1 / 11

VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL

VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL. Előadó: Patay András Mentor: Szabó Tamás. Rétegleválasztás módszerei. Kémiai rétegleválasztások (Chemical Vapor Deposition) Fizikai rétegleválasztások (Physical Vapor Deposition): Vákuumgőzölés (elektronsugaras, termikus) Porlasztás (DC, RF).

baxter-kemp
Download Presentation

VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL

An Image/Link below is provided (as is) to download presentation Download Policy: Content on the Website is provided to you AS IS for your information and personal use and may not be sold / licensed / shared on other websites without getting consent from its author. Content is provided to you AS IS for your information and personal use only. Download presentation by click this link. While downloading, if for some reason you are not able to download a presentation, the publisher may have deleted the file from their server. During download, if you can't get a presentation, the file might be deleted by the publisher.

E N D

Presentation Transcript

  1. VÉKONYRÉTEG LEVÁLASZTÁSA FIZIKAI MÓDSZEREKKEL Előadó: Patay András Mentor: Szabó Tamás

  2. Rétegleválasztás módszerei • Kémiai rétegleválasztások (Chemical Vapor Deposition) • Fizikai rétegleválasztások (Physical Vapor Deposition): • Vákuumgőzölés (elektronsugaras, termikus) • Porlasztás (DC, RF)

  3. PVD eljárás feltételei • Vákuumrendszer: - Vákuumkamra- Csatlakozók- Vákuumszivattyúk • Rétegleválasztó egységek:- Elektronágyú- DC porlasztó

  4. Vákuumgőzölés • Feladat:1. Alumíniumréteg leválasztása vákuumgőzölő berendezés segítségével2. A növesztett réteg sűrűségének megállapítása

  5. A feladat lépései • Szilícium-szelet megjelölése • Szilícium szelet tömegének mérése • Alumínium réteg növesztése • A növesztett réteg tömegének meghatározása • (kémiai laborban lépcsőmarás) • A növesztett réteg vastagágának lemérése Alpha-steppel • Si-szelet felszínének kiszámítása • A növesztett réteg sűrűségének kiszámítása

  6. Eredmények • Leválasztott tömeg: m = 0,00417g • Si szelet felszíne: A = 77,77741 cm2 • Rétegvastagság: d = 330,6 nm • Számított térfogat: V = A × d = 0,002571 cm3 • Számított sűrűség: ρ = m / V = 1,6217 g/cm3

  7. Porlasztás • Feladat: Titánréteg növesztése katódporlasztással „lift-off”-os szeletre, majd a réteg vastagságának lemérése, kiépülési sebesség meghatározása. • Feladat célja: A mérés után meghatározható, hogy az azonos paraméterek mellett (teljesítmény, végvákuum, gáznyomás, szeletforgatási sebesség), mennyi idő szükséges egy általunk választott rétegvastagság eléréséhez.

  8. Adatok • Paraméterek:- Teljesítmény: 30% (463 V, 2,7 A)- Végvákuum: 4×10-6 mbar- Gáznyomás: 30 sccm (Ar)- Szeletforgatási sebesség: 60 %- Előporlasztás: 1×3 perc- Porlasztás időtartama: 2×2 perc • Ti-szelet vastagsága: d = 90 nm • Leválasztási sebesség: 22,5 nm/perc • Szükséges idő 200 nm vastagság eléréséhez: 8 perc 53 másodperc

  9. Köszönöm a figyelmet!

More Related