دانشگاه آزاد اسلامي واحد كرج

1. دانشگاه آزاد اسلامي واحد كرج

3. پایان نامه های كارشناسي ارشد

4. گروه : علوم پايه

5. رشته تحصيلي : اتمي حالت جامد

6. مشخصه يابي لايه هاي Tix AL1-x N تهيه شده به روش پوشش دهي يوني

7. نام و نام خانوادگي دانشجو : مهدي منوچهريان ، شماره دانشجويي : 86324017565

8. به راهنمايي :مجيد مجتهدزاده لاريجاني • چكيده: • در اِين تحقِيق لاِيه هاِي N x - ?Al xTi به روش رسوب فِيزِيکِي بخار(PVD) و با سِيستم پوشش دهِي ِيونِي • (Coatig Ion) وبا استفاده ازتفنگ تخلِيه کاتدِي (gun - HCD) مدل1800 - DLKD در دماِيC 400 برروِي • استِيل 304 انباشت شده اند. براِي مشخصه ِيابِي نمونه ها ازآنالِيزEDX براِي تعِيِين استوکِيومترِي، ازمِيکروسکوپ • الکترونِي روبشِي (SEM) جهت بررسِي مورفولوژِي، ازآنالِيزتفرق اشعه X(XRD) براِي تعِيِين فازهاِي کرِيستالِي • وازمِيکروسکوپ نِيروِي اتمِي (AFM)براِي تعِيِين زبرِي سطح استفاده شده است . باانجام تست خوردگِي و آنالِيز • منحنِي پلارِيزاسِيون پتانسِيودِينامِيکِي مقاومت به خوردگِي نمونه هاِي مختلف مورد بررسِي قرارگرفته است وسختِي • نمونه ها با استفاده ازتست سختِي سنج وِيکرزبا وزنه 10 گرمِي اندازه گرفته شده است. نتاِيجEDX نشان مِي دهدکه • 0/9>x>صفر است، نتاِيج XRD نشان مِي دهد که اِيجاد فازهاِي کرِيستالِي مختلفِي نظِير N (x - 1Al xTi) و TiN و • AlN در نمونه هاِي مختلف بشدت به مقادِير x وابسته است ? بطورِيکه براِي0/9 x ? تنها فاز کرِيستالِي AlN • قابل تشخِيص مِي باشد. نتاِيج AFM ،وابستگِي نحوه رشد دانه هاِي کرِيستالِي و مِيزان زبرِي را به فازهاِي تشکِيل • شده و درنتِيجه به مقدار x بخوبِي نشان مِي دهد. لازم به ذکر است که ِيکنواختِي شکل گِيرِي لاِيه ها وتعِيِين مقدار x • به کمک آنالِيزهاِي SEM و EDX ، به ترتِيب مورد مطالعه قرار گرفته است. تست خوردگِي کاهش مقا ومت به • خوردگِي را درنمونه هاِيِي که فازAlN به تنهاِيِي وِيا همزمان با فاز N (x - 1Al xTi) براِي مقادِير 0/24 x شکل • گرفته اند نشان مِي دهد. نتاِيج تست سختِي سنجِي نشان مِي دهد که با افزاِيش مقدار x تا 0/32 سختِي افزاِيش پِيدا • ولِي با افزاِيش بِيشتر x بدلِيل تشکِيل فاز AlN سختِي کاهش پِيدا مِي کند.