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提升冰機運轉效率

楊景超 力晶半導體 12AB 廠務部 ( 空調技師 ) E-mail ： ccyang@psc.com.tw (03)579500 ext.8636 06.30.2006. 提升冰機運轉效率. 92/2/28 力晶 12A 第一台製程設備搬入 93/10 產能達 40,000 WOPM (0.13μm) 無塵室總面積 20,000m 2 冰水消耗最高達 11,000RT (93 年度 ) 電費最高達 3,700 萬元 (93/08). 前 言. 冰水及冷卻水系統簡介 提升冰水主機效率原理 冷卻水溫與冰機耗電關係 節能執行成效 結論.

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提升冰機運轉效率

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Presentation Transcript

  1. 楊景超 力晶半導體 12AB廠務部 (空調技師) E-mail：ccyang@psc.com.tw (03)579500 ext.8636 06.30.2006 提升冰機運轉效率

  2. 92/2/28力晶12A第一台製程設備搬入 93/10產能達 40,000 WOPM (0.13μm) 無塵室總面積 20,000m2 冰水消耗最高達 11,000RT (93年度) 電費最高達 3,700萬元 (93/08) 前 言

  3. 冰水及冷卻水系統簡介 提升冰水主機效率原理 冷卻水溫與冰機耗電關係 節能執行成效 結論 大 綱 I n d e x

  4. 力晶12吋廠-冰水系統簡介 二次變流量 冰水泵浦 1280RT 冰水主機 一次定流量 冰水泵浦 末端壓差 控制冰水流量

  5. 力晶12吋廠-冷卻水系統簡介 選用13台冷卻水塔並聯運轉對應12台冰水主機 冷卻水塔及管路採用並聯運轉模式 以出水溫度控制冷卻水塔運轉頻率及台數

  6. 原理： 冷媒不同冷凝溫度之簡單飽和循環之p-h圖 提升冰水主機效率 p 壓焓圖 輸出能量 h2-h1 效率= -------------- = ----------- 輸入能量 h3-h2 當冷凝溫度降低，壓縮機出口焓值由h3降低為 h3‘，輸入能量降低，效率提高 h • 作法： (1) 13台冷卻水塔搭配12台冰水主機 (2) 增加總冷卻水塔散熱能力，使冰水主機冷卻能力大幅提升 (3) 提高冷卻水塔於非夏季之運轉率 (4) 冷卻水出水溫度隨外氣變化控制於14~29℃ h1 h2 h3’ h3

  7. 冰水主機耗電量與冷卻水溫度關係圖 KW/RT 單冷 PARTIAL LOAD CURVE 1.300 1.200 操作溫度由原設計32℃調降為18~29℃，可節省5~20﹪耗電量 1.100 1.000 於18℃時 KW/RT = 0.5 0.900 0.800 0.700 32℃ 0.600 29℃ 24℃ 0.500 18℃ 0.400 負載率% 0% 100% 60% 80% 20% 40% 資料來源：Trane提供

  8. 冰機耗電量與冷卻水溫度成正相關 冰水主機耗電量與冷卻水溫度關係圖(實測值) 溫度 ℃ 耗電量 KWH 時間

  9. 冰機效率與冷卻水溫成正相關 KW/RT與冷卻水溫度關係圖(實測值) 溫度 ℃ KW/RT 18 0.48 於18℃時 KW/RT = 0.48 時間

  10. 92.11~93.10 冰水主機實際運轉效益 冬季 夏季 註一：資料來源- 中央氣象局 (新竹地區 92.11~93.10) 註二：資料來源- Trane設計運轉效率Data (冷卻水回水溫度32 ℃，冰水出水溫度5 ℃ )

  11. 節能執行成效 • 建廠階段即加入節能理念進行規劃，並於運轉中逐項測試與改善，以目前12吋廠每月40000片產能估算，節能效益如下：

  12. 結論(1/2) • 提升冰水主機效率： 增加冷卻水塔總散熱能力，並提高冷卻水塔於非夏季之運轉率，冷卻水出水溫度隨外氣變化控制於18~29℃，節省3~20﹪耗電量

  13. 未來目標 運用濕球溫度控制搭配外氣焓值監控，以最佳化運轉模式尋求冷卻水塔與冰水主機運轉耗電量之平衡點 今年與工研院合作，進行主機群組運轉最佳化模式建立 結論(2/2)

  14. Q & A 簡報結束敬請指教

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