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真空晨会报告

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真空晨会报告

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Presentation Transcript

  1. 真空晨会报告 2009-06-13

  2. 目前真空系统状态 • 内真空:2台主分子泵+3CP; • 外真空:2台分子泵; • 低杂波:1套分子泵机组; • 目前烘烤: • 感应烘烤:0 • 内衬烘烤:20 A • 管道烘烤:100 V

  3. 主要工作 • He GDC • 05:20 - 07:00 • 0.6 Pa,2 A

  4. 装置各处真空度演变

  5. 内真空 质谱