Оборудование BOC Edwards для высокотехнологичных областей

1. Оборудование BOC Edwards для высокотехнологичных областей Ю. К. Васильев ЗАО «Индустриальный технический вакуум» Москва, Россия

2. BOC Edwards BOC Edwards – мировой лидер в проектировании и производстве оборудования для самых высокотехнологичных областей промышленности • Традиционное английское качество в области вакуумных технологий • Более 80 лет на рынке высокотехнологичного оборудования • 70 представительств компании по всему миру, в которых занято более 2000 человек • 100% гарантия качества и поддержка потребителей во всем мире

3. Закрытое акционерное общество «Индустриальный Технический Вакуум» • ЗАО «Интек Вакуум» - эксклюзивный поставщик продукции ведущего мирового производителя и разработчика вакуумной техники, британской компании BOC Edwards в Россию, Белоруссию и Украину • Представительства в крупнейших городах России • Комплексный подход к работе: • Поставка • Сопровождение и сервисное обслуживание оборудования • Модернизация производственных линий и технологий на производстве • Консультации, технологическая и методологическая поддержка

4. Малогабаритные вакуумные насосы • Одно- и двухступенчатые пластинчато-роторные насосы с масляным уплотнением (быстрота действия до 9 л/с, остаточное давление менее 10-3 мбар) • Безмасляные мембранные насосы (быстрота действия до 0,55 л/с, остаточное давление менее 2 мбар) • Безмасляные спиральные насосы (быстрота действия до 10 л/с, остаточное давление менее 2·10-2 мбар)

5. Промышленные вакуумные насосы • BOC Edwards представляет полный спектр вакуумного оборудования для промышленного использования • Сухие вакуумные насосы для полупроводниковых производств и чистых газов(быстрота действия до 500 л/с, диапазон давлений от атмосферногодо менее чем 10-3 мбар)

6. Высоковакуумные насосы • Турбомолекулярные насосы (быстрота действия до 3500 л/с, остаточное давление менее 10-10 мбар) • Высоковакуумные диффузионные насосы (быстрота действия до 2000 л/с, остаточное давление менее 10-9 мбар) • Магниторазрядные и сублимационные насосы (быстрота действия до 2000 л/с, остаточное давление менее 10-11 мбар) • Криогенные насосы, криоголовки и кроиохладители (быстрота действия до 10000 л/с) • Инновационные сухие турбонасосы с выхлопом на атмосферу (быстрота действия до 140 л/с, остаточное давление менее 10-6 мбар)

7. Откачные посты • Промышленные откачные почты с механическим бустерным насосом (быстрота откачки до 8300 л/с, до давления 10-5 мбар) • Лабораторные высоковакуумные откачные посты безмасляной откачки (быстрота откачки до 255 л/с, до давления 10-10 мбар) • Лабораторные высоковакуумные откачные посты с диффузионным насосом (быстрота откачки до 280 л/с, до давления 10-8 мбар)

8. Технологические системы • Модули для нейтрализации технологических газов в полупроводниковых процессах: модули тепловой переработки, влажные скрубберы, газовые реакционные колонны, обработка пирофорных веществ, системы поддержания температуры и др. • Установки для нанесения тонких пленок компании BOC Edwards предназначены для исследовательских, конструкторских и опытных применений в любых областях науки и производства. Модульная конструкция предусматривает широкие возможности для перестройки (модернизации) системы, позволяя исследователю идти в ногу с самыми передовыми технологиями. • Установки плазмохимического травления (AOE, ASE, ISP, RIE, PECVD, XeF2) и нанесения алмазоподобных покрытий

9. Вакуумные измерения • Полный спектр вакуумметров от атмосферы до 10-11 мм рт.ст. Точность до 0,15% от измерения. Питание 24 В, аналоговый выход 0..10 В. Длина кабеля до 100 м. ВНЕСЕНЫ В РЕЕСТР СРЕДСТВ ИЗМЕРЕНИЯ. • Контроллеры и дисплеи: до 6-ти любых вакуумметров одновременно, связь с ЭВМ. Настольное и встраиваемое исполнение. Возможность управления турбо- и форнасосом.

10. Вакуумная и газовая арматура • Электромагнитные, пневматические и ручные клапаны, затворы для низкого и высокого вакуума. Натекатели, клапаны напуска, шаровые клапаны. Условный проход до 1,5 м. Количество циклов до 5 000 000. Полностью металлические прогреваемые клапаны. • Интеллектуальные высоковакуумные клапаны и затворы с обратной связью. Управление проводимостью. • Промышленные вакуумные и газовые клапана с любым типом актуаторов. Управление проводимостью клапана. Стандартный ряд до 1,5 м. Измерители и регуляторы расхода газа • Полный спектр вакуумной крепежной арматуры всех распространенных типоразмеров (NW, CF, ISO, ASA). Гибкие трубопроводы и сильфоны. Смотровые окна. Большой ассортимент постоянно присутствует НА СКЛАДЕ. • Углеводородные и синтетические вакуумные масла для форвакуумных и диффузионных наосов. Вакуумные смазки. Большой ассортимент постоянно присутствует НА СКЛАДЕ. • Вакуумные электрические вводы. Вводы для подачи жидкости. Механические вводы и манипуляторы. • Фильтры, фильтрующие элементы, глушители для вакуумного и газодувного оборудования