１．特 徴

1. １．特　徴 • 自動キャリブレーション • あらゆるカメラ向きに対応 • 様々な軸テーブルに対応 • 軸テーブルと直接接続して制御する 　（モーションユニット内蔵） • 一回目から高精度アライメント • 完成度の高いアライメントソフトが 　内蔵されており、装置の稼動が早い • モニター画面を見ながら、簡単に操作 • 選べるサーチ手法 • 高速処理

2. 自動Calibration FAST特許 • 説明：カメラの取り付け位置を自動的に高精　　　　　　　度検出する機能 Calibration基準： 検出基準Markの位置（図）ＵＶＷテーブル： 白い→モーター停止水色→モーター動作 ＋：テーブルの中心

3. Calibration操作 X方向シフト Y方向シフト ＋θ回転 マーク中心 ＋θ回転 マーク中心 －θ回転 －θ回転

4. あらゆるカメラ向きに対応 光軸向き不問 光軸の傾き不問 位置不問 光軸周りの回転不問 視野の違い不問 1～4台

5. Ｙ２ Ｘ１ Ｘ２ Ｙ１ 様々な軸テーブルに対応 XYθテーブル UVWテーブル Xθ+Yテーブル 4軸テーブル

6. Ｙ２ Ｘ１ Ｘ２ Ｙ１ 4軸テーブル特徴 全方向で高剛性を保持 テーブル高精度移動 新アルゴリズムを搭載

7. FV-aligner XPe/P3-800 (モニター) カメラ＆レンズ (PLC) UNT モータ ドライバ トラック ボール (4軸ステージ) (FV-aligner-UNT) 軸テーブルを直接制御

8. ガラス基板Ⅱ シール剤 液晶画面 ガラス基板Ⅰ カラーフィルター 電極 液 晶 フレキシブル基板 2．LCD 液晶パネルの応用事例 • 液晶画面断面図

9. ガラス基板 マスク ガラス基板 ステージ 2.1　露光機 － 工　程 － 1.ステージにガラス基板を供給 2.ターゲットとなるマークを検出 3.アライメント 4.最終精度を確認 5.ＵＶ照射して露光 6.ガラス基板を排出 UVランプ カメラ

10. 吸着ヘッド ガラス基板 ガラス基板 シール剤 ガラス基板Ⅰ ステージ 2.2　ガラス貼合機 － 工　程 － 1.ガラス基盤のマークをカメラ 　視野に入れる 2.ターゲットとなるマークを検出 3.ステージにガラス基板Ⅰを供給　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 4.ガラス基板Ⅰのマークを検出＆ 　アライメント 5.ガラス基板ⅠⅡを貼り合わせ 6.ガラス基板ⅠⅡを排出 カメラ

11. ガラス基板ⅠⅡ ガラス基板ⅠⅡ 検査機 ガラス基板 ガラス基板 ステージ 2.3　点灯検査機 － 工　程 － 1.ターゲットとなるマークを検出 2.ガラス基板ⅠⅡをステージ上に 　供給 3.ガラス基板ⅠⅡのマークを検出 　＆アライメント 4.点灯検査 5.ステージからガラス基板ⅠⅡを 　排出

12. ガラス基板ⅠⅡ ガラス基板ⅠⅡ ステージ 2.4ACF貼合機 － 工　程 － 1.サンプルガラス基板のアライメントマークをターゲット 4.導電性テープを貼り付け 2.ガラス基板ⅠⅡをステージ上に供給　　　　　 3.アライメントマークを検出＆アライメント 5.ガラス基板①②を排出 加熱加圧ヘッド カメラ 導電性テープ

13. 2.5　その他 • シール剤塗布機 • ダイジングカット機 • スクリーン印刷機 • FPC貼付機 • 基盤穴明機 • COGマウント

14. 指示 指示 カメラ FV-aligner-ENG シーケンサ等 カメラ FV-aligner-UNT シーケンサ等 移動量 軸ドライバ ＆ モータ 軸ドライバ ＆ モータ 3.　システム構成例 FV-aligner-ENG ・位置合わせに必要な数値だけを出力する画像処理エンジン ・軸制御部分は自由に構築可能 FV-aligner-UNT ・画像認識から移動量をパルス数に換算し、軸制御までを実施