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奈米定位平台 [ 滯滑式壓電 ]. 授課教授 : 朱志良 老師 班級 : 碩研機械一甲 姓名 : 陳奕訢 學號 : MA210108. 常見平台之種類. 壓電馬達定位平台 滯滑式 定位平台 衝擊式定位平台 蠕蠖式定位平台 六自由度定位平台 行走式定位平台. 滯滑式之原理. 摩擦滯滑 是利用 慣性力 與 摩擦力 搭配的原理,以鋸齒波形輸入壓電致動器來驅動平台移動。. 滯滑式之原理. 滯滑式之原理. 實體圖. 應用. IC 步進機 精密加工機 光纖與波導器自動對準系統 奈米三次元量測儀. 奈米三次元量測儀. 結論.
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奈米定位平台[滯滑式壓電] 授課教授 :朱志良老師 班級 : 碩研機械一甲 姓名 : 陳奕訢 學號 :MA210108
常見平台之種類 • 壓電馬達定位平台 • 滯滑式定位平台 • 衝擊式定位平台 • 蠕蠖式定位平台 • 六自由度定位平台 • 行走式定位平台
滯滑式之原理 • 摩擦滯滑是利用慣性力與摩擦力搭配的原理,以鋸齒波形輸入壓電致動器來驅動平台移動。
應用 • IC步進機 • 精密加工機 • 光纖與波導器自動對準系統 • 奈米三次元量測儀 奈米三次元量測儀
結論 • 滯滑式定位平台原理利用滑塊的慣性力,配合滑塊與摩擦材料間的摩擦滯滑現象,來達到滑塊長行程位移之目標。 • 摩擦係數大小來自於正向力,因此滯滑式定位平台,會因摩擦係數不同,而有不同的驅動。 • 滯滑式定位平台,會因摩擦力過大會導致移動失效,所以仍有改進的空間。
參考文獻 • 奈米定位平台量測技術-摩擦滯滑之壓電致動器 (http://www.doc88.com/p-983461566775.html) • http://eshare.stust.edu.tw/EshareFile/2009_11/2009_11_9392c464.pdf • 具直線運動之長行程奈米定位平台 作者: 朱志良 教授 • 范盛豪,朱志良,”高精密長行程直線定位裝置” ,中華民國專利M254699號,2003。 • 台灣大學精密製造中心 http://www.me.ntu.edu.tw/ntupmc/index01.htm • 部分引用學長的報告。