1 / 13

ỨNG DỤNG CỦA MÀNG HÓA LÀM DỤNG CỤ CẢM BIẾN KHÍ

ỨNG DỤNG CỦA MÀNG HÓA LÀM DỤNG CỤ CẢM BIẾN KHÍ. HV: VŨ THU HIỀN. ĐỊNH NGHĨA. Cảm biến là thiết bị nhận tín hiệu hoặc sự kích thích từ đối tượng và chuyển thành tín hiệu điện Tính chất quan trọng của vật liệu cảm biến bán dẫn, đó là sự thay đổi tính chất điện khi tiếp xúc với khí cần dùng.

coen
Download Presentation

ỨNG DỤNG CỦA MÀNG HÓA LÀM DỤNG CỤ CẢM BIẾN KHÍ

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. ỨNG DỤNG CỦA MÀNG HÓA LÀM DỤNG CỤ CẢM BIẾN KHÍ HV: VŨ THU HIỀN

  2. ĐỊNH NGHĨA • Cảm biến là thiết bị nhận tín hiệu hoặc sự kích thích từ đối tượng và chuyển thành tín hiệu điện • Tính chất quan trọng của vật liệu cảm biến bán dẫn, đó là sự thay đổi tính chất điện khi tiếp xúc với khí cần dùng

  3. CẤU TẠO • Bao gồm màng oxit bán dẫn phủ trên đế chịu nhiệt có thể là thủy tinh hoặc kim loại, hai điện cực để thu nhận tín hiệu thay đổi điện trở khi khí tiếp xúc với màng oxit bán dẫn

  4. NGUYÊN TẮC HOẠT ĐỘNG(cơ chế dò khí bề mặt) • Hấp phụ và khuếch tán những phân tử khí trên bề mặt oxit bán dẫn • Phản ứng của các phân tử khí dò và các phân tử bị hấp phụ hóa học trên bề mặt cảm biến • Sự hấp phụ dẫn đến việc hình thành vùng nghèo điện tích gần bề mặt làm tăng khả năng dò khí cảm biến

  5. MỘT SỐ ĐẶC TRƯNG CƠ BẢN CỦA CẢM BIẾN • Độ nhạy • Tính lọc lựa khí • Thời gian đáp ứng/thời gian hồi phục

  6. : điện trở của cảm biến khi không có khí dò. : điện trở của cảm biến khi có khí dò. ĐỘ NHẠY • Độ nhạy là tỉ lệ của điện trở của mẫu đo trong không khí với điện trở trong môi trường có khí. • Đối với khí khử : • Đối với khí oxi hóa :

  7. TÍNH LỌC LỰA KHÍ • Độ nhạy của màng SnO2/Pt theo nhiệt độ đối với các khí • Màng Sn:Pt tạo bằng phương pháp chùm điện tử. • (b) màng Sn)2:Pt tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng

  8. CÁC YẾU TỐ ẢNH HƯỞNG ĐẾN ĐỘ NHẠY KHÍ • Nhiệt độ • Cấu trúc màng xếp chặt và cấu trúc màng xốp • Kích thước hạt • Sự pha tạp, vai trò của chất xúc tác

  9. NHIỆT ĐỘ

  10. CẤU TRÚC MÀNG XẾP CHẶT Vậy: độ nhạy của màng thay đổi rất ít hoặc không thay đổi

  11. CẤU TRÚC MÀNG XỐP Vậy: điện trở của cấu trúc xốp rất lớn . Do đó dộ nhạy của màng có cấu trúc xốp cao hơn màng có cấu trúc xếp chặt.

  12. KÍCH THƯỚC HẠT • Phương trình Arrchenius: : rào thế năng giữa hai hạt kề nhau : hệ số dẫn khối khí

More Related