fizyczne podstawy mikrotechnologii n.
Download
Skip this Video
Loading SlideShow in 5 Seconds..
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII PowerPoint Presentation
Download Presentation
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

Loading in 2 Seconds...

play fullscreen
1 / 221

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII - PowerPoint PPT Presentation


  • 126 Views
  • Uploaded on

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl). FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII. Dr inż. Krzysztof Waczyński Zakład Mikroelektroniki i Biotechnologii Instytut Elektroniki

loader
I am the owner, or an agent authorized to act on behalf of the owner, of the copyrighted work described.
capcha
Download Presentation

PowerPoint Slideshow about 'FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII' - cain


An Image/Link below is provided (as is) to download presentation

Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author.While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server.


- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - E N D - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -
Presentation Transcript
fizyczne podstawy mikrotechnologii

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

Dr inż. Krzysztof Waczyński

Zakład Mikroelektroniki i Biotechnologii

Instytut Elektroniki

Politechnika Śląska, Gliwice

fizyczne podstawy mikrotechnologii1

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRÓŻNIA

Własności gazów rozrzedzonych, metody wytwarzania próżni, metody pomiaru próżni, wykorzystanie próżni w technologiach mikroelektronicznych

fizyczne podstawy mikrotechnologii2

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

STRUMIENIE CZĄSTEK OBOJĘTNYCH

Źródła par,charakterystyki emisyjne źródeł par, zastosowanie strumieni cząstek molekularnych w technologii elektronowej (wytwarzanie struktur cienkowarstwowych, wytwarzanie struktur epitaksjalnych)

fizyczne podstawy mikrotechnologii3

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

FALE ELEKTROMAGNETYCZNE

Widmo fal elektromagnetycznych – metodywytwarzania fal elektromagnetycznych o określonej długości fali, podstawowe własności fal elektromagnetycznych (dyfrakcja, interferencja), oddziaływanie falielektromagnetycznej z ciałem stałym, wykorzystanie fali elektromagnetycznej w technologiach mikroelektronicznych

fizyczne podstawy mikrotechnologii4

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WIĄZKA ELEKTRONOWA

Wytwarzanie i charakterystyka wiązki elektronowej, (emisja elektronów, termokatody, kinetyka elektronów, układy sterowania wiązką elektronową), oddziaływanie wiązki elektronowej na ciało stałe, zastosowanie wiązki elektronowej w technologiach mikroelektronicznych, (systemy elektronolitografii, urządzenia z wiązką elektronową jako źródłem ciepła)

fizyczne podstawy mikrotechnologii5

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WIĄZKA JONOWA

Wytwarzanie i charakterystyka wiązki jonowej (źródła jonów, układy sterowania wiązką jonową), oddziaływanie wiązki jonowej z ciałem stałym (wpływ wiązki jonów na strukturalne własności rezystów, oddziaływanie wiązki jonowej z amorficznym ciałem stałym oraz z monokryształem, trawienie powierzchni), zastosowanie wiązki jonowej w technologiach mikroelektronicznych (jonolitografia, domieszkowanie półprzewodników)

fizyczne podstawy mikrotechnologii6

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PLAZMA

Sposoby wytwarzania plazmy, oddziaływanie składników plazmy z ciałem stałym, proces osadzania powłok. Przenoszenie masy i energii do podłoża, charakterystyki emisyjne źródeł, mechanizmy trawienia plazmowego, zastosowanie plazmy w mikrotechnologii (osadzanie warstw metodą rozpylania katodowego, suche trawienie)

fizyczne podstawy mikrotechnologii7

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZJAWISKA NA POWIERZCHNI CIAŁA STAŁEGO

Absorpcja, adsorpcja i desorpcja gazu, kondensacja, fizyczne podstawy utleniania powierzchni materiałów półprzewodnikowych, fizyczne podstawy epitaksji

fizyczne podstawy mikrotechnologii8

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

DYFUZJA W CIAŁACH STAŁYCH

Opis dyfuzji, matematyczny opis dyfuzji, atomowe mechanizmy dyfuzji w monokryształach, zjawisko dyfuzji w technologii elektronowej (przenikanie gazu przez ciała stałe), domieszkowanie dyfuzyjne półprzewodników

fizyczne podstawy mikrotechnologii9

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRÓŻNIA

fizyczne podstawy mikrotechnologii10

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRÓŻNIA

Dosłowne znaczenie:

„Przestrzeń całkowicie pozbawiona materii”

Znaczenie techniczne:

„Stan gazu, którego koncentracja lub ciśnienie są niższe od ciśnienia lub koncentracji powietrza atmosferycznego tuż przy powierzchni Ziemi”

fizyczne podstawy mikrotechnologii11

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRÓŻNIA

POWIETRZE ATMOSFERYCZNE

KOMORA PRÓŻNIOWA

PRÓŻNIA – OBSZAR OBNIŻONEGO CIŚNIENIA

fizyczne podstawy mikrotechnologii12

Pompy próżniowe

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRÓŻNIA

POWIETRZE ATMOSFERYCZNE

KOMORA PRÓŻNIOWA

PRÓŻNIA – OBSZAR OBNIŻONEGO CIŚNIENIA

fizyczne podstawy mikrotechnologii13

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI

fizyczne podstawy mikrotechnologii14

Pompy próżniowe

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI

Otrzymywanie bardzo czystych materiałów, szczególnie takich, które łatwo reagują chemicznie z gazami zawartymi w atmosferze. Są to techniki wytopów próżniowych, czyszczenia strefowego

fizyczne podstawy mikrotechnologii15

Pompy próżniowe

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI

Usuwanie gazów i składników lotnych rozpuszczonych w objętości lub zaadsorbowanych na powierzchni. Destylacja molekularna, impregnacja

fizyczne podstawy mikrotechnologii16

Pompy próżniowe

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI

Wytwarzanie warstw cienkich o określonej konfiguracji i małej ilości zanieczyszczeń. Przygotowywanie „czystych”powierzchni. Naparowywanie, napylanie w technice warstw cienkich, czyszczenie jonowe

fizyczne podstawy mikrotechnologii17

Pompy próżniowe

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI

Wytwarzanie płyt CD, pokrywanie warstwami przeciwodbiciowymi (warstwami antyrefleksyjnymi) szyb

fizyczne podstawy mikrotechnologii18

Pompy próżniowe

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI

Pomiary spektroskopowe powierzchniowych własności półprzewodników

fizyczne podstawy mikrotechnologii19

Pompy próżniowe

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI

Procesy technologiczne w technologii wytwarzania struktur półprzewodnikowych. Implantacja jonów, elektronolitografia, jonolitografia

fizyczne podstawy mikrotechnologii20

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRÓŻNIA

OPIS FIZYCZNY

fizyczne podstawy mikrotechnologii21

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRÓŻNIA

Próżnia może być scharakteryzowana przy wykorzystaniu jednostek opisujących ciśnienie

Ciśnienie niskie

próżnia wysoka

próżnia niska

Ciśnienie wysokie

fizyczne podstawy mikrotechnologii22

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

fizyczne podstawy mikrotechnologii23

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA - SI

Jednostka ciśnienia 1 pascal (SI)

1N

2

1m

fizyczne podstawy mikrotechnologii24

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

Tor (Tr) mm słupa rtęci Hg 1Tr

Ciśnienie wywierane przez słup rtęci o wysokości 1mm

rtęć (Hg)

1mm

fizyczne podstawy mikrotechnologii25

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

micron μ1mTr

Ciśnienie wywierane przez słup rtęci o wysokości 1·10 m

-6

1·10 m

-6

fizyczne podstawy mikrotechnologii26

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

Milimetry słupa wody 1mmWS

woda (H O)

Ciśnienie wywierane przez słup wody o wysokości 1mm

2

1 mm

fizyczne podstawy mikrotechnologii27

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

Atmosfera fizyczna (atm)1 atm

Ciśnienie wywierane przez słup rtęci o wysokości 760mm

760mm

fizyczne podstawy mikrotechnologii28

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

Atmosfera techniczna (at)1 at

1kG

2

1cm

fizyczne podstawy mikrotechnologii29

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

Mikrobar (baria)1 μbar

1dyna

2

1cm

fizyczne podstawy mikrotechnologii30

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

milibar 1 mbar

3

10 dyn

2

1cm

fizyczne podstawy mikrotechnologii31

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

6

10 dyn

1bar

2

1cm

fizyczne podstawy mikrotechnologii32

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

-5

-3

-6

-5

5

4

2

-3

-3

-3

1.33·10

5

4

4

4

-2

-2

-5

-4

fizyczne podstawy mikrotechnologii33

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

fizyczne podstawy mikrotechnologii34

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

PROGNOZA POGODY

fizyczne podstawy mikrotechnologii35

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

Atmosfera fizyczna

Atmosfera techniczna

1atm

1at

fizyczne podstawy mikrotechnologii36

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

Atmosfera fizyczna 1 atm

Hg

H2O

10m

8m

6m

Ciśnienie wywierane przez słup rtęci o wysokości 0.76mlub słup wody o wysokości 10.3m

4m

2m

fizyczne podstawy mikrotechnologii37

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

fizyczne podstawy mikrotechnologii38

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

Spotykane sporadycznie – w ang. literaturze

fizyczne podstawy mikrotechnologii39

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PODZIAŁ ZAKRESU PODCIŚNIEŃ PRÓŻNI

fizyczne podstawy mikrotechnologii40

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PODZIAŁ ZAKRESU PODCIŚNIEŃ PRÓŻNI

-3

-1

-3

-3

-7

-1

-6

-3

-8

-7

-6

-8

fizyczne podstawy mikrotechnologii41

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

POWIETRZE ATMOSFERYCZNE

fizyczne podstawy mikrotechnologii42

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

SKŁAD ATMOSFERY

fizyczne podstawy mikrotechnologii43

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

SKŁAD ATMOSFERY

Wilgotność względna 50% przy temperaturze 20°C

-3

-3

-5

-5

-4

-4

fizyczne podstawy mikrotechnologii44

N2

O2

Ar

CO2

Ne

212mbar

9.47mbar

0.31mbar

792mbar

1.9·10 mbar

-2

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CISNIENIE CZĄSTKOWE - PARCJALNE

fizyczne podstawy mikrotechnologii45

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

Powietrze atmosferyczne

600km

500km

Ultrawysoka próżnia

400km

Odległość od powierzchni Ziemi

300km

Wysoka próżnia

200km

100km

fizyczne podstawy mikrotechnologii46

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WŁASNOŚCI GAZÓW ROZRZEDZONYCH

fizyczne podstawy mikrotechnologii47

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WŁASNOŚCI GAZÓW ROZRZEDZONYCH

PODSTAWOWE ZAŁOŻENIA KINETYCZNEJ TEORII GAZÓW

fizyczne podstawy mikrotechnologii48

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PODSTAWOWE ZAŁOŻENIA KINETYCZNEJ TEORII GAZÓW

  • Materia złożona jest z małych cząstek, zwanych molekułami. Dla określonej substancji chemicznej cząsteczki są identyczne pod względem masy, kształtu, objętości
fizyczne podstawy mikrotechnologii49

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PODSTAWOWE ZAŁOŻENIA KINETYCZNEJ TEORII GAZÓW

2. Cząsteczki gazu są w nieustannym ruchu. Ich energia kinetyczna uzależniona jest od temperatury gazu

3. Temperatura gazu określa wyłącznie energię kinetyczną ruchu postępowego cząsteczek

fizyczne podstawy mikrotechnologii50

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PODSTAWOWE ZAŁOŻENIA KINETYCZNEJ TEORII GAZÓW

4. Objętość własna wszystkich cząsteczek jest do pominięcia w porównaniu z objętością zbiornika

5. Cząsteczki nie wywierają wzajemnie na siebie żadnych sił

6. Zderzenia między cząsteczkami i ściankami zbiornika są zderzeniami elastycznymi

fizyczne podstawy mikrotechnologii51

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

fizyczne podstawy mikrotechnologii52

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Zbiornik wypełniony gazem o koncentracji „n”

fizyczne podstawy mikrotechnologii53

v

vz

vx

vy

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Cząsteczka gazu może poruszać się w dowolnym kierunku

v – wypadkowa prędkość

vx – składowa w osi „x”

vy – składowa w osi „y”

vz – składowa w osi „z”

fizyczne podstawy mikrotechnologii54

ΔS

x

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Część cząsteczek uderzy w wybrany fragment powierzchni „ΔS” zbiornika

fizyczne podstawy mikrotechnologii55

ΔS

x

l

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Ilość cząstek „N” w elemencie objętości

n – koncentracja

V - objętość

fizyczne podstawy mikrotechnologii56

ΔS

vx

vx

vx

x

vx

vxt

l

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Ilość cząstek „N” w elemencie objętości

vx – składowa prędkości

t - czas

fizyczne podstawy mikrotechnologii57

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Ilość cząstek „N” w elemencie objętości

fizyczne podstawy mikrotechnologii58

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Przy założeniu równouprawnienia wszystkich kierunków ruchu, połowa z tych cząsteczek posiada dodatnie składowe prędkości w kierunku osi „x” i w czasie „t” uderza w wybrany fragment powierzchni ścianki zbiornika „ΔS”

fizyczne podstawy mikrotechnologii59

y

-m0vx

m0vx

Fx

x

m0vx

+m0vx

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Zderzenie elastyczne

- zmiana kierunku (znaku) pędu,

- bezwzględna wartość pędu nie ulega zmianie

fizyczne podstawy mikrotechnologii60

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Siła wywierana przez jedną cząstkę

fizyczne podstawy mikrotechnologii61

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Siła wywierana przez jedną cząstkę

fizyczne podstawy mikrotechnologii62

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Całkowita siła wywierana przez połowę cząstek gazu zawartych w elemencie objętości

fizyczne podstawy mikrotechnologii63

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Całkowita siła wywierana przez połowę cząstek gazu zawartych w elemencie objętości

fizyczne podstawy mikrotechnologii64

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Ponieważ:

fizyczne podstawy mikrotechnologii65

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Przy równouprawnieniu wszystkich kierunków ruchu:

fizyczne podstawy mikrotechnologii66

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Otrzymano:

fizyczne podstawy mikrotechnologii67

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Siła wywierana na ściankę:

fizyczne podstawy mikrotechnologii68

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Ciśnienie wywierana na ściankę:

fizyczne podstawy mikrotechnologii69

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Ciśnienie wywierana na ściankę:

fizyczne podstawy mikrotechnologii70

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRAWO DALTONA

fizyczne podstawy mikrotechnologii71

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRAWO DALTONA

Jeżeli zbiornik wypełniony jest mieszaniną gazów, wówczas każdy z tych gazów będzie wywierał odpowiednią siłę

fizyczne podstawy mikrotechnologii72

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRAWO DALTONA

Całkowita siła będzie sumą sił wywieranych przez poszczególne składniki

fizyczne podstawy mikrotechnologii73

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRAWO DALTONA

Całkowite ciśnienie gazu jest równe sumie ciśnień cząstkowych wywieranych przez poszczególne składniki

fizyczne podstawy mikrotechnologii74

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA GAZU

fizyczne podstawy mikrotechnologii75

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA GAZU

Energia kinetyczna cząsteczki gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii76

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA GAZU

Przy założeniu, że „v” jest, identyczną dla wszystkich cząsteczek, prędkością średnią kwadratową (obliczoną dla wszystkich cząsteczek)

fizyczne podstawy mikrotechnologii77

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA GAZU

Całkowita energia kinetyczna gazu będzie sumą energii poszczególnych cząsteczek

fizyczne podstawy mikrotechnologii78

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA GAZU

„m” – całkowita masa gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii79

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA GAZU

Energia kinetyczna gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii80

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA GAZU

Energia kinetyczna gazu - obliczenia

ρ – gęstość gazu

n – koncentracja gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii81

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA GAZU

fizyczne podstawy mikrotechnologii82

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA GAZU

fizyczne podstawy mikrotechnologii83

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA GAZU

fizyczne podstawy mikrotechnologii84

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA GAZU

Całkowita energia kinetyczna gazu:

fizyczne podstawy mikrotechnologii85

Ilość gazu

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA GAZU

fizyczne podstawy mikrotechnologii86

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA GAZU

Energia kinetyczna gazu – a więc i jego temperatura zależy wyłącznie od ilości gazu „Q” a nie od rodzaju gazu.

Przy ustalonej objętości zbiornika i ustalonym ciśnieniu gazu energie kinetyczne i temperatury wszystkich gazów są jednakowe

fizyczne podstawy mikrotechnologii87

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRAWO AVOGADRO

fizyczne podstawy mikrotechnologii88

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRAWO AVOGADRO

Gaz A

Gaz B

V1, p1, T1

V1, p1, T1

fizyczne podstawy mikrotechnologii89

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRAWO AVOGADRO

fizyczne podstawy mikrotechnologii90

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRAWO AVOGADRO

Przy tym samym ciśnieniu i w tej samej temperaturze koncentracja cząsteczek gazu jest dla wszystkich gazów jednakowa

Prawo Avogadra

fizyczne podstawy mikrotechnologii91

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ

fizyczne podstawy mikrotechnologii92

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ

GRAMOCZĄSTECZKA

Ilość gramów gazu równa jego liczbie molowej

fizyczne podstawy mikrotechnologii93

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ

  • Rozpatrzmy:
  • dwa, różne gazy pozostające w tej samej temperaturze (T1=T2) i pod tym samym ciśnieniem (p1=p2)
  • - masa każdego z gazów jest równa jego masie molowej (M1, M2)
fizyczne podstawy mikrotechnologii94

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ

T1=T2(oznacza to równość energii gazu)

p1=p2(równość ciśnień)

fizyczne podstawy mikrotechnologii95

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ

fizyczne podstawy mikrotechnologii96

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ

Objętość zajmowana przez gramocząsteczkę gazu w ustalonych warunkach ciśnienia i temperatury jest wielkością stałą dla wszystkich gazów

fizyczne podstawy mikrotechnologii97

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ

Objętość molowa gazu wyznaczona doświadczalnie przy ciśnieniu 1atm i w temperaturze 0°C wynosi:

fizyczne podstawy mikrotechnologii98

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

LICZBA AVOGADRO

fizyczne podstawy mikrotechnologii99

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

LICZBA AVOGADRO

fizyczne podstawy mikrotechnologii100

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

LICZBA AVOGADRO

Z poprzednio wyprowadzonych zależności wynika, że:

1. Przy tym samym ciśnieniu i w tej samej temperaturze koncentracja cząsteczek jest dla wszystkich gazów jednakowa

2. Objętość zajmowana przez gramocząsteczkę gazu, w ustalonych warunkach ciśnienia i temperatury jest wielkością stałą dla wszystkich gazów

fizyczne podstawy mikrotechnologii101

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

LICZBA AVOGADRO

Ilość cząsteczek zawartych w jednym molu gazu jest wielkością stałą dla wszystkich gazów niezależnie od ciśnienia i temperatury. Wielkość ta znana jest jako:

LICZBA AVOGADRO

fizyczne podstawy mikrotechnologii102

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

LICZBA AVOGADRO

LICZBA AVOGADRO - NA

Wyznaczona doświadczalnie

fizyczne podstawy mikrotechnologii103

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

LICZBA AVOGADRO

Znając masę molową substancji chemicznej oraz liczbę Avogadro można wyznaczyć pojedynczej masę cząsteczki

fizyczne podstawy mikrotechnologii104

Liczba atomowa

8

2

K

6

L

O

M

Symbol pierwiastka

N

O

Tlen

Nazwa pierwiastka

P

15,9994

Q

Masa atomowa

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

LICZBA AVOGADRO

M - masa molowa substancji – liczba gramów substancji (gazu) równa jego liczbie masowej

Powłoki elektronowe

fizyczne podstawy mikrotechnologii105

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

RÓWNANIE STANU GAZU

fizyczne podstawy mikrotechnologii106

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

RÓWNANIE STANU GAZU

Prawo Boyla-Mariotta

Prawo Gay - Lusaca

fizyczne podstawy mikrotechnologii107

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

RÓWNANIE STANU GAZU

Uwzględniając oba powyższe prawa – uzyskano:

Zależność jednakowa dla wszystkich gazów

fizyczne podstawy mikrotechnologii108

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

RÓWNANIE STANU GAZU

Równanie Clapeyrona

(Równanie Stanu Gazu Doskonałego)

R – stała uniwersalna

fizyczne podstawy mikrotechnologii109

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

RÓWNANIE STANU GAZU

Wartość liczbowa stałej uniwersalnej R dla 1 mola gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii110

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

RÓWNANIE STANU GAZU

Wartość liczbowa stałej uniwersalnej R dla 1 mola gazu

Objętość molowa gazu wyznaczona doświadczalnie przy ciśnieniu p0=1atm i w temperaturze T0 = 0°C wynosi V0=22,4l

fizyczne podstawy mikrotechnologii111

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

RÓWNANIE STANU GAZU

Wartość liczbowa stałej uniwersalnej R dla 1 mola gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii112

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

RÓWNANIE STANU GAZU

Wartość liczbowa stałej uniwersalnej R dla 1 mola gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii113

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

RÓWNANIE STANU GAZU

Równanie Stanu Gazu Doskonałego

(dla dowolnej ilości gazu)

m/M – ilość moli rozpatrywanego gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii114

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

RÓWNANIE STANU GAZU

Obliczenie ilości moli gazu

masa molowa cząsteczki tlenu O2

M=2·16g=32g

m=64g O2

fizyczne podstawy mikrotechnologii115

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZWIĄZEK MIĘDZY ENERGIĄ KINETYCZNĄ CZĄSTECZKI A TEMPERATURĄ GAZU

fizyczne podstawy mikrotechnologii116

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA KINETYCZNA CZĄSTECZKI A TEMPERATURA GAZU

Energia kinetyczna dla 1 mola gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii117

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA KINETYCZNA CZĄSTECZKI A TEMPERATURA GAZU

fizyczne podstawy mikrotechnologii118

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA KINETYCZNA CZĄSTECZKI A TEMPERATURA GAZU

Energia kinetyczna pojedynczej cząsteczki

Odwrotność liczby Avogadro

fizyczne podstawy mikrotechnologii119

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA KINETYCZNA CZĄSTECZKI A TEMPERATURA GAZU

Stała Boltzmanna

fizyczne podstawy mikrotechnologii120

Stała Boltzmanna

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ENERGIA KINETYCZNA CZĄSTECZKI A TEMPERATURA GAZU

fizyczne podstawy mikrotechnologii121

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY GĘSTOŚCIĄ GAZU A CIŚNIENIEM

fizyczne podstawy mikrotechnologii122

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY GĘSTOŚCIĄ GAZU A CIŚNIENIEM

Równanie stanu gazu:

fizyczne podstawy mikrotechnologii123

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY GĘSTOŚCIĄ GAZU A CIŚNIENIEM

Gęstość gazu jest proporcjonalna do ciśnienia gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii124

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY KONCENTRACJĄ GAZU A CIŚNIENIEM

fizyczne podstawy mikrotechnologii125

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY KONCENTRACJĄ GAZU A CIŚNIENIEM

Gęstość gazu:

m0 – masa cząsteczki gazu

n – koncentracja gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii126

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY KONCENTRACJĄ GAZU A CIŚNIENIEM

Koncentracja gazu:

fizyczne podstawy mikrotechnologii127

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY KONCENTRACJĄ GAZU A CIŚNIENIEM

Koncentracja gazu:

Liczba Avogadro

fizyczne podstawy mikrotechnologii128

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY KONCENTRACJĄ GAZU A CIŚNIENIEM

Koncentracja gazu:

Odwrotność stałej Boltzmanna

fizyczne podstawy mikrotechnologii129

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY KONCENTRACJĄ GAZU A CIŚNIENIEM

Koncentracja gazu:

Koncentracja gazu jest wprost proporcjonalna do ciśnienia a odwrotnie proporcjonalna do temperatury gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii130

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii131

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii132

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii133

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii134

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii135

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii136

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii137

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii138

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii139

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii140

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii141

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii142

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii143

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

fizyczne podstawy mikrotechnologii144

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

  • Cząsteczka gazu poruszając się w chmurze innych cząsteczek co pewien czas ulega zderzeniom
  • W wyniku każdego zderzenia zmienia się kierunek ruchu
  • Tor cząsteczki składa się z odcinków linii prostej. Długości tych odcinków nie są jednakowe
fizyczne podstawy mikrotechnologii145

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

4. Dla dostatecznie długiego czasu „t” wyznaczyć można średnią drogę cząsteczki miedzy kolejnymi zderzeniami „L”[m]

5. Dla dostatecznie długiego czasu „t” wyznaczyć można średnią ilość zderzeń „z” [1/s]

fizyczne podstawy mikrotechnologii146

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

DEFINICJA

Średnica cząsteczki jest to najmniejsza odległość na jaką mogą zbliżyć się dwie cząsteczki jednakowego gazu

+

+

d

fizyczne podstawy mikrotechnologii147

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

DROGA PRZEBYTA PRZEZ CZĄSTECZKĘ

fizyczne podstawy mikrotechnologii148

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ŚREDNIA DROGA SWOBODNA

czas t

droga l

va – średnia prędkość

z – średnia ilość zderzeń

L – średnia droga swobodna

fizyczne podstawy mikrotechnologii149

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ŚREDNIA DROGA SWOBODNA

Cząsteczka poruszająca się ze średnią prędkością „va” przebywa w czasie „t” drogę:

fizyczne podstawy mikrotechnologii150

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ŚREDNIA DROGA SWOBODNA

Cząsteczka w czasie t przebywa drogę równą średniej drodze swobodnej razy liczba zderzeń:

fizyczne podstawy mikrotechnologii151

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ŚREDNIA DROGA SWOBODNA

Cząsteczka w czasie pokonywania odległości „l” w czasie „t” doznaje:

fizyczne podstawy mikrotechnologii152

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ŚREDNIA DROGA SWOBODNA

fizyczne podstawy mikrotechnologii153

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ŚREDNIA DROGA SWOBODNA

fizyczne podstawy mikrotechnologii154

v1

v1

v1

v1

+

r12

v1

v1·t

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

Z cząsteczką gazu „2” zderzą się tylko te cząstki gazu „1”, których środki mas przechodzą przez powierzchnię koła o promieniu „r12”

v1

fizyczne podstawy mikrotechnologii155

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

Z cząsteczką gazu „2” zderzą się tylko te cząstki gazu „1”, których środki mas przechodzą przez powierzchnię koła o promieniu „r12”

+

r12

+

S12

fizyczne podstawy mikrotechnologii156

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

Liczba cząsteczek „N1” gazu znajdujących się w rozważanej objętości

S12

n1 –koncentracja cząstek gazu

2

v1t

1

fizyczne podstawy mikrotechnologii157

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

Ilość zderzeń cząstek gazu „1” z nieruchomą cząstką „2” w jednostce czasu – „z12”

S12

2

v1t

1

fizyczne podstawy mikrotechnologii158

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

Średnia droga swobodna cząsteczki „L12”

S12

2

v1t

1

fizyczne podstawy mikrotechnologii159

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

W przypadku gazu jednorodnego

S12

v1t

fizyczne podstawy mikrotechnologii160

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

W przypadku gazu jednorodnego: wzajemna liczba zderzeń cząstek „z11” i średnia droga pomiędzy zderzeniami „L11”

S12

v1t

fizyczne podstawy mikrotechnologii161

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

fizyczne podstawy mikrotechnologii162

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

ZBIORNIK (o objętości V)

PRZEWÓD (o przewodności G)

POMPA PRÓŻNIOWA

fizyczne podstawy mikrotechnologii163

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

ZBIORNIK

Podczas pompowania ciśnienie w zbiorniku maleje a odpompowywany gaz przepływa do pompy (natężenie przepływu gazu I) przez przewód łączący o przewodności G

POMPA

fizyczne podstawy mikrotechnologii164

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

ZBIORNIK

SE

efektywna szybkość pompowania

CA

A

wydajność pompowania

A

p2

ciśnienie

PRZEWÓD

B

B

p1

ciśnienie

CB

wydajność pompowania

POMPA

S

szybkość pompowania

fizyczne podstawy mikrotechnologii165

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA

DEFINICJA

fizyczne podstawy mikrotechnologii166

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA

Q – ilość gazu

V – ciśnienie gazu

p – ciśnienie gazu

t – czas

fizyczne podstawy mikrotechnologii167

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA

Q – ilość gazu

V – ciśnienie gazu

p – ciśnienie gazu

t – czas

fizyczne podstawy mikrotechnologii168

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA

m – masa gazu

M – masa molowa

fizyczne podstawy mikrotechnologii169

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA

m – masa gazu

M – masa molowa

fizyczne podstawy mikrotechnologii170

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA

m – masa gazu

M – masa molowa

fizyczne podstawy mikrotechnologii171

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA

m – masa gazu

m0 – masa pojedynczej cząsteczki

N – liczba cząsteczek gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii172

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA

m0 – masa pojedynczej cząsteczki gazu

M – masa molowa

N – liczba cząsteczek gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii173

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA

Liczba Avogadro

fizyczne podstawy mikrotechnologii174

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA

fizyczne podstawy mikrotechnologii175

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA

Stała Boltzmanna

fizyczne podstawy mikrotechnologii176

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA

fizyczne podstawy mikrotechnologii177

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA

C – wydajność pompowania

dN/dt – zmiana ilości cząsteczek gazu w czasie

fizyczne podstawy mikrotechnologii178

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

SZYBKOŚĆ POMPOWANIA

DEFINICJA

fizyczne podstawy mikrotechnologii179

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA

ZBIORNIK

SE

efektywna szybkość pompowania

CA

A

wydajność pompowania

A

p2

ciśnienie

PRZEWÓD

B

B

p1

ciśnienie

CB

wydajność pompowania

POMPA

S

szybkość pompowania

fizyczne podstawy mikrotechnologii180

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA

Wydajność pompowania w płaszczyźnie A-A

W dowolnej chwili czasu „t” ciśnienie gazu w zbiorniku wynosi „p2”

fizyczne podstawy mikrotechnologii181

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA

Zmiana objętości pompowanego gazu

fizyczne podstawy mikrotechnologii182

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA

Szybkość pompowania „S” - definicja

fizyczne podstawy mikrotechnologii183

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA

Efektywna szybkość pompowania „SE” – szybkość opróżniania zbiornika w płaszczyźnie A-A

fizyczne podstawy mikrotechnologii184

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA

Szybkość pompowania pompy „S” – szybkość opróżniania zbiornika przez przewód w płaszczyźnie B-B

fizyczne podstawy mikrotechnologii185

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA

Wydajność pompowania w płaszczyźnie A-A

Wydajność pompowania w płaszczyźnie B - B

fizyczne podstawy mikrotechnologii186

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

NATĘŻENIE PRZEPŁYWU

DEFINICJA

fizyczne podstawy mikrotechnologii187

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

ZBIORNIK

p2

G

I

p1

I - natężenie przepływu

G - przewodność przewodu

POMPA

fizyczne podstawy mikrotechnologii188

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

fizyczne podstawy mikrotechnologii189

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

fizyczne podstawy mikrotechnologii190

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

fizyczne podstawy mikrotechnologii191

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

fizyczne podstawy mikrotechnologii192

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

Wzdłuż drogi przepływu nie występują procesy wydzielania czy też pochłaniania gazu:

fizyczne podstawy mikrotechnologii193

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

fizyczne podstawy mikrotechnologii194

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

EFEKTYWNA SZYBKOŚĆ POMPOWANIA

fizyczne podstawy mikrotechnologii195

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

EFEKTYWNA SZYBKOŚĆ POMPOWANIA

fizyczne podstawy mikrotechnologii196

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

EFEKTYWNA SZYBKOŚĆ POMPOWANIA

fizyczne podstawy mikrotechnologii197

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

EFEKTYWNA SZYBKOŚĆ POMPOWANIA

fizyczne podstawy mikrotechnologii198

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

ZBIORNIK

Efektywna szybkość pompowania zbiornika „SE” będzie zawsze mniejsza lub co najwyżej równa przewodności „G” kanału łączącego zbiornik z pompą

SE

G

S

POMPA

fizyczne podstawy mikrotechnologii199

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRZEWODNOŚĆ OPORNOŚĆ PRZEWODU

fizyczne podstawy mikrotechnologii200

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PRZEWODNOŚĆ (OPORNOŚĆ) PRZEWODU

Oporność przewodu równa jest odwrotności przewodności

fizyczne podstawy mikrotechnologii201

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYPADKOWA PRZEWODNOŚĆ (OPORNOŚĆ) PRZEWODU

fizyczne podstawy mikrotechnologii202

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYPADKOWA PRZEWODNOŚĆ (OPORNOŚĆ) PRZEWODU

G1(W1)

G2(W2)

G3(W3)

G4(W4)

fizyczne podstawy mikrotechnologii203

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

WYPADKOWA PRZEWODNOŚĆ (OPORNOŚĆ) PRZEWODU

G4(W4)

G3(W3)

G2(W2)

G1(W1)

fizyczne podstawy mikrotechnologii204

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

ZACHOWANIE SIĘ CZĄSTEK GAZU W RÓŻNYCH ZAKRESACH PODCIŚNIEŃ

fizyczne podstawy mikrotechnologii205

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

PODZIAŁ ZAKRESU PODCIŚNIEŃ PRÓŻNI

-3

-1

-3

-3

-7

-1

-6

-3

-8

-7

-6

-8

fizyczne podstawy mikrotechnologii206

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

KONCENTRACJA CZĄSTECZEK ŚREDNIA DROGA SWOBODNA

fizyczne podstawy mikrotechnologii207

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

KONCENTRACJA CZĄSTECZEK, ŚREDNIA DROGA SWOBODNA

PRÓŻNIA NISKA

fizyczne podstawy mikrotechnologii208

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

KONCENTRACJA CZĄSTECZEK

PRÓŻNIA ŚREDNIA

fizyczne podstawy mikrotechnologii209

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

KONCENTRACJA CZĄSTECZEK

PRÓŻNIA WYSOKA

fizyczne podstawy mikrotechnologii210

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

KONCENTRACJA CZĄSTECZEK

PRÓŻNIA U-WYSOKA

fizyczne podstawy mikrotechnologii211

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

POWIERZCHNIOWA SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ

OBJĘTOŚCIOWA SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ

fizyczne podstawy mikrotechnologii212

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ

PRÓŻNIA NISKA

fizyczne podstawy mikrotechnologii213

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ

PRÓŻNIA ŚREDNIA

fizyczne podstawy mikrotechnologii214

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ

PRÓŻNIA WYSOKA

fizyczne podstawy mikrotechnologii215

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ

PRÓŻNIA U-WYSOKA

fizyczne podstawy mikrotechnologii216

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

CZAS TWORZENIA SIĘ MONOMOLEKULARNEJ WARSTWY

fizyczne podstawy mikrotechnologii217

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ

PRÓŻNIA NISKA

fizyczne podstawy mikrotechnologii218

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ

PRÓŻNIA ŚREDNIA

fizyczne podstawy mikrotechnologii219

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ

PRÓŻNIA WYSOKA

fizyczne podstawy mikrotechnologii220

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ

PRÓŻNIA U-WYSOKA