ОАО «Научно-исследовательский институт программных средств»

2. ОАО «Научно-исследовательский институт программных средств» Результаты выполнения первого этапа ОКР “Разработка базовой технологии создания плат электрически перестраиваемых фазовращателей СВЧ и КВЧ диапазонов на основе керамики, планарных многощелевых линий передачи с сегнетоэлектрической пленкой (шифр «КМЩФ-СВЧ») в рамках Федеральной целевой программы «Развитие электронной компонентной базы и радиоэлектроники» на 2008-2015 годы” Докладчики: А.В. Экало, В.В. Романцев, А.А. Иванов

3. ОАО «Научно-исследовательский институт программных средств» Цели 1-го этапа ОКР: 1. Разработка технического проекта. 2. Изготовление макета плат электрически перестраиваемого фазовращателя

4. ОАО «Научно-исследовательский институт программных средств» • Результаты первого этапа ОКР: • Разработан технический проект включающий: • - расчет конструкций электрически перестраиваемых температурностабильных фазовращателей; • разработку последовательности фаз технологического процесса, для создания температурно-стабильной структуры фазовращателя и спекания диэлектрической структуры с низкотемпературной керамикой; • разработку конструкторской и технологической документация технического проекта литеры «Т»; • проведение патентных исследований по определению тенденций развития области конструктивной реализации сегнетоэлектрических фазовращателей для СВЧ и КВЧ диапазонов • Изготовлена измерительная оснастка для определения электрофизических свойств тонкопленочных сегнетоэлектрических структур в СВЧ диапазоне; • 3. Изготовлен макет платы электрически перестраиваемого фазовращателя отражательного типа. • 5. Проведены лабораторные испытания макета платы электрически перестраиваемого фазовращателя • на соответствие ТЗ.

5. ОАО «Научно-исследовательский институт программных средств» Схемы деления изделия а) Фазовращатель отражательного типа Фазовращатель проходного типа

6. 4 Выращивание буферных и электродных слоев 3 . Подготовка мишеней и подложек 1. Электродинамический анализ 6 Осаждение метал. слоев (DC-распыление) 5 Выращивание BSTO слоев (ВЧ-распыление) 2 Проектирование фотошаблонов, Разработка конструкции 10. Аналит. диагностика (РДА, РИСЭ) 7 Фотолитография 8 Химическое (или) ионное травление 12 Разработка устройства схемы управления . 11. СВЧ и ВЧ измерения C(U,T), tgd (U,T), I(U) 9. Сборка платы, испытание 13. Изготовление и согласование схемы управления. 16. Сравнительный анализ, выводы 15. Определение параметров СВЧ системы 14. Сборка и измерения параметров А D E С F B А ОАО «Научно-исследовательский институт программных средств» Полный технологический цикл проектирования и изготовления плат электрически перестраиваемых фазовращателей 6

7. ОАО «Научно-исследовательский институт программных средств» Общий вид макетов плат фазовращателей Отражательного типа Проходного типа 7

8. ОАО «Научно-исследовательский институт программных средств» Общий вид макета фазовращателя отражательного типа 8

9. ОАО «Научно-исследовательский институт программных средств» Тактико-технические характеристики фазовращателя 9

10. ОАО «Научно-исследовательский институт программных средств» Сравнительные оценки характеристик макета фазовращателя с его аналогами на ферритах и полупроводниках • Уменьшение массогабаритных характеристик – примерно в 2-3 раза; • Низкое потреблением энергии по цепям управления ~8 - 10 раз; • Высокая скорость переключения ~7 - 10- раз; • 4. Низкий уровень фазовых шумов; • 5. Высокая технологичность и ремонтопригодность; • 6. Расширенные функциональные возможности. 10

11. ОАО «Научно-исследовательский институт программных средств» • Области применения: • В качестве элементов апертуры ФАР и АФАР РЛС устанавливаемых на объектах воздушного, морского, наземного базирования; • В качестве ФАР для применения в автомобильных антистолкновительных радарах; • В навигационных и телекоммуникационных системах. 11

12. ОАО «Научно-исследовательский институт программных средств» Благодарим за внимание!