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半导体的导电性. 欧姆定律. 微观粒子的运动. 漂移速度和迁移率. 半导体的电导率和迁移率. 载流子散射. 迁移率与杂质和温度的关系. 1 、欧姆定律. I=V/ R ( 4-1 ) R=ρL/S ; ( 4-2 ) ρ: 电阻率 , Ω·m ; Ω·cm L :导体的长度; S :截面积 σ=1/ρ ( 4-3 ) σ :电导率, Ω -1 ·cm -1 在一定的 V , L , S 下,不同的导体的导电性能是由电阻率或电导率决定的。. 1 、欧姆定律.
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半导体的导电性 • 欧姆定律 • 微观粒子的运动 • 漂移速度和迁移率 • 半导体的电导率和迁移率 • 载流子散射 • 迁移率与杂质和温度的关系
1、欧姆定律 I=V/ R (4-1) R=ρL/S; (4-2) ρ: 电阻率 , Ω·m ;Ω·cm L:导体的长度;S:截面积 σ=1/ρ (4-3) σ:电导率,Ω-1·cm-1 在一定的V,L,S下,不同的导体的导电性能是由电阻率或电导率决定的。
1、欧姆定律 R=ρL/S 代入 I=V/ R 得 : I= VS/ρL= VSσ/L=σ· S·E 电流密度:J= I/S 欧姆定律微分形式: 电流密度:J=σ·|E| (4-7) |E|=V/L E:V/cm; J:A/cm2 在一定的电场强度下,J由电导率决定。
2、微观粒子的运动 微观粒子的平均热运动动能=3/2kT k:波尔兹曼常数,1.380×10-23 J/K; 8.62×10-5eV/K 1/2mV2=3/2kT; 自由电子300 K温度下: V≈1 .2×107cm/s=1 .2×105m/s
3、漂移速度和迁移率 电子和空穴也在做高速的热运动。 漂移运动:电子或空穴在电场作用下的定向运动。 导电性与电子或空穴的漂移运动有关。 J:单位时间通过垂直于电流 方向的单位面积的电子电量 电流密度:J=-nqVd (4-9) Vd:平均漂移速度 由:J=σ·|E| Vd=μ|E| (4-10) J=nqμ|E| 微观情况下,电导率: σ= nqμ 迁移率:μ,单位电场强度下电子的平均定向运动速度,cm2/V·s
3、半导体的电导率和迁移率 导电性:漂移运动 电流密度:J= Jn+Jp (4-14) =( nqμn+pqμp)|E| n、p:自由电子和自由空穴的 浓度。 由:J=σ·|E| 电导率:σ= nqμn+pqμp(4-15) 对于n型半导体,n》p:σ= nqμn (4-16) 对于p型半导体,p》n:σ= pqμp(4-17) 对于本征半导体:σ= nqμn+pqμp(4-18) 在一定电场强度下,半导体的导电性由载流子浓度和载流子迁移率决定的。
3、半导体的电导率和迁移率 • 迁移率:单位电场强度下电子的平均定向运动速度。 在不同的材料里,电子和空穴的迁移率是不同的。表4-1,98页 • 在不同的掺杂浓度或温度下,材料的迁移率也不一样 • n-Si;5×1015cm-3;μn=1250 cm2/V·s; • 9×1016cm-3;μn=700 cm2/V·s; • 迁移率计算: • 漂移速度: Vd=μ|E|; a= Eq/m* • 载流子与原子碰撞前的运动速度 • V=at= Eq/m*·t; • 平均漂移运动速度 • V =1/2(0+ Eq/m*·t)=1/2 Eq/m*·t
3、半导体的电导率和迁移率 • 由于载流子的散射具有偶然性,两次散射间的自由运动时间t并不相同,改写成: • V = Eq/m*·τ;τ:平均自由运动时间。 • τ= 1/P, (4-39) • τ:散射几率的倒数: P:散射几率 • 由 V=μE, 得: • μ= qτ/m*; • 电子迁移率:μn= qτn/mn*; (4-43) • 空穴迁移率:μp= qτp/mp* (4-44) • 迁移率受自由电子或空穴的有效质量决定。 • 不同的半导体材料,有效质量不同,迁移率也不同。 • 自由电子的迁移率一般比空穴迁移率大。 • 迁移率还受平均自由运动时间的影响,τ越长,迁移率也就越高。
3、半导体的电导率和迁移率 • 半导体的电导率 对于n型半导体;σ= nqμn = nq2τn/mn* (4-45) 对于p型半导体:σ= pqμp = pq2τp/mp* 对本征半导体: σ= nqμn+pqμp = nq2τn/mn* + pq 2τp/mp* • 载流子散射 1)电离杂质散射:载流子与电离杂质由于库仑作用引起的散射。
3、半导体的电导率和迁移率 杂质浓度有关:杂质浓度越大,散射越强,迁移率 越低。 与温度有关:温度越大,载流子运动快,散射小,温度低,载流子运动慢,散射大。 P ∝Ni/ T3/2(4-19) τi ∝T3/2/Ni 2)晶格振动散射:由于晶格原子振动引起的载流子散射 温度越高,晶格振动越剧烈,散射越强。 声学波散射:P∝ T3/2 (4-29) τs ∝T-3/2 温度高,振动剧烈,散射强,平均自由运动时间短。 光学波散射: 公式(4-30) v1:纵光学波振动频率;hvl:纵光学声子的能量
3、半导体的电导率和迁移率 3)其它因素引起的散射: 中性杂质散射;位错散射;等能谷间散射、载流子之间的散射。 • 迁移率与杂质和温度的关系 电离杂质散射: P ∝ Ni/ T3/2;τi ∝ T3/2/Ni (4-51) 声学波散射: P ∝ T3/2; τs ∝ T-3/2(4-52) 光学波散射: P ∝1/[exp(hvl/K0T)-1];τo ∝{exp(hvl/K0T)-1} (4-53) 根据μ= qτ/m*,得: 电离杂质散射: μi ∝ T3/2/Ni (4-54) 声学波散射: μs ∝ T-3/2(4-55) 光学波散射: μo ∝{exp(hvl/K0T)-1} (4-56)
3、半导体的电导率和迁移率 任何时候,都有几种散射机理存在,因此有: 载流子平均自由运动时间:1/τ=1/τi+1/τs+1/τo+… (4-58) 迁移率: 1/μ=1/μi+1/μs+1/μo+.. (4-59)