目次に戻る

電子線の発生 １．ステージで試料サイズ・高さを入力する２．基本/電子光学系条件　　プローブ電流　Norm 　　ＷＤ　8.0mm 　　検出器　SE ３．加速電圧をON通常は15kV 目次に戻る

二次電子像の観察 クイックセーブ用ファイルに通し番号を付けてセーブスキャンスピードオートアライメントダイレクトセーブオートフォーカススキャンの開始・停止キャプチャーボタン右のアルファベットがスピードオート画像調整低倍　高倍切り替えイメージシフト明るさコントラスト Coarse Fine 倍率非点補正・軸調整フォーカス目次に戻る

反射電子像の観察 １．ハンドルを左回りにまわして検出器を挿入するこの際Ｚは必ず７mm以上にする２．ステージタブのBSEがオレンジになっていることを確認する３．ステージタブの信号選択でPDBSEを選択する４．詳細設定から検出器の設定をする５．素子の組み合わせで３つの　　構成が選べます目次に戻る

６．信号処理調整する ７．終わったらハンドルを右回りにまわして検出器をもどしておく８．信号選択をSED２次電子にもどす

ＳＴＥＭ像（明視野、暗視野）の観察 １．試料をホルダーにセットして通常の方法で試料室にセット　　する明視野用　　　　暗視野用２．加速電圧は２０～３０ｋＶで使用する　　信号選択はＴＥにする目次に戻る

画像の調整 １．フォーカスを変化して像が動くときはアライメント調整を押してＸ、Ｙ　　を調整して像の動きを止めるスティグマ　　　　　明るさ　コントラスト倍率　　　　　　　フォーカス目次に戻る

非点収差補正 AUTO(STIGM)自動で非点補正をする非点収差がない場合　フォーカスで均一にぼやけるアンダーフォーカス　　　最良点　　　　オーバーフォーカス非点収差がある場合　フォーカスで不均一にぼやける STIGMA/ALIGNMENT X Y 注：非点補正をするときはフォーカスをあわせながら調整するぼけの方向が違ってくる目次に戻る

画像の保存 １．スキャンスピードSlowで画像を確認し、キャプチャボタンを押して画像を撮影クイックセーブのときは　ファイル/クイックセーブから保存場所と名前を指定すると同じ名前で番号を自動でつけて保存してくれる２．画像リスト内の必要な画像を選択（黄色の枠内）し、保存ボタンを押す目次に戻る

試料交換の方法 １．加速電圧をOFF ２．試料位置を原点に戻す３．OPENボタンを押しブザー音がなる４．交換棒をUNLOCKにして試料室内に止まるまでの挿入する５．交換棒をLOCKにして鏡体内を覗きながら　　交換棒をストッパーがかかるまで引く６．CLOSEボタンを押しブザー　が鳴ったらAIRボタンを押して、　ブザーが鳴るまで待つ７．交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す　　交換棒をUNLOCK（時計回り）にして試料を外す目次に戻る

観察の終了 １．加速電圧をOFF ２．試料位置を原点に戻す３．OPENボタンを押しブザー音がなる４．交換棒をUNLOCKにして試料室内に止まるまでの挿入する５．交換棒をLOCKにして鏡体内を覗きながら　　交換棒をストッパーがかかるまで引く６．CLOSEボタンを押しブザー　が鳴ったらAIRボタンを押して、　ブザーが鳴るまで待つ７．交換室を手前に引き、交換室を押さえながら交換棒を軽く押し出す　　交換棒をUNLOCK（時計回り）にして試料を外す８．交換棒をストッパーがかかるまで引き、交換室を鏡体に取り付けてEVACを押す目次に戻る

装置の停止 １．交換室パネルのＥＶＡＣが点灯していることを　　確認する２．PC-SEMとWindowsを終了する３．コンソール右のDISPLAYスイッチをOFFにする　　チラーの電源と連動しているので、忘れない　　ように目次に戻る

フラッシングとメニューボタンの変更 フラッシングをするときはここをクリック　をクリックするとボタンが変更できる目次に戻る

Ｍｅｎｕ階層１ 目次に戻る

Ｍｅｎｕ階層２

停電時および装置完全停止時の操作 １．日常停止操作を行う２．排気系操作パネルの EVAC POWERスイッチをOFFにする３．対物レンズ可動絞り加熱ヒーターの冷却を待ちおよそ３５分後に停止する　　排気系操作パネルの表示部にPOFFが表示されれば停止完了です４．排気系操作パネルのイオンポンプの電源　　スイッチ(IP 1—3)をOFFにする　　ディスプレイ背面の電源ブレーカー部で、 IP,EVAC,DISPLAY,OUTER BAKE 　　の各ブレーカーをOFFにした後、 MAINブレーカーをOFFにする５．配電盤のブレーカーを OFFにする目次に戻る

停電復帰後および装置立ち上げ時 １．配電盤の電源ブレーカーを投入する。冷却水を流し（本体背面の流量　メーターが1.0～1.5L/minであることを確認２．ディスプレイ背面の電源ブレーカーの MAINブレーカーをONにする停電で停止した場合、ブレーカーがOFFになっていない場合はいったんすべてのブレーカーをOFFにしてから電源を投入して下さい３．IP,EVAC,DISPLAYの各ブレーカーをONにする。(OUTER BAKEは通常はOFF) ４．排気系操作パネルのSTAGE POWER,EVAC POWER,イオンポンプ電源SW(IP 1---3) をONにするリセットＳＷのランプが点灯しないときはリセットＳＷを押す目次に戻る

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