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白光干涉儀應用 於表面輪廓量測

白光干涉儀應用 於表面輪廓量測. 奈米定位與量測技術. 授課教師 : 朱志良 老師 報告人 : 楊豐懋 MA11V201. 干涉條紋. 光源. 參考平面. 待測平面. 白光干涉原理. 非接觸式的 3D 顯微物體表面檢測儀器 光的波動性 光的同調性.  1.  1.  2.  2.  3. 0. 0. 同調性高. 同調性低. 白光干涉儀之應用. Sanpany MOB WLI. ZYGO NewView 7000. 薄膜分析 應用. 動態 MEMS 測量. 參考資料.

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白光干涉儀應用 於表面輪廓量測

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Presentation Transcript

  1. 白光干涉儀應用於表面輪廓量測 奈米定位與量測技術 授課教師:朱志良 老師 報告人:楊豐懋 MA11V201

  2. 干涉條紋 光源 參考平面 待測平面 白光干涉原理 • 非接觸式的3D顯微物體表面檢測儀器 • 光的波動性 • 光的同調性 1 1 2 2 3 0 0 同調性高 同調性低

  3. 白光干涉儀之應用 Sanpany MOB WLI ZYGO NewView 7000 薄膜分析應用 動態MEMS 測量

  4. 參考資料 • ZYGO3D 表面輪廓儀(白光干涉儀)主要應用 • Sanpany三朋儀器股份有限公司 • 白光干涉三維檢測系統介紹與應用 廖界程、張維哲、羅文期 著

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