M ục Lục

Mục Lục Stylus Profiler Cấu tạo Nguyên tắc hoạt động Một số ứng dụng GVHD : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng SVTH : Nguyễn Duy Khánh

Lưulạithông tin cầnthiết: Địachỉbạnđãtải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com

 Cấu tạo Stylus Profiler Cấu tạo Nguyên tắc hoạt động Một số ứng dụng

 Cấu tạo Stylus Profiler Camera Mũi dò Đĩa giữ mẫu Bộ dịch chuyển Vít điều chỉnh

 Nguyên tắc hoạt động Stylus Profiler Nguyên tắc hoạt động Cấu tạo Một số ứng dụng

 Nguyên tắc hoạt động Tín hiệu AC Stylus Profiler Bộ biến đổi vi sai tuyến tính (LVDT) • Bộ khuếch đại • Bộ lọc Bộ chuyển đổi A-D Mũi dò - Tip • Hình thái bề mặt (2D-3D) • Độ dày màng Mẫu

 Nguyên tắc hoạt động • Mũi dò – Tip • Hình dạng : 2 loại chính : Ball-stylus và Chisel-Stylus • Kích thước : • * Bề mặt mịn < 2m • * Bề mặt nhám : 2 – 10 m • Vật liệu : • * Bề mặt kim loại : Saphere, Ruby • * Bề mặt thuỷ tinh : SiN • Lực kéo Tín hiệu AC Stylus Profiler ~1.016mm Bộ biến đổi vi sai tuyến tính (LVDT) Mũi dò - Tip • Bộ khuếch đại • Bộ lọc ~880 m Bộ chuyển đổi A-D Mẫu • Ball tip : • Giảm tín hiệu nhiễu • Tiếp xúc tốt giữa bề mặt vật liệu – mũi dò • Sử dụng cho nhiều loại vật liệu • Chisel tip : • Bề mặt có độ cứng và gồ ghề cao • Hình thái bề mặt (2D-3D) • Độ dày màng Ball tip Chisel tip

 Nguyên tắc hoạt động Tín hiệu AC Stylus Profiler ~1.016mm • Bộ khuếch đại • Bộ lọc Scan direction ~880 m Barrier Height ~880 nm Bộ chuyển đổi A-D Mẫu • Ball tip : • Giảm tín hiệu nhiễu • Tiếp xúc tốt giữa bề mặt vật liệu – mũi dò • Sử dụng cho nhiều loại vật liệu • Chisel tip : • Bề mặt có độ cứng và gồ ghề cao • Hình thái bề mặt (2D-3D) • Độ dày màng Ball tip Chisel tip

 Nguyên tắc hoạt động Bộ biến đổi vi sai tuyến tính (LVDT) Stylus Profiler

 Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Cấu tạo Nguyên tắc hoạt động

 Một số ứng dụng Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30m – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg Stylus Profiler RP RV Z RT L • RA: Độ gồ ghề trung bình • RP : Độ lớn đỉnh cao nhất nằm trên đường chuẩn • RV: Độ lớn vị trí thấp nhất nằm dưới đường chuẩn • RT : Khoảng cách điểm cao nhất và thấp nhất • RZ : Độ cao trung bình của 5 đỉnh cao nhất và sâu nhất

 Một số ứng dụng Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30m – 2mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg Stylus Profiler 100 m – 500 m

 Một số ứng dụng Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30m – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg Stylus Profiler Bước lấy mẫu dài không chi tiết Bước lấy mẫu ngắn  nhiễu • Lmax = 2mm • L  80m : 0.04 – 0.2 m • 80  L  400 m : 0.2m – 1.0 m • 400  L  2000 m : 1.0m – 5.0 m

 Một số ứng dụng Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30m – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg Stylus Profiler • Thuỷ tinh – Ceramic • Áp suất bề mặt mẫu - tip • R = 0,1 m, W = 1mg • E = 83 GPa : Thuỷ tinh – Ceramic • 130 GPa : Ni-P • 1140 GPa : Mũi dò kim cương • PG-C = 11,4 GPa và PNi-P = 15 Gpa • lớn hơn độ cứng của vật liệu •  Phá huỷ • Ni-P

 Một số ứng dụng Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30m – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg Stylus Profiler

 Một số ứng dụng Đường ITO Thủy tinh Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30m – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg Stylus Profiler

Wake up, plz !! Thanks for your attention !

M ục Lục

M ục Lục

Presentation Transcript