8 . 静電気 관리 필수 계측기

1. 8. 静電気관리 필수 계측기 (1) 디바이스등의 방전전하량을 측정하는 쿨롱메타 (2) 인체의 대전전위를 파악하는 인체전위계 (3) 워크벤치 및대전상태를 측정하는 워크벤치모니터 (4) 이온아이저의 제전효과, 이온 바란스 특성을 조사하는 대기이온 모니터(CPM)

2. 9. 정전기와 전하량(쿨롱) 정전기를 다른 말로 표현하면 정지해 있는 전하의 량 이다. 정지되어 있는 전하는 가만히 있는것이 아니라 서로간의 힘이 작용하여 정지하고 있는 상태이며이 힘을 정전기력이라 한다. 정전기력을 밝힌 사람은 쿨롱이며 이 법칙을 쿨롱법칙이라고 한다. 정전하량 (정전 용량) 그림과 같이두개의 전극판 사이에 유전체를 넣고전압을가하면 분극작용에 의하여전극에는 정전기가축적하게된다.

3. 정전기 측정방법-보유하고 계신 정전기 측정 메뉴얼을 참고바랍니다. 10.정전기 측정방법

4. 이영역을 측정하고 있다 대전물 측정영역 대전물 표면전위계 표면전위계 측정영역 측정물이 충분이 클 경우 측정물이 적을 경우 반도체디바이스 표면의 대전전위등은 면적이 아주 적으므로, 일반적인 핸디타이프의 표면전위계로 직접 측정해도,정확한 대전전위를 얻는 것은 곤란하다.( 실제보다 낮은치로 된다) 11.표면전위계(정전기 CHECK기) 측정 범위

5. 측정물과 표면전위계과의 관계 측정물과 표면전위계과의 관계 측정물과 표면전위계과의 관계 표 시 전 위 (v) 측정물 정전기 check기 측정시 측정물과의 거리에 따라 상당한 데이타 차이를 볼수 있다. 따라서 측정시 거리 조정이 중요하다.(5㎝유지) 측정물과 표면전위계와의 거리 (x) 피측정물의 표면전위계과의 거리 12.표면전위계(정전기 CHECK기) 측정 거리

6. ●정전기관리:30V 이하 구 분 대 상 관리 규격 CHECK방법 CHECK 주기 EARTH BAND 접지저항:750k-2MΩ TESTOR 작업자 정전 신발 900K-100MΩ 신발CHECKOR 일일점검 온도:25±3℃ 현장 온습도관리 온습도계 습도 :45-70% 고데기 접지저항:5Ω이하 TESTOR LD단에 직접접촉고데기 GND와 고데기끝 접지저항:5Ω이하 TESTOR 고데기 콘센드와 고데기끝 절연저항 :10MΩ이상 TESTOR 접지저항:10Ω이하 TESTOR 설비 각종계측기 주간점검 쿨롱메타 전하량:1nC이하 750K-2MΩ TESTOR 치공구 각종치공구 쿨롱메타 전하량:1nC이하 이온아이저 체크기 청소와 발란스 조정 10sec이내 제전 이온라이즈 도전매트 메가 오옴 메타 작업대 접지저항:750k-100MΩ 월간점검 선반 도전매트 메가 오옴 메타 접지저항:750k-100MΩ 바닥 도전매트 메가 오옴 메타 접지저항:750k-100MΩ 월간 점검 LD전원 Surge전류 10mA이하 SCOPE로 측정 13.정전기 관리 매뉴얼